一种用于提高水平放置长方形片子清洗效率的工装结构的制作方法

1.本实用新型涉及半导体生产技术领域，具体涉及一种用于提高水平放置长方形片子清洗效率的工装结构。


背景技术：

2.现有一批长方形片子，用于半导体芯片生产。这类片子材质为碲锌镉或者碲镉汞，比较轻、比较脆，都是人工一次一片进行清洗。而由于只能由人工手动操作，且一次只能清洗一片，导致效率低下、产出量低。


技术实现要素：

3.(一)解决的技术问题
4.本实用新型目的在于背景技术提出的技术问题，而提供了一种用于提高水平放置长方形片子清洗效率的工装结构，将长方形片子按照圆周定位方式，一次可清洗多片，该工装还能与机械手兼容，实现自动化清洗。
5.(二)技术方案
6.一种用于提高水平放置长方形片子清洗效率的工装结构，包括安装盘，安装盘外缘设置有机械手夹取定位块；安装盘上周向均匀设置了若干滑轨，滑轨上滑动连接有顶块、并可通过紧定螺丝进行固定；
7.滑轨远离安装盘圆心的一端设置有通孔；安装盘的盘面对应通孔两侧设置有支撑柱，支撑柱外围还设置有侧边定位销，侧边定位销也连接在安装盘盘面上；安装盘的盘面对应通孔远离安装盘圆心的一侧还设置有外侧定位销。
8.优选的，安装盘中心设置有连接孔，用于与其他工位连接配合。
9.优选的，支撑柱高度小于侧边定位销和外侧定位销。
10.优选的，外侧定位销或/和侧边定位销为蘑菇头型结构。
11.优选的，顶块远离安装盘圆心的一端设置有u型口。
12.优选的，滑轨上设置有定位螺纹孔，顶块上设置有安装通槽，紧定螺丝穿过安装通槽、螺进定位螺纹孔并将顶块固定在滑轨上。
13.优选的，机械手夹取定位块对称设置，并通过螺栓与安装盘可拆卸连接。
14.优选的，滑轨设置了6个。
15.(三)有益效果
16.本实用新型提供了一种用于提高水平放置长方形片子清洗效率的工装结构，在安装盘均匀周向了多个滑轨，滑轨上设置了可定位的顶块，配合定位销，实现对长方形片子固定；由于顶块位置可调，配合定位销，可适应不同尺寸的长方形片子的固定；并且长方形片子固定时受到支撑柱的作用，与安装盘不贴合，方便清洁后排液。
附图说明
17.为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的，保护一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
18.图1为本实用新型的结构图；
19.图2为本实用新型去除部分顶块的结构图；
20.图3为顶块的结构图；
21.附图中，各标号所代表的部件列表如下：
22.1-安装盘，2-连接孔，3-机械手夹取定位块，4-滑轨，5-顶块，6-紧定螺丝，7-外侧定位销，8-侧边定位销，9-支撑柱。
具体实施方式
23.下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
24.在本实用新型的描述中，需要说明的是，如出现术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等，其所指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，如出现术语“第一”、“第二”、“第三”，其仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
25.在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，如出现术语“安装”、“相连”、“连接”，应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
26.实施例1
27.参看附图1，一种用于提高水平放置长方形片子清洗效率的工装结构，包括安装盘1；
28.安装盘1外缘装有机械手夹取定位块3；安装盘1上周向均匀加工了若干个滑轨4，滑轨4上滑动连接有顶块5、并可通过紧定螺丝6进行固定；
29.参看附图2，滑轨4上开有定位螺纹孔，顶块5上开有安装通槽，顶块5可沿着滑轨4移动，完成调整后即可使紧定螺丝6穿过安装通槽、螺进定位螺纹孔并将顶块5固定在滑轨4上。
30.滑轨4远离安装盘1圆心的一端设有通孔；安装盘1的盘面对应通孔两侧连接有支撑柱9，支撑柱9外围还设有侧边定位销8，侧边定位销8也连接在安装盘1盘面上；安装盘1的盘面对应通孔远离安装盘1圆心的一侧还连接有外侧定位销7。
31.本实施例中，滑轨4设置了6个，可最多完成对6片长方形片子的固定及清洗。机械手夹取定位块3对称设置，并通过螺栓与安装盘1可拆卸连接。
32.参看附图1，将长方形片子放置于安装盘1上，通过支撑柱9及侧向定位销8和外侧定位销7确定放置到位；然后将顶块5移动并顶紧长方形片子，并使用紧定螺丝6将其固定牢靠；重复上述对将6片长方形片子固定好，通过机械手夹住机械手夹取定位块3带着本工装结构进行清理，也可在各个工艺槽之间进行工艺转换即可。
33.由于顶块5可进行调整，配合侧向定位销8和外侧定位销7，可适应不同尺寸的长方形片子的固定。
34.需要说明的是，支撑柱9高度小于侧边定位销8和外侧定位销7，使长方形片子固定时与安装盘1不贴合，方便清洁后排液；外侧定位销7或/和侧边定位销8为蘑菇头型结构，这样可减少与长方形片子的接触点；顶块5远离安装盘1圆心的一端设有u型口，也便于清洁后排液及减少与长方形片子的接触点。
35.此外，安装盘1中心设有连接孔2，用于与其他工位连接配合。
36.在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“示例”、“具体示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
37.以上公开的本实用新型优选实施例只是用于帮助阐述本实用新型。优选实施例并没有详尽叙述所有的细节，也不限制该实用新型仅为的具体实施方式。显然，根据本说明书的内容，可作很多的修改和变化。本说明书选取并具体描述这些实施例，是为了更好地解释本实用新型的原理和实际应用，从而使所属技术领域技术人员能很好地理解和利用本实用新型。本实用新型仅受权利要求书及其全部范围和等效物的限制。


技术特征：
1.一种用于提高水平放置长方形片子清洗效率的工装结构，包括安装盘(1)，其特征在于，所述安装盘(1)外缘设置有机械手夹取定位块(3)；所述安装盘(1)上周向均匀设置了若干滑轨(4)，滑轨(4)上滑动连接有顶块(5)、并可通过紧定螺丝(6)进行固定；所述滑轨(4)远离安装盘(1)圆心的一端设置有通孔；所述安装盘(1)的盘面对应通孔两侧设置有支撑柱(9)，支撑柱(9)外围还设置有侧边定位销(8)，侧边定位销(8)也连接在安装盘(1)盘面上；所述安装盘(1)的盘面对应通孔远离安装盘(1)圆心的一侧还设置有外侧定位销(7)。2.根据权利要求1所述的一种用于提高水平放置长方形片子清洗效率的工装结构，其特征在于，所述安装盘(1)中心设置有连接孔(2)，用于与其他工位连接配合。3.根据权利要求1所述的一种用于提高水平放置长方形片子清洗效率的工装结构，其特征在于，所述支撑柱(9)高度小于侧边定位销(8)和外侧定位销(7)。4.根据权利要求1所述的一种用于提高水平放置长方形片子清洗效率的工装结构，其特征在于，所述外侧定位销(7)或/和侧边定位销(8)为蘑菇头型结构。5.根据权利要求1所述的一种用于提高水平放置长方形片子清洗效率的工装结构，其特征在于，所述顶块(5)远离安装盘(1)圆心的一端设置有u型口。6.根据权利要求1所述的一种用于提高水平放置长方形片子清洗效率的工装结构，其特征在于，所述滑轨(4)上设置有定位螺纹孔，顶块(5)上设置有安装通槽，紧定螺丝(6)穿过安装通槽、螺进定位螺纹孔并将顶块(5)固定在滑轨(4)上。7.根据权利要求1所述的一种用于提高水平放置长方形片子清洗效率的工装结构，其特征在于，所述机械手夹取定位块(3)对称设置，并通过螺栓与安装盘(1)可拆卸连接。8.根据权利要求1所述的一种用于提高水平放置长方形片子清洗效率的工装结构，其特征在于，所述滑轨(4)设置了6个。

技术总结
本实用新型涉及半导体生产技术领域，具体涉及一种用于提高水平放置长方形片子清洗效率的工装结构；本实用新型提供了一种用于提高水平放置长方形片子清洗效率的工装结构，在安装盘均匀周向了多个滑轨，滑轨上设置了可定位的顶块，配合定位销，实现对长方形片子固定；由于顶块位置可调，配合定位销，可适应不同尺寸的长方形片子的固定；并且长方形片子固定时受到支撑柱的作用，与安装盘不贴合，方便清洁后排液。排液。排液。


技术研发人员：周尤 段昧存 韦树喜
受保护的技术使用者：安徽万维克林精密装备有限公司
技术研发日：2021.09.01
技术公布日：2022/2/7