一种基板清洁装置及基板清洁设备的制作方法

1.本实用新型涉及液晶显示技术领域，尤其涉及一种基板清洁装置及基板清洁设备。


背景技术：

2.液晶显示面板的成型工艺一般包括：前段阵列制程、中段成盒制程及后段模组组装制程。其中，中段成盒制程包括tft(thin film transistor，薄膜晶体管基板)基板与cf(color filter，彩膜)基板的贴合，而在tft基板与cf基板贴合前，对基板的清洁起到很关键的作用。
3.干式清洁是基板清洁的一种重要方式，现有技术中，干式清洁通常包括吹气机构和吸气机构，其中吹气机构将带有超声波能量的空气沿垂直于基板表面的方向轰击基板，使超声能量传导给玻璃基板表面的灰尘，使灰尘运动加剧，并在高速流动的空气作用下脱离玻璃基板，以便于吸气机构将灰尘吸走。但是，这种方式难以将玻璃碎屑或者重量较大的异物吹离基板表面，基板的清洁效果不甚理想。
4.因此，亟待需要一种基板清洁装置及基板清洁设备来解决上述技术问题。


技术实现要素：

5.本实用新型的第一个目的在于提出一种基板清洁装置，能够去除基板表面的灰尘和重量较大的异物，对基板的清洁效果好。
6.本实用新型的第二个目的在于提出一种基板清洁设备，通过设置上述的基板清洁装置，能够很好地对基板表面进行清洁。
7.为达上述目的，本实用新型采用以下技术方案：
8.一种基板清洁装置，包括：
9.吹气管组件，出口朝向基板，所述吹气管组件包括出口端沿第一倾斜方向延伸的第一吹气管组和出口端朝第二倾斜方向延伸的第二吹气管组，沿靠近所述基板的方向，所述第一吹气管组的出口端靠近所述第二吹气管组的出口端；
10.气源组件，能够向所述吹气管组件吹入携带超声能量的空气；
11.第一吸气管组和第二吸气管组，其入口端分别设置在所述吹气管组件的两侧，且入口均朝向所述基板；以及
12.吸气组件，能够为所述第一吸气管组和所述第二吸气管组提供负压。
13.可选地，所述第一吹气管组的出口端处设置有风扇，以使所述第一吹气管组能吹出涡旋气流；和/或
14.所述第二吹气管组的出口端处设置有风扇，以使所述第二吹气管组能吹出涡旋气流。
15.可选地，所述第一倾斜方向与所述基板的夹角为α，所述第二倾斜方向与所述基板的夹角为β，α＝β。
16.可选地，所述气源组件包括风机、第一导风管和超声波换能器，所述第一导风管的一端与所述风机的出口连通，另一端与所述吹气管组件的入口端连通，所述超声波换能器设置在所述第一导风管内，并能够使所述第一导风管内的空气携带超声能量。
17.可选地，所述气源组件还包括增压泵，所述第一导风管经过所述增压泵后与所述吹气管组件的入口端连通。
18.可选地，所述第一吸气管组的入口端倾斜设置，且与所述基板相对；和/或
19.所述第二吸气管组的入口端倾斜设置，且与所述基板相对。
20.可选地，所述第一吹气管组包括多个第一吹气管，所述第一吹气管的出口端为第一出口端，多个所述第一出口端沿第一方向平行间隔设置；
21.所述第二吹气管组包括多个第二吹气管，所述第二吹气管的出口端为第二出口端，多个所述第二出口端沿第一方向平行间隔设置，每个所述第二出口端与一个所述第一出口端相对设置。
22.可选地，所述第一吸气管组包括多个入口端平行设置的第一吸气管，每个所述第一吸气管的入口端对应设置在一个所述第一出口端的一侧；
23.所述第二吸气管组包括多个第二吸气管，每个所述第二吸气管的入口端对应设置在一个所述第二出口端的一侧。
24.可选地，第一吹气管组包括多个第一吹气管，所述第一吹气管的出口端为第一出口端，多个所述第一出口端排布成沿第一方向延伸的至少两列；
25.所述第二吹气管组包括多个第二吹气管，所述第二吹气管的出口端为第二出口端，多个所述第二出口端排布成沿第一方向延伸的至少两列。
26.一种基板清洁设备，包括载台和所述的基板清洁装置，所述载台能够承载所述基板。
27.本实用新型有益效果为：
28.本实用新型的基板清洁装置，在气源组件的作业下，第一吹气管组和第二吹气管组分别向基板表面吹入沿第一倾斜方向和第二倾斜方向的携带超声能量的空气，不仅可以使灰尘在超声能量的作用下离开基板表面，空气倾斜的吹动方向还对玻璃碎屑等重量较大的异物产生水平的吹动力，从而使重量较大的异物也能够离开基板表面；沿第一倾斜方向和第二倾斜方向的空气将离开基板的灰尘和异物向吹气管组件的两侧吹动，而第一吸气管组的入口和第二吸气管组的入口分别设置在吹气管组件的两侧，从而能够很好的吸走离开基板表面的灰尘和异物。本实用新型的基板清洁装置能够去除基板表面的灰尘和重量较大的异物，对基板的清洁效果好。
29.本实用新型的基板清洁设备，通过设置上述的基板清洁装置，能够很好地对基板表面进行清洁。
附图说明
30.图1是本实用新型实施例一提供的基板清洁装置的主视图；
31.图2是图1中的a-a剖视图；
32.图3是本实用新型实施例二提供的基板清洁装置的主视图；
33.图4是图3中的b-b剖视图。
34.图中：
35.100-基板；
36.1-吹气管组件；11-第一吹气管组；111-第一吹气管；112-第一出口端；12-第二吹气管组；121-第二吹气管；122-第二出口端；
37.2-气源组件；21-风机；22-第一导风管；23-增压泵；
38.31-第一吸气管组；311-第一吸气管；32-第二吸气管组；321-第二吸气管；
39.4-吸气组件；41-真空泵；42-第二导风管；
40.5-风扇。
具体实施方式
41.下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅用于解释本实用新型，而非对本实用新型的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本实用新型相关的部分而非全部结构。
42.在本实用新型的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
43.在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
44.在本实施例的描述中，术语“上”、“下”、“右”、等方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化操作，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅仅用于在描述上加以区分，并没有特殊的含义。
45.实施例一
46.本实施例提供了一种基板清洁装置和基板清洁设备，其可用于对tft基板、cf基板或者其他玻璃板等进行清洁。基板清洁设备包括基板清洁装置和载台，基板100支撑于载台上，基板清洁装置可以对载台上的基板100进行清洁，本实施例中以载台水平设置，基板100也水平地固定在载台上为例进行说明。
47.图1为本实施例提供的基板清洁装置的主视图，图2为图1中的a-a剖视图。如图1和图2所示，基板清洁装置包括吹气管组件1、气源组件2、第一吸气管组31、第二吸气管组32及吸气组件4，其中，吹气管组件1的出口、第一吸气管组31的入口和第二吸气管组32的入口均朝向基板100，吹气管组件1包括出口端沿第一倾斜方向延伸的第一吹气管组11和出口端朝第二倾斜方向延伸的第二吹气管组12，沿靠近基板100的方向，第一吹气管组11的出口端靠近第二吹气管组12的出口端，气源组件2能够向吹气管组件1吹入携带超声能量的空气，空
气经过第一吹气管组11和第二吹气管组12后，以呈上下倒置的“八”字型的气流方向吹向基板100表面，第一吸气管组31的入口端和第二吸气管组32的入口端分别设置在吹气管组件1的两侧，吸气组件4能够为第一吸气管组31和第二吸气管组32提供负压。
48.本实施例的基板清洁装置，在气源组件2的作业下，第一吹气管组11和第二吹气管组12分别向基板100表面吹入沿第一倾斜方向和第二倾斜方向，且携带超声能量的空气，不仅可以使灰尘在超声能量的作用下离开基板100表面，空气倾斜的吹动方向还对玻璃碎屑等重量较大的异物产生水平的吹动力，从而使重量较大的异物也能够离开基板100表面；沿第一倾斜方向和第二倾斜方向的空气将离开基板100的灰尘和异物向吹气管组件1的两侧吹动，而第一吸气管组31的入口和第二吸气管组32的入口分别设置在吹气管组件1的两侧，从而能够很好的吸走离开基板100表面的灰尘和异物。本实施例的基板清洁装置能够去除基板100表面的灰尘和重量较大的异物，对基板100的清洁效果好。基板清洁设备通过设置上述的基板清洁装置，能够很好地对基板100表面进行清洁。
49.具体而言，本实施例中，如图2所示，第一吸气管组31设置在第一吹气管组11背离第二吹气管组12的一侧，第二吸气管组32设置在第二吹气管组12背离第一吹气管组11的一侧。其他实施例中，也可以是，第二吸气管组32设置在第一吹气管组11背离第二吹气管组12的一侧，第一吸气管组31设置在第二吹气管组12背离第一吹气管组11的一侧，两种布置方式效果相同。
50.优选地，如图1所示，第一倾斜方向与基板100的夹角为α，第二倾斜方向与基板100的夹角为β，α＝β，从而有利于被吹气的灰尘和异物均匀地向吹气管组件1的两侧运动。本实施例中，α＝β＝45
°
，其他实施例中，α和β的实际角度可以结合吹气管组件1的出口与基板100之间的距离等因素进行合理设置，在此不做限定。
51.优选地，如图1和图2所示，第一吹气管组11包括多个第一吹气管111，第一吹气管111的出口端为第一出口端112，多个第一出口端112沿第一方向即图2中的x向间隔设置，第二吹气管组12包括多个第二吹气管121，第二吹气管121的出口端为第二出口端122，多个第二出口端122沿第一方向间隔设置，每个第二出口端122与一个第一出口端112相对设置。从而使基板100沿x向的各部位的灰尘和杂质能均能够被吹离基板100，保证基板清洁全面彻底。
52.进一步地，如图1和图2所示，第一吸气管组31包括多个入口端平行设置的第一吸气管311，每个第一吸气管311的入口端对应设置在一个第一出口端112的一侧，第二吸气管组32包括多个第二吸气管321，每个第二吸气管321的入口端对应设置在一个第二出口端122的一侧。从而保证被多个第一吹气管111和多个第二吹气管121吹起的灰尘和杂质能够更充分地被第一吸气管组31和第二吸气管组32吸走，以保持基板清洁装置的周围较为清洁的环境。
53.具体而言，本实施例中，第一吹气管111、第二吹气管121、第一吸气管311及第二吸气管321均为圆管，其他实施例中，吹气管和吸气管也可以选用方管或其他形状横截面的管，在此不做限定。进一步地，如图1所示，对于第一吹气管111而言，只要保证第一出口端112沿第一倾斜方向延伸即可使第一吹气管111吹出沿第一倾斜方向的气流，而第一吹气管111入口端的延伸方向可以灵活设置；同样地，对于第二吹气管121而言，只要保证第二出口端122的延伸方向沿第二倾斜方向即可，第二吹气管121的入口端的延伸方向可以灵活进行
设置。
54.优选的，如图1所示，第一吹气管组11的出口端处设置有风扇5，以使第一吹气管组11能吹出涡旋气流，第二吹气管组12的出口端处设置有风扇5，以使第二吹气管组12能吹出涡旋气流，从而使吹气管吹向基板100的空气更分散、均匀，以提高对基板100的清洁效果。具有而言，本实施例中，风扇5分别设置在第一出口端112的内部和第二出口端122的内部，其他实施例中，风扇5也可以设置在第一吹气管111的出口和第二吹气管121的出口处，在此不做限定。
55.优选地，如图1所示，气源组件2包括风机21、第一导风管22和超声波换能器，第一导风管22的一端与风机21的出口连通，另一端与吹气管组件1的入口端连通，超声波换能器设置在第一导风管22内，从而能够使第一导风管22内的空气携带超声能量。本实施例中，第一吹气管组11和第二吹气管组12连通后与第一导风管22连接，即通过一组风机21和超声波换能器能够为两组吹气管组提供携带超声能量的空气。其他实施例中，也可以是：气源组件2包括两个风机21，每个风机21对应配置一个第一导风管22和一个超声波换能器，第一吹气管组11和第二吹气管组12分别对应与两个风机21连通，即两个风机21分别为两组吹气管组独立进行供气。
56.优选地，如图1所示，气源组件2还包括增压泵23，第一导风管22经过增压泵23后与吹气管组件1的入口端连通。增压泵23可以增加第一导风管22内的空气压力，且还可以控制增压泵23持续交替地增压和泄压，使吹气管组处吹出的空气为超声脉冲气流，增强吹向基板的气流的震荡效果，使基板100上的灰尘和较重的异物更容易离开基板100，提高清洁效果。
57.优选地，如图1所示，吸气组件4包括真空泵41和第二导风管42，第二导风管42的一端与真空泵41连通，另一端与第一吸气管组31和第二吸气管组32的出口端连通。真空泵41工作时，通过第二导风管42使第一吸气管组31的入口和第二吸气管组32的入口处形成负压，从而将离开基板100表面的灰尘和较重的杂质吸入第一吸气管组31内/第二吸气管组32内。具体而言，本实施例中，第一吸气管组31的多个第一吸气管311和第二吸气管组32的多个第二吸气管321均与第二导风管42连通。进一步地，第一吸气管311和第二吸气管321均为圆管，其他实施例，第一吸气管311和第二吸气管321的横截面形状不做具体限定。
58.优选地，如图1所示，第一吸气管组31的入口端倾斜设置，且入口与基板100相对，第二吸气管组32的入口端倾斜设置，且入口与基板100相对。在第一吸气管311和第二吸气管321的管径一定的条件下，使第一吸气管311和第二吸气管321的朝向基板100的开口面积更大，从而能更方便地吸走灰尘和杂质，提高基板清洁装置的清洁效果。其他实施例中，第一吸气管311和第二吸气管321也可以垂直于基板100设置，在此不做限定。
59.实施例二
60.本实施例提供了一种基板清洁装置和基板清洁设备，其发明构思和大体结构与实施例一相同，区别在于第一吹气管组11和第二吹气管组12的具体结构，本实施例中与实施例一的相同之处在此不再赘述，区别在于：
61.图3为本实施例的基板清洁装置的主视图，图4是图3中的b-b剖视图，如图3和图4所示，第一吹气管组11包括多个第一吹气管111，第一吹气管111的出口端为第一出口端112，多个第一出口端112排布成沿第一方向延伸的两列，第二吹气管组12包括多个第二吹
气管121，第二吹气管121的出口端为第二出口端122，多个第二出口端122排布成沿第一方向延伸的两列。通过增加第一吹气管111和第二吹气管121的列数，可以使基板100沿垂直于x向的各部位的灰尘和杂质能均能够被吹离基板100，使基板清洁地更为全面彻底。
62.具体地，如图4所示，对于第一吹气管组11，每列的第一出口端112数量相同且一一相对设置，第一吸气管组31的多个第一吸气管311的入口端与任一列第一出口端112一一对应；同样地，对于第二吸气管组32，每列第二出口端122的数量相同且一一相对设置，第二吸气管组32的多个第二吸气管321的入口端与任一列第二出口端122一一对应。其他实施例中，第一吹气管组11包括的列数和第二吹气管组12包括的列数均不做具体限定。
63.显然，本实用新型的上述实施例仅仅是为了清楚说明本实用新型所作的举例，而并非是对本实用新型的实施方式的限定，对于本领域的普通技术人员，依据本实用新型的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制。凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型权利要求的保护范围之内。