一种晶圆环切割装置的制作方法

1.本实用新型涉及切割装置领域，特别涉及一种晶圆环切割装置。


背景技术：

2.晶圆贴片是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之ic产品。晶圆的原始材料是硅，而地壳表面有用之不竭的二氧化硅。
3.现有技术中，晶圆贴片的切割过程不能够实现自动化，而需要不断的装夹和定位，因此不能够保证精度的同时费时费力，因此我们提出了一种晶圆环切割装置，配合送料装置，能够实现自动环形轨迹切割，同时能够手动调节切割进给量，整个设计结构简单实用性强。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供一种晶圆环切割装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
5.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种晶圆环切割装置，包括安装面板本体，所述安装面板本体的顶侧开设有圆形通孔，所述圆形通孔内转动安装有转动安装筒，所述转动安装筒的底端固定连接有转动大齿轮，所述安装面板本体的底侧固定连接有衔接安装板，所述衔接安装板的一侧固定连接有连接横板，所述连接横板的顶侧固定安装有伺服安装电机，所述伺服安装电机的输出轴连接有转动小齿轮，所述转动安装筒内贯穿有晶环，所述转动安装筒的顶端固定连接有两个支撑顶杆，两个支撑顶杆的顶端固定连接有同一个方环，所述方环的一侧固定连接有支撑安装架，所述支撑安装架的顶侧固定安装有立板。
6.优选的，所述立板上开设有圆形通孔，所述圆形通孔内转动安装有带动丝杆，所述带动丝杆的一端固定连接有控制盘，所述带动丝杆的另一端固定连接有限位块。
7.优选的，所述支撑安装架的一侧固定安装有限位滑轨，所述限位滑轨上滑动套接有限位滑动块。
8.优选的，所述限位滑动块的底侧固定连接有步进驱动电机，所述步进驱动电机的输出轴上固定套接有切割盘。
9.优选的，所述限位滑轨上滑动套接有限位滑动块，安装面板本体的底侧固定连接有四个支撑腿。
10.优选的，所述限位滑动块的顶侧固定连接有从动连接板，所述从动连接板上开设螺纹通孔，带动丝杆贯穿所述螺纹通孔。
11.本实用新型的技术效果和优点：
12.本实用工作原理：
13.1、本设备安装于晶圆环切割流水线上，通过晶圆环的送料装置进行晶圆环的上
料，首先启动步进驱动电机，通过步进驱动电机带动切割盘转动，手动转动控制盘，控制盘带动带动丝杆转动，带动丝杆带动从动连接板向前移动，通过从动连接板带动限位滑动块沿着限位滑轨移动，限位滑动块带动步进驱动电机和切割片移动，进而实现切割一个切口，通过手动调节切割深度，可有先切割较浅的切割线，后面逐步加深，从而保证切割精度。
14.2、通过伺服安装电机的设计，此时启动伺服安装电机，伺服安装电机带动转动小齿轮转动，转动小齿轮带动转动大齿轮转动，转动大齿轮带动转动安装筒转动，进而实现带动支撑顶杆和方环上固定的组件运动，此时切割轨迹正好是圆形，从而实现对晶圆环的切割，整个设计结构简单，实用性强。
附图说明
15.图1为本实用新型立体结构示意图；
16.图2为本实用新型另一个视角的立体结构示意图；
17.图3为本实用新型图1中a处放大结构示意图；
18.图4为本实用新型俯视结构示意图。
19.图中：1、安装面板本体；2、转动安装筒；3、转动大齿轮；4、衔接安装板；5、连接横板；6、伺服安装电机；7、转动小齿轮；8、晶环；9、支撑顶杆；10、方环；11、支撑安装架；12、带动丝杆；13、限位滑轨；14、限位滑动块；15、从动连接板；16、控制盘；17、步进驱动电机；18、切割盘。
具体实施方式
20.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
21.本实用新型提供了如图1-4所示的一种晶圆环切割装置，包括安装面板本体1，安装面板本体1的顶侧开设有圆形通孔，所述圆形通孔内转动安装有转动安装筒2，所述转动安装筒2的底端固定连接有转动大齿轮3，所述安装面板本体1的底侧固定连接有衔接安装板4，所述衔接安装板4的一侧固定连接有连接横板5，所述连接横板5的顶侧固定安装有伺服安装电机6，所述伺服安装电机6的输出轴连接有转动小齿轮7，所述转动安装筒2内贯穿有晶环8，所述转动安装筒2的顶端固定连接有两个支撑顶杆9，两个支撑顶杆9的顶端固定连接有同一个方环10，所述方环10的一侧固定连接有支撑安装架11，所述支撑安装架11的顶侧固定安装有立板，通过步进驱动电机17带动切割盘18转动，手动转动控制盘16，控制盘16带动带动丝杆12转动，带动丝杆12带动从动连接板15向前移动，通过从动连接板15带动限位滑动块14沿着限位滑轨13移动，限位滑动块14带动步进驱动电机17和切割片18移动，进而实现切割一个切口。
22.进一步的，在上述方案中，立板上开设有圆形通孔，所述圆形通孔内转动安装有带动丝杆12，所述带动丝杆12的一端固定连接有控制盘16，所述带动丝杆12的另一端固定连接有限位块。
23.进一步的，在上述方案中，支撑安装架11的一侧固定安装有限位滑轨13，所述限位
滑轨13上滑动套接有限位滑动块14，通过限位滑动块14的设计，提高了滑动过程中的精度的作用。
24.进一步的，在上述方案中，限位滑动块14的底侧固定连接有步进驱动电机17，所述步进驱动电机17的输出轴上固定套接有切割盘18，此时启动伺服安装电机6，伺服安装电机6带动转动小齿轮7转动，转动小齿轮7带动转动大齿轮3转动，转动大齿轮3带动转动安装筒2转动，进而实现带动支撑顶杆9和方环10上固定的组件运动，此时切割轨迹正好是圆形，从而实现对晶圆环的切割。
25.进一步的，在上述方案中，限位滑轨13上滑动套接有限位滑动块14，安装面板本体1的底侧固定连接有四个支撑腿，通过限位滑轨13的设计，实现了限位和导向的功能。
26.进一步的，在上述方案中，限位滑动块14的顶侧固定连接有从动连接板15，所述从动连接板15上开设螺纹通孔，带动丝杆12贯穿所述螺纹通孔，通过带动丝杆12的设计，实现了机械能的传递。
27.本实用工作原理：本设备安装于晶圆环切割流水线上，通过晶圆环的送料装置进行晶圆环的上料，首先启动步进驱动电机17，通过步进驱动电机17带动切割盘18转动，手动转动控制盘16，控制盘16带动带动丝杆12转动，带动丝杆12带动从动连接板15向前移动，通过从动连接板15带动限位滑动块14沿着限位滑轨13移动，限位滑动块14带动步进驱动电机17和切割片18移动，进而实现切割一个切口，此时启动伺服安装电机6，伺服安装电机6带动转动小齿轮7转动，转动小齿轮7带动转动大齿轮3转动，转动大齿轮3带动转动安装筒2转动，进而实现带动支撑顶杆9和方环10上固定的组件运动，此时切割轨迹正好是圆形，从而实现对晶圆环的切割，整个设计结构简单，实用性强。
28.最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换,凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。