一种用于氩气提纯的模块化组合式分子筛的制作方法

1.本实用新型涉及气体纯化设备技术领域，具体涉及一种用于氩气提纯的模块化组合式分子筛。


背景技术：

2.气体的纯化技术，多数是通过吸附剂、催化剂在常温或变温状态下通过吸附、催化等方式去除高纯气体中的微量氮、氧和水等杂质。当分子筛中的吸附剂对某一杂质成分的吸附饱和后，为了满足纯化指标即要更换吸附剂或对吸附剂进行再生。通常情况下由于气体中的杂质种类较多，为一次去除所有杂质，一种方案是串联多个分子筛，每个分子筛中装有不同的吸气剂，此种方案需要配置多个分子筛，保证多个气路的气密性；另一方案是在一个分子筛中充装不同的吸气剂，当其中一种吸气剂吸附饱和后，对整个分子筛进行更换或再生，此种方案中不能充分发挥各吸气剂的作用，分子筛的整体使用效率不高。超高纯的氩气是led、大规模集成电路等半导体产业的重要原料，主要作为半导体生产过程中的载气、保护气，其纯度对产品的质量和性能至关重要。随着半导体技术的飞速发展，对气体纯度的要求越来越高（已达8n 以上）。因此，如何对氩气进行高效率的纯化对于氩气的生产起着至关重要的作用。


技术实现要素：

3.本实用新型要解决的技术问题在于，针对现有技术的上述缺陷，提供一种可根据需要配置不同的填料以提高分子筛整体使用效率的用于氩气提纯的模块化组合式分子筛。
4.本实用新型的目的是通过如下技术方案来完成的，一种用于氩气提纯的模块化组合式分子筛，包括用于对氩气进行纯化的分子筛本体，所述分子筛本体包括密封罐体及可拆卸设置在该密封罐体内的若干分子筛填料层，所述密封罐体为圆柱形不绣钢罐体，密封罐体的底部设置有进气管，密封罐体的顶部可拆卸设置有带出气管的端盖板；所述密封罐体的下部内壁上设置有环形安装座，分子筛填料层通过环形安装座紧密搭设在密封罐体内，所述密封罐体的底部内壁上设置有圆柱状的缓流罩，该缓流罩设置在进气管的正上方并罩住进气管的进气口，且所述缓流罩的侧壁上开设有若干出气孔，缓流罩的顶部高度低于环形安装座的底部高度；所述端盖板内设置有用于将分子筛填料层压紧设置在密封罐体内的压紧机构。
5.进一步地，所述压紧机构包括带有通气孔的挡板及与该挡板配套的弹簧，所述挡板的顶部设置有至少两组定位柱，所述弹簧套设在定位柱上并与端盖板的内壁接触式连接，所述弹簧完全收缩时的长度大于定位柱的高度。
6.进一步地，所述分子筛填料层包括由上到下依次布置的第一填料层、第二填料层、第三填料层、第四填料层及第五填料层；所述第一填料层和第二填料层为脱氧剂填料层，所述第三填料层为脱氮剂填料层，第四填料层为脱氢剂填料层，第五填料层为脱碳剂填料层。
7.进一步地，所述环形安装座的顶部外壁上设置有一层橡胶防撞层；所述出气管通
过带有开关阀的支管设置有气相色谱仪。
8.本实用新型的有益技术效果在于：本实用新型所述的分子筛内部分成若干填料模块，可以按照原料气中的杂质成分配置不同的类型和比例的填料，使得在纯化过程中充分发挥各吸气剂的作用，提高分子筛的整体使用效率；并且在其中某填料使用饱和后，可以单独更换，不影响其他模块的使用。此外，缓流罩可以对进入的气体起到了缓流的作用，有效避免了气体直接进入密封罐体内对底部分子筛填料层造成直接冲击，从而提高了底部分子筛填料层的使用寿命。
附图说明
9.图1为本实用新型的整体结构示意图。
具体实施方式
10.为使本领域的普通技术人员更加清楚地理解本实用新型的目的、技术方案和优点，以下结合附图和实施例对本实用新型做进一步的阐述。
11.在本实用新型的描述中，需要理解的是，“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”、“横向”、“竖向”等术语所指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型，而不是指示或暗示所指的装置或原件必须具有特定的方位，因此不能理解为对本实用新型的限制。
12.如图1所示，本实用新型所述的一种用于氩气提纯的模块化组合式分子筛，包括用于对氩气进行纯化的分子筛本体，所述分子筛本体包括密封罐体1及可拆卸设置在该密封罐体1内的若干分子筛填料层，所述密封罐体1为圆柱形不绣钢罐体，密封罐体1的底部设置有进气管2，密封罐体1的顶部可拆卸设置有带出气管3的端盖板4，端盖板4旋接设置在密封罐体1内且端盖板4与密封罐体1的连接端面上设置有密封圈；所述密封罐体1的下部内壁上设置有环形安装座5，分子筛填料层通过环形安装座5紧密搭设在密封罐体1内，所述密封罐体1的底部内壁上设置有圆柱状的缓流罩6，该缓流罩6设置在进气管2的正上方并罩住进气管2的进气口，且所述缓流罩6的侧壁上开设有若干出气孔，缓流罩6的顶部高度低于环形安装座5的底部高度；所述端盖板4内设置有用于将分子筛填料层压紧设置在密封罐体1内的压紧机构。
13.参照图1所示，所述压紧机构包括带有通气孔的挡板7及与该挡板配套的弹簧8，所述挡板7的顶部设置有至少两组定位柱9，所述弹簧套设在定位柱上并与端盖板的内壁接触式连接，所述弹簧8完全收缩时的长度大于定位柱9的高度。所述分子筛填料层包括由上到下依次布置的第一填料层10、第二填料层11、第三填料层12、第四填料层13及第五填料层14；所述第一填料层10和第二填料层11为脱氧剂填料层，所述第三填料层12为脱氮剂填料层，第四填料层13为脱氢剂填料层，第五填料层14为脱碳剂填料层。所述环形安装座5的顶部外壁上设置有一层橡胶防撞层；所述出气管3通过带有开关阀的支管设置有气相色谱仪。所述密封罐体1的底部设置有支撑腿15，该支撑腿15的底部设置有橡胶脚垫。
14.本实用新型所述的分子筛内部分成若干填料模块，可以按照原料气中的杂质成分配置不同的类型和比例的填料，使得在纯化过程中充分发挥各吸气剂的作用，提高分子筛的整体使用效率；并且在其中某填料使用饱和后，可以单独更换，不影响其他模块的使用。
此外，缓流罩可以对进入的气体起到了缓流的作用，有效避免了气体直接进入密封罐体内对底部分子筛填料层造成直接冲击，从而提高了底部分子筛填料层的使用寿命。
15.本文中所描述的具体实施例仅例示性说明本实用新型的原理及其功效，而非用于限制本实用新型。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本实用新型的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，但凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本实用新型所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本实用新型的权利要求所涵盖。


技术特征：
1.一种用于氩气提纯的模块化组合式分子筛，包括用于对氩气进行纯化的分子筛本体，其特征在于：所述分子筛本体包括密封罐体及可拆卸设置在该密封罐体内的若干分子筛填料层，所述密封罐体为圆柱形不绣钢罐体，密封罐体的底部设置有进气管，密封罐体的顶部可拆卸设置有带出气管的端盖板；所述密封罐体的下部内壁上设置有环形安装座，分子筛填料层通过环形安装座紧密搭设在密封罐体内，所述密封罐体的底部内壁上设置有圆柱状的缓流罩，该缓流罩设置在进气管的正上方并罩住进气管的进气口，且所述缓流罩的侧壁上开设有若干出气孔，缓流罩的顶部高度低于环形安装座的底部高度；所述端盖板内设置有用于将分子筛填料层压紧设置在密封罐体内的压紧机构。2.根据权利要求1所述的用于氩气提纯的模块化组合式分子筛，其特征在于：所述压紧机构包括带有通气孔的挡板及与该挡板配套的弹簧，所述挡板的顶部设置有至少两组定位柱，所述弹簧套设在定位柱上并与端盖板的内壁接触式连接，所述弹簧完全收缩时的长度大于定位柱的高度。3.根据权利要求1或2所述的用于氩气提纯的模块化组合式分子筛，其特征在于：所述分子筛填料层包括由上到下依次布置的第一填料层、第二填料层、第三填料层、第四填料层及第五填料层；所述第一填料层和第二填料层为脱氧剂填料层，所述第三填料层为脱氮剂填料层，第四填料层为脱氢剂填料层，第五填料层为脱碳剂填料层。4.根据权利要求3所述的用于氩气提纯的模块化组合式分子筛，其特征在于：所述环形安装座的顶部外壁上设置有一层橡胶防撞层；所述出气管通过带有开关阀的支管设置有气相色谱仪。

技术总结
本实用新型公开了一种用于氩气提纯的模块化组合式分子筛，包括用于对氩气进行纯化的分子筛本体，所述分子筛本体包括密封罐体及可拆卸设置在该密封罐体内的若干分子筛填料层，所述密封罐体为圆柱形不绣钢罐体，密封罐体的底部设置有进气管，密封罐体的顶部可拆卸设置有带出气管的端盖板；所述密封罐体的下部内壁上设置有环形安装座，分子筛填料层通过环形安装座紧密搭设在密封罐体内，所述密封罐体的底部内壁上设置有圆柱状的缓流罩，该缓流罩设置在进气管的正上方并罩住进气管的进气口，且所述缓流罩的侧壁上开设有若干出气孔，缓流罩的顶部高度低于环形安装座的底部高度；所述端盖板内设置有用于将分子筛填料层压紧设置在密封罐体内的压紧机构。封罐体内的压紧机构。封罐体内的压紧机构。


技术研发人员：李建新 杨代权 陈公哲 冯焕鹏 严慧婷
受保护的技术使用者：上海亿钶气体有限公司
技术研发日：2021.09.18
技术公布日：2022/2/8