一种提拉法晶体生长炉的制作方法

技术特征：
1.一种提拉法晶体生长炉，其特征在于，包括重叠设置的下炉膛和上炉膛，所述下炉膛底部设置在炉底盘上，所述炉底盘设置在炉体支架上，所述上炉膛顶部设置有炉盖，所述炉盖上方还设置有安装平台，所述安装平台设置在龙门架上，所述安装平台与炉体支架之间设置有两个导向柱，所述安装平台上设置有提拉动力装置和两个升降组件，两个导向柱和两个升降组件两两配合设置，两个导向柱上均套设有升降套，所述升降套与对应升降组件的升降杆连接，两个升降套通过转接件分别与炉盖和上炉膛连接，所述提拉动力装置与提拉杆连接。2.如权利要求1所述的提拉法晶体生长炉，其特征在于，所述下炉膛、上炉膛、炉底盘和炉盖配合形成炉腔，所述炉腔内设置有温场和坩埚，所述坩埚设置在温场内，所述坩埚设置在升降平台上，所述升降平台通过底部的中心轴与外部动力组件连接。3.如权利要求2所述的提拉法晶体生长炉，其特征在于，所述温场包括保温筒和设置在保温筒以及坩埚之间的加热器，所述保温筒从上至下至少为2层结构。4.如权利要求1所述的提拉法晶体生长炉，其特征在于，所述下炉膛、上炉膛、炉底盘和炉盖内均设置有夹水层。5.如权利要求1所述的提拉法晶体生长炉，其特征在于，所述下炉膛与上炉膛之间以及上炉膛与炉盖之间均通过快速锁紧装置固定。6.如权利要求1所述的提拉法晶体生长炉，其特征在于，所述炉底盘上开设有真空孔，所述炉底盘通过真空孔与不锈钢管连接，所述不锈钢管与真空泵连接。7.如权利要求1所述的提拉法晶体生长炉，其特征在于，所述导向柱上套设有加强定位套，所述加强定位套通过固定连接块与下炉膛固定连接。8.如权利要求1所述的提拉法晶体生长炉，其特征在于，所述升降套包括第一导向套，所述第一导向套底部与转接件连接，所述第一导向套上套设有第二导向套，所述第二导向套顶部设置有限位板，所述第二导向套与升降杆连接。

技术总结
本实用新型公开了一种提拉法晶体生长炉，包括重叠设置的下炉膛和上炉膛，下炉膛底部设置在炉底盘上，炉底盘设置在炉体支架上，上炉膛顶部设置有炉盖，炉盖上方还设置有安装平台，安装平台设置在龙门架上，安装平台与炉体支架之间设置有两个导向柱，安装平台上设置有提拉动力装置和两个升降组件，两个导向柱和两个升降组件两两配合设置，两个导向柱上均套设有升降套，升降套与对应升降组件的升降杆连接，两个升降套通过转接件分别与炉盖和上炉膛连接，提拉动力装置与提拉杆连接。本实用新型能有效利用提拉炉内部空间，同时适合大、小尺寸晶体的生长。寸晶体的生长。寸晶体的生长。


技术研发人员：徐悟生 张磊 彭明林 朱逢锐 周方 刘雪松 韩世昌
受保护的技术使用者：秦皇岛本征晶体科技有限公司
技术研发日：2021.09.10
技术公布日：2022/2/7