一种压阻式微波功率检测系统的制作方法

1.本发明涉及微电子技术领域，具体为一种压阻式微波功率检测系统。


背景技术：

2.在介质基片的一个面上制作出中心导体带，并在紧邻中心导体带的两侧制作出导体平面，这样就构成了共面波导，又叫共面微带传输线。共面波导由于具备小体积，轻重量和平面结构使得便于获得线极化、圆极化、双极化和多频段工作等优点。共面波导在现代无线通信中得到了广泛的应用。
3.市场上微波功率的检测方式很多，但是微波功率检测还存在一定的缺陷，因此我们提出了一种压阻式微波功率检测系统。


技术实现要素：

4.本发明的目的在于提供一种压阻式微波功率检测系统，以解决上述背景技术提出的问题。
5.为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种压阻式微波功率检测系统，包括：
6.高阻硅衬底，所述高阻硅衬底的上方设置有信号线，且信号线的两侧平行设置有地线，并且信号线的上方设置有悬臂梁，所述悬臂梁的底端与高阻硅衬底的上表面进行对接，且悬臂梁的上方涂布有石墨烯层，通过石墨烯层弯曲变形而得到改变的电阻值，在检测石墨烯层的阻值时，可以检测到微波功率。
7.优选的，所述地线关于信号线的中心线呈对称分布，且信号线位于悬臂梁的正下方，通过地线与信号线平行设置，使得信号线在传输微波信号时可以避免被地线干扰。
8.优选的，所述悬臂梁和信号线相互垂直，且悬臂梁和信号线之间互不接触，由于悬臂梁和信号线互不接触，使得悬臂梁受到静电力时有足够的弯曲变形空间。
9.优选的，所述信号线用于传输微波信号，且悬臂梁采用金属铜材质，通过信号线传输微波信号，方便铜材质的悬臂梁可以受静电力而发生形变，从而可以带动石墨烯层的电阻值发生改变。
10.优选的，所述悬臂梁为“l”字型，所述信号线的外侧对接有限位桥，通过设置“l”字型的悬臂梁，使得悬臂梁的一侧受到拉力可发生弯曲。
11.优选的，所述限位桥关于悬臂梁的中心线呈对称分布，且限位桥呈拱形结构，通过拱形结构的限位桥可以对信号线进行加固防护。
12.优选的，所述限位桥的两端表面涂布有粘胶层，且粘胶层与高阻硅衬底的表面进行粘接，通过在限位桥的两端表面涂布粘胶层，使得限位桥可以在高阻硅衬底上进行稳定对接。
13.优选的，所述限位桥的内壁粘接有绝缘层，且绝缘层与信号线的外壁对接，通过在限位桥的内壁设置绝缘层，使得限位桥的内壁可以对信号线进行防护。
14.与现有技术相比，本发明的有益效果是：该压阻式微波功率检测系统，通过限位桥对信号线限位，使得绝缘层对信号线绝缘防护，当信号线传输微波信号时，使得微波功率可以在信号线上进行传输，悬臂梁受静电力并向信号线的方向拉动，使得悬臂梁受拉动而弯曲变形，并带动悬臂梁上表面的石墨烯层也发生形变，使得石墨烯层的电阻值发生变化，通过外接电阻检测仪器对石墨烯层的电阻值测量，方便根据测量的电阻值来检测到微波功率。
15.1、该该压阻式微波功率检测系统，当信号线传输微波信号时，使得微波功率可以在信号线上进行传输，此时，悬臂梁受静电力并向信号线的方向拉动，使得悬臂梁受拉动而导致弯曲变形，悬臂梁弯曲变形的同时会带动悬臂梁上表面的石墨烯层也跟随发生形变，从而带动石墨烯层的电阻值发生变化，通过外接电阻检测仪器对石墨烯层的电阻值测量，进而方便根据测量的电阻值来检测到微波功率；
16.2、该该压阻式微波功率检测系统，通过将绝缘层粘接在限位桥的内壁，并且将粘胶层涂布在限位桥的两端表面，通过限位桥两端的粘胶层与高阻硅衬底表面粘合，使得限位桥可以对信号线进行限位，同时限位桥通过内壁设置的绝缘层可以对信号线进行绝缘防护，避免信号线在限位加固时出现破损。
附图说明
17.图1为本发明主视结构示意图；
18.图2为本发明俯视结构示意图；
19.图3为本发明流程示意图；
20.图4为本发明原理示意图；
21.图5为本发明立体结构示意图；
22.图6为本发明限位桥的立体结构示意图。
23.图中：1、高阻硅衬底；2、信号线；3、地线；4、悬臂梁；5、石墨烯层；6、限位桥；7、粘胶层；8、绝缘层。
具体实施方式
24.下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
25.请参阅图1-6，本发明提供一种技术方案：一种压阻式微波功率检测系统，包括：高阻硅衬底1，高阻硅衬底1的上方设置有信号线2，且信号线2的两侧平行设置有地线3，并且信号线2的上方设置有悬臂梁4，悬臂梁4的底端与高阻硅衬底1的上表面进行对接，且悬臂梁4的上方涂布有石墨烯层5。
26.地线3关于信号线2的中心线呈对称分布，且信号线2位于悬臂梁4的正下方；悬臂梁4和信号线2相互垂直，且悬臂梁4和信号线2之间互不接触；信号线2用于传输微波信号，且悬臂梁4采用金属铜材质。
27.当信号线2传输微波时，悬臂梁4受静电力并向信号线2的方向拉动，使得悬臂梁4
受拉动而导致弯曲变形，悬臂梁4弯曲变形的同时会带动悬臂梁4上表面的石墨烯层5也跟随发生形变，从而带动石墨烯层5的电阻值发生变化。
28.悬臂梁4为“l”字型，信号线2的外侧对接有限位桥6；限位桥6关于悬臂梁4的中心线呈对称分布，且限位桥6呈拱形结构；限位桥6的两端表面涂布有粘胶层7，且粘胶层7与高阻硅衬底1的表面进行粘接；限位桥6的内壁粘接有绝缘层8，且绝缘层8与信号线2的外壁对接。
29.通过将绝缘层8粘接在限位桥6的内壁，并且将粘胶层7涂布在限位桥6的两端表面，通过限位桥6两端的粘胶层7与高阻硅衬底1表面粘合，使得限位桥6可以对信号线2进行限位，同时限位桥6通过内壁设置的绝缘层8可以对信号线2进行绝缘防护，避免信号线2在限位加固时出现破损。
30.综上所述，将信号线2设置在高阻硅衬底1上方，并且将地线3对称平行设置在信号线2的两侧，同时在悬臂梁4上涂布石墨烯层5，当微波功率在信号线2上进行传输时，悬臂梁4受静电力并向信号线2的方向拉动，使得悬臂梁4弯曲变形并带动石墨烯层5也跟随发生形变，从而带动石墨烯层5的电阻值发生变化，通过外接电阻检测仪器对石墨烯层5的电阻值测量，进而方便根据测量的电阻值来检测到微波功率，本说明中未作详细描述的内容属于本领域专业技术人员公知的现有技术。
31.尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。


技术特征：
1.一种压阻式微波功率检测系统，其特征在于，包括：高阻硅衬底(1)，所述高阻硅衬底(1)的上方设置有信号线(2)，且信号线(2)的两侧平行设置有地线(3)，并且信号线(2)的上方设置有悬臂梁(4)，所述悬臂梁(4)的底端与高阻硅衬底(1)的上表面进行对接，且悬臂梁(4)的上方涂布有石墨烯层(5)。2.根据权利要求1所述的一种压阻式微波功率检测系统，其特征在于：所述地线(3)关于信号线(2)的中心线呈对称分布，且信号线(2)位于悬臂梁(4)的正下方。3.根据权利要求2所述的一种压阻式微波功率检测系统，其特征在于：所述悬臂梁(4)和信号线(2)相互垂直，且悬臂梁(4)和信号线(2)之间互不接触。4.根据权利要求3所述的一种压阻式微波功率检测系统，其特征在于：所述信号线(2)用于传输微波信号，且悬臂梁(4)采用金属铜材质。5.根据权利要求1所述的一种压阻式微波功率检测系统，其特征在于：所述悬臂梁(4)为“l”字型，所述信号线(2)的外侧对接有限位桥(6)。6.根据权利要求5所述的一种压阻式微波功率检测系统，其特征在于：所述限位桥(6)关于悬臂梁(4)的中心线呈对称分布，且限位桥(6)呈拱形结构。7.根据权利要求6所述的一种压阻式微波功率检测系统，其特征在于：所述限位桥(6)的两端表面涂布有粘胶层(7)，且粘胶层(7)与高阻硅衬底(1)的表面进行粘接。8.根据权利要求7所述的一种压阻式微波功率检测系统，其特征在于：所述限位桥(6)的内壁粘接有绝缘层(8)，且绝缘层(8)与信号线(2)的外壁对接。

技术总结
本发明公开了一种压阻式微波功率检测系统，包括：高阻硅衬底，所述高阻硅衬底的上方设置有信号线，且信号线的两侧平行设置有地线，并且信号线的上方设置有悬臂梁，所述悬臂梁的底端与高阻硅衬底的上表面进行对接，且悬臂梁的上方涂布有石墨烯层。该压阻式微波功率检测系统，通过限位桥对信号线限位，使得绝缘层对信号线绝缘防护，当信号线传输微波信号时，使得微波功率可以在信号线上进行传输，悬臂梁受静电力并向信号线的方向拉动，使得悬臂梁受拉动而弯曲变形，并带动悬臂梁上表面的石墨烯层也发生形变，使得石墨烯层的电阻值发生变化，通过外接电阻检测仪器对石墨烯层的电阻值测量，方便根据测量的电阻值来检测到微波功率。方便根据测量的电阻值来检测到微波功率。方便根据测量的电阻值来检测到微波功率。


技术研发人员：王德波 马骄 李超
受保护的技术使用者：张家港芯微感半导体技术有限公司
技术研发日：2021.11.08
技术公布日：2022/2/8