一种调节成像光路夹角的改进装置的制作方法

1.本实用新型涉及一种调节成像光路夹角的改进装置，属于曝光技术领域。


背景技术：

2.在采用ldi(laser direct imaging)曝光机的pcb行业或半导体行业中，光路调节是非常重要的一个环节，光路调节的调整精度直接影响图形的曝光质量。并且，在光路调节过程中，通常需要调整dmd(digital micromirror device)曝光系统，使其与投影物镜的像面实现共焦，同时调整dmd曝光系统的角度，使投影的图像与曝光运动方向的角度达到设计要求，从而使曝光质量得到提升。
3.专利cn211427045u提供了一种调节成像光路倍率及夹角的装置，通过旋转倍率调节装置上的手杆，使其上的指针对应相同值的刻度，且指针和刻度的配合，使得在调节各个倍率调节装置时有所参照，达到准确调节的要求；并且在需要调节投影的图像与曝光运动方向的角度时，通过旋转手轮来调节中空的板件的相对位置，带动dmd承载台位置的改变以达到夹角调节的目的。
4.然而，专利cn211427045u提供的调节成像光路倍率及夹角的装置，在夹角调节时仍存在两个问题：(1)在夹角调节时上部机构会偏离中心轴线，以至于相邻两个dmd曝光系统所形成的光斑会出现重合或间隙；(2)大角度调节时(大于0.4度)上部机构在竖直方向产生倾斜，导致竖直方向光轴产生倾斜，曝光线条粗细不一，影响pcb板线路解析，并且也会导致光斑结合处出现重合和间隙，影响曝光质量。


技术实现要素：

5.[技术方案]
[0006]
本实用新型针对上述问题，提供一种改进的调节成像光路倍率及夹角的装置，以实现准确调节的要求：在夹角调节时使得dmd承载台保持水平，保证光轴不会倾斜；并且保证上部机构不会偏离中心轴线。
[0007]
参考图1，专利cn211427045u提供的调节成像光路倍率及夹角的装置中，夹角调节时，dmd承载台(1)、夹角旋转块(2)，倍率调节装置(11)作为整体一起旋转；通过夹角螺杆(22)施加的力来带动上部机构(1、2和11)旋转；其中，角度调节主要通过夹角螺杆的旋转实现：通过旋转夹角螺杆(22)的前进和后退配合弹性顶紧机构(23)来实现夹角旋转块(2)、dmd承载台(1)和倍率调节装置(11)一起顺时针或逆时针旋转，从而实现角度的增大或减小，具体为顺时针旋转夹角变大，逆时针旋转夹角变小。
[0008]
从而，专利cn211427045u的装置中，上部机构在旋转过程中会偏离中心轴线，并且在大角度调节时(大于0.4度)，上部机构在水平方向会产生倾斜。
[0009]
根据本实用新型，在调节成像光路夹角的改进装置中，参考图2所示，所述改进装置包括：dmd承载台(1)，夹角旋转块(2)和嵌入底座(3)，三者均为中空装置以便光路通过；其中，所述底座(3)和所述夹角旋转块(2)通过螺钉连接，所述夹角旋转(2)和所述dmd承载
台(1)通过弹性部件连接。
[0010]
所述改进装置还包括至少三个倍率调节装置(11)，所述倍率调节装置(11)和dmd承载台(1)通过螺纹方式一同连接至夹角旋转块(2)。
[0011]
所述夹角旋转块(2)中空板的定位外圆嵌入所述底座(3)的定位内圆中，所述夹角旋转块(2)的中空板还包括伸长的板件(21)，所述板件(21)与夹角螺杆(22)和弹性顶紧机构(23)的球面接触，以通过调节夹角螺杆(22)而使所述夹角旋转块(2)旋转。
[0012]
根据本实用新型，所述夹角螺杆(22)和弹性顶紧机构(23)分别设置于螺杆固定底座(4)两侧；所述螺杆固定座(4)固定在所述底座(3)上；其中，所述夹角螺杆(22)与所述螺杆固定底座(4)的螺纹孔(42)相配合，所述弹性顶紧机构(23)与所述螺杆固定底座(4)的固定孔(43)相配合。
[0013]
根据本实用新型，在一个实施例中，夹角调节时，dmd承载台(1)、夹角旋转块(2)，倍率调节装置(11)作为整体一起旋转；参考图3，由于夹角旋转块(2)的定位外圆嵌入底座(3)的定位内圆，两者以很小的间隙配合在一起，旋转时上部机构(1、2和11)绕着底座(3)定位内圆旋转；主要通过夹角螺杆(22)施加的力配合另外一端弹性顶紧机构(23)来带动上部机构(1、2和11)绕底座(3)定位内圆的旋转。
[0014]
根据本实用新型，在角度调节时，为保证夹角旋转块(2)和dmd承载台(1)一直保持在底座(3)的中心轴线上，在夹角旋转块(2)嵌入底座(3)的定位外圆的圆周方向均布多个钢球(31)限制其离心，多个钢球(31)通过底座(3)的定位孔施加到夹角旋转块(2)嵌入底座(3)的部分的圆周方向上。在一种实施方式中，多个钢球(31)为3个。
[0015]
参考图1，在夹角旋转块(2)在旋转过程中，如果夹角旋转块(2)和夹角螺杆(22)之间接触的切点维持不动(例如专利cn211427045u中，夹角旋转块(2)和夹角螺杆(22)之间的螺纹连接)，则夹角调节时夹角螺杆(22)施加的力很容易将夹角旋转块(2)卡死或者导致上部构件在竖直方向产生倾斜，这两种情况会使dmd承载台(1)偏心或者使竖直方向的中轴线产生倾斜，这是不允许的。
[0016]
根据本实用新型，在一种实施方式中，在调节成像光路夹角的改进装置中，由于弹性顶紧机构(23)的设置，夹角旋转块(2)和夹角螺杆(22)的球面连接处不是固定的，随着夹角旋转块(2)旋转，接触点能够不断变化，保证夹角螺杆(22)球面施加的力方向和夹角旋转块(2)始终处于相切，不会产生夹角旋转块(2)卡死或者倾斜的问题。
[0017]
根据本实用新型，在一种实施方式中，当角度调节满足要求后，能够采用紧定螺钉(41)将调节螺杆(22)固定，从而减少运输或者使用过程中带来的变动。
[0018]
根据本实用新型，在一种实施方式中，为了实现更精准的调节，夹角螺杆(22)可以用差分调节螺钉替代，从而减少游隙产生的误差。在一个实施例中，参考图7，进一步的为了实现更精准的调节，夹角螺杆(22)可以用差分调节螺钉(5)替代，差分调节螺钉(5)有粗调旋钮(51)和精调旋钮(52)，可以实现更精准的调节。
[0019]
参考图1，专利cn211427045u提供的调节成像光路倍率及夹角的装置中，从下方照向dmd的光会有散射现象，散射的光会变成不需要的杂散光，必须要减少。
[0020]
根据本实用新型，改进的装置除对夹角调节改进外，对杂散光的散射也有改善。
[0021]
在一种实施方式中，在dmd承载台(1)上开有合适尺寸的方形孔(12)；需要的光可以通过方形孔到达dmd，杂散光则被阻挡在方向孔的下方。
[0022]
根据本实用新型，在对倍率或者夹角调节时，dmd承载台会一直保持水平状态，不会产生倾斜进而对解析产生影响。
[0023]
[有益效果]
[0024]
本实用新型的调节成像光路夹角的改进装置中，由于弹性顶紧机构(23)的设置，夹角旋转块(2)和夹角螺杆(22)的连接处不是固定的，随着夹角旋转块(2)旋转，接触点能够不断变化，保证夹角旋转块(2)和夹角螺杆(22)始终处于相切，不会产生夹角旋转块(2)卡死或者倾斜的问题。
[0025]
根据本实用新型，夹角旋转块(2)嵌入底座(3)的部分的圆周方向上均布多个钢球(31)，从而上部机构在旋转时不会偏心，并且，对倍率或者夹角调节时，dmd承载台会一直保持水平状态，不会产生倾斜进而对解析产生影响。
[0026]
根据本实用新型，当角度调节满足要求后，能够采用紧定螺钉(41)将调节螺杆(22)固定，从而减少运输或者使用过程中带来的变动。
[0027]
根据本实用新型，为了实现更精准的调节，夹角螺杆(22)可以用差分调节螺钉(5)替代，差分调节螺钉(5)有粗调旋钮(51)和精调旋钮(52)，可以实现更精准的调节。
[0028]
根据本实用新型，在dmd承载台(1)上开有合适尺寸的方形孔(12)；需要的光可以通过所述方形孔(12)到达dmd，杂散光则被阻挡在方向孔的下方，以改善杂散光的散射。
附图说明
[0029]
图1为专利cn211427045u的调节成像光路夹角装置的总体结构示意图；
[0030]
图2为本实用新型的调节成像光路夹角的改进装置的总体结构示意图；
[0031]
图3为本实用新型的上部机构与底座连接关系示意图；
[0032]
图4为本实用新型的改进装置中螺杆固定座的结构示意图；
[0033]
图5为本实用新型的改进装置中，底座和夹角旋转块之间的限制离心结构示意图；
[0034]
图6为本实用新型的改进装置中，夹角旋转块的结构示意图；
[0035]
图7为本实用新型的改进装置中，差分调节螺钉的结构示意图；
[0036]
其中，1-dmd承载台，2-夹角旋转块，3-底座，4-螺杆固定座，11-倍率调节装置；21-板件，22-夹角螺杆，23-弹性顶紧机构；31-钢球，32-紧固螺钉；41-紧定螺钉，42-夹角螺杆螺纹孔，43-固定孔，5-差分调节螺钉，51-粗调旋钮，52-精调旋钮。
具体实施方式
[0037]
以下结合附图和具体实施例对本实用新型提出的作进一步详细说明。根据下述的说明和权利要求书，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。
[0038]
实施例一
[0039]
本实施例提供一种改进的调节成像光路倍率及夹角的装置，以实现准确调节的要求：在夹角调节时使得dmd承载台保持水平，保证光轴不会倾斜；并且保证上部机构不会偏离中心轴线。
[0040]
根据本实施例，在调节成像光路夹角的改进装置中，参考图2和图5所示，装置包括：dmd承载台1，夹角旋转块2和底座3，三者均为中空装置以便光路通过；其中，所述底座3
和所述夹角旋转块2在调节完夹角之后通过螺钉连接，所述夹角旋转2和所述dmd承载台1通过弹性部件连接；所述改进装置还包括至少三个倍率调节装置11，所述倍率调节装置11和dmd承载台1通过螺纹方式一同连接至夹角旋转块2。
[0041]
所述夹角旋转块2中空板的定位外圆嵌入所述底座3的定位内圆中，所述夹角旋转块2的中空板还包括伸长的板件21，所述板件21与夹角螺杆22和弹性顶紧机构23的球面接触，以通过调节夹角螺杆22而使所述夹角旋转块2旋转。
[0042]
在一种实施方式中，参考图2所示，所述夹角螺杆22和弹性顶紧机构23分别设置于螺杆固定底座4两侧；所述螺杆固定座4固定在所述底座3上，参考图4所示；其中，所述夹角螺杆22与所述螺杆固定底座4的螺纹孔42相配合，所述弹性顶紧机构23与所述螺杆固定底座4的固定孔43相配合。
[0043]
在一种实施方式中，夹角调节时，dmd承载台1、夹角旋转块2，倍率调节装置11作为整体一起旋转；参考图3，由于夹角旋转块2的定位外圆嵌入底座3的定位内圆，两者以很小的间隙配合在一起，旋转时上述旋转机构(1、2和11)绕着底座3的定位内圆旋转；主要通过夹角螺杆22施加的力配合另外一端弹性顶紧机构23来带动上部机构(1、2和11)绕底座3定位内圆旋转。
[0044]
在一种实施方式中，在角度调节时，参考图5所示，为保证夹角旋转块2和dmd承载台1一直保持在底座的中心轴线上，在夹角旋转块2嵌入底座3的定位外圆的圆周方向均布多个钢球31限制其离心，多个钢球31通过底座3的定位孔以及紧固螺钉32施加到夹角旋转块2嵌入底座3的部分的圆周方向上。在本实施例中，多个钢球31为3个。
[0045]
在一种实施方式中，在调节成像光路夹角的改进装置中，由于弹性顶紧机构23的设置，夹角旋转块2和夹角螺杆22的连接处不是固定的，随着夹角旋转块2旋转，夹角旋转块2和夹角螺杆2的接触点能够不断变化，保证夹角旋转块2和夹角螺杆22始终处于相切，从而不会产生夹角旋转块2卡死或者倾斜的问题。
[0046]
在一种实施方式中，当角度调节满足要求后，能够采用紧定螺钉41将调节螺杆22固定，从而减少运输或者使用过程中带来的变动。
[0047]
在一种实施方式中，为了实现更精准的调节，夹角螺杆22可以用差分调节螺钉替代，从而减少游隙产生的误差。参考图7，为了进一步实现更精准的调节，夹角螺杆22可以用差分调节螺钉5替代，差分调节螺钉5有粗调旋钮51和精调旋钮52，可以实现更精准的调节。
[0048]
在一种实施方式中，在dmd承载台1上开有合适尺寸的方形孔12；需要的光可以通过方形孔到达dmd，杂散光则被阻挡在方向孔的下方，从而改善对杂散光的散射。
[0049]
根据本实施例，在所述改进装置中，在对倍率或者夹角调节时，dmd承载台会一直保持水平状态，不会产生倾斜进而对解析产生影响。
[0050]
虽然本实用新型已以较佳实施例公开如上，但其并非用以限定本实用新型，任何熟悉此技术的人，在不脱离本实用新型的精神和范围内，都可做各种的改动与修饰，因此本实用新型的保护范围应该以权利要求书所界定的为准。