一种调节成像光路夹角的改进装置的制作方法

技术特征：
1.一种调节成像光路夹角的改进装置，其特征在于，所述改进装置包括：dmd承载台(1)，夹角旋转块(2)和底座(3)，三者均为中空结构以便光路通过；其中，所述底座(3)和所述夹角旋转块(2)通过螺钉连接，所述夹角旋转块(2)和所述dmd承载台(1)通过弹性部件连接；所述改进装置还包括至少三个倍率调节装置(11)，所述倍率调节装置(11)和所述dmd承载台(1)通过螺纹方式一同连接至所述夹角旋转块(2)；所述夹角旋转块(2)中空板的定位外圆嵌入所述底座(3)的定位内圆中，所述夹角旋转块(2)的中空板还包括伸长的板件(21)，所述板件(21)与夹角螺杆(22)和弹性顶紧机构(23)接触，以通过调节夹角螺杆(22)而使所述夹角旋转块(2)旋转。2.根据权利要求1所述的一种调节成像光路夹角的改进装置，其特征在于，所述夹角螺杆(22)和所述弹性顶紧机构(23)分别设置于螺杆固定座(4)两侧；所述螺杆固定座(4)固定在所述底座(3)上。3.根据权利要求2所述的一种调节成像光路夹角的改进装置，其特征在于，所述夹角螺杆(22)与所述螺杆固定座(4)的螺纹孔(42)相配合，所述弹性顶紧机构(23)与所述螺杆固定座(4)的固定孔(43)相配合。4.根据权利要求1所述的一种调节成像光路夹角的改进装置，其特征在于，所述倍率调节装置(11)和所述dmd承载台(1)能够与所述夹角旋转块(2)作为整体一同旋转。5.根据权利要求1所述的一种调节成像光路夹角的改进装置，其特征在于，所述夹角旋转块(2)能够通过夹角螺杆(22)施加的力而绕着所述底座(3)的定位内圆旋转。6.根据权利要求1所述的一种调节成像光路夹角的改进装置，其特征在于，由于所述弹性顶紧机构(23)的设置，所述夹角旋转块(2)的板件(21)和夹角螺杆(22)的连接处不是固定的，所述板件(21)和夹角螺杆(22)的接触点能够随着所述夹角旋转块(2)旋转而不断变化，以使得夹角螺杆(22)施加的力的方向和夹角旋转块(2)始终处于相切，从而不会产生所述夹角旋转块(2)卡死或者倾斜的问题。7.根据权利要求1所述的一种调节成像光路夹角的改进装置，其特征在于，在所述夹角旋转块(2)嵌入所述底座(3)的定位外圆的圆周方向均布多个钢球(31)以限制其离心。8.根据权利要求7所述的一种调节成像光路夹角的改进装置，其特征在于，所述多个钢球(31)通过所述底座(3)的定位孔施加到所述夹角旋转块(2)嵌入所述底座(3)的定位外圆的圆周方向上。9.根据权利要求1所述的一种调节成像光路夹角的改进装置，其特征在于，所述夹角螺杆(22)能够采用差分调节螺钉(5)替代，从而减少游隙产生的误差；所述差分调节螺钉(5)包括粗调旋钮(51)和精调旋钮(52)，能够实现更精准的调节。10.根据权利要求1所述的一种调节成像光路夹角的改进装置，其特征在于，在所述dmd承载台(1)上开有合适尺寸的方形孔(12)；需要的光可以通过所述方形孔(12)到达dmd，杂散光则被阻挡在方向孔的下方，以改善杂散光的散射。

技术总结
本实用新型公开了一种调节成像光路夹角的改进装置，属于曝光技术领域。所述改进装置包括：DMD承载台，夹角旋转块和嵌入底座，还包括一同连接至夹角旋转块的倍率调节装置；夹角旋转块中空板的定位外圆嵌入底座的定位内圆中，夹角旋转块还包括伸长的板件(21)，板件(21)通过夹角螺杆(22)和弹性顶紧机构(23)连接，以通过调节夹角螺杆(22)而使夹角旋转块旋转。所述改进装置由于弹性顶紧机构(23)的设置，以及在夹角旋转块嵌入底座的定位外圆的圆周方向均布多个钢球(31)以限制其离心，从而在夹角调节时使得DMD承载台保持水平，保证光轴不会倾斜；并且保证上部机构不会偏离中心轴线。线。线。


技术研发人员：肖燕青 王方江 符祥震 陈海巍 程珂
受保护的技术使用者：江苏影速集成电路装备股份有限公司
技术研发日：2021.09.10
技术公布日：2022/2/7