一种晶圆环切割装置的制作方法

技术特征：
1.一种晶圆环切割装置，包括安装面板本体(1)，其特征在于：所述安装面板本体(1)的顶侧开设有圆形通孔，所述圆形通孔内转动安装有转动安装筒(2)，所述转动安装筒(2)的底端固定连接有转动大齿轮(3)，所述安装面板本体(1)的底侧固定连接有衔接安装板(4)，所述衔接安装板(4)的一侧固定连接有连接横板(5)，所述连接横板(5)的顶侧固定安装有伺服安装电机(6)，所述伺服安装电机(6)的输出轴连接有转动小齿轮(7)，所述转动安装筒(2)内贯穿有晶环(8)，所述转动安装筒(2)的顶端固定连接有两个支撑顶杆(9)，两个支撑顶杆(9)的顶端固定连接有同一个方环(10)，所述方环(10)的一侧固定连接有支撑安装架(11)，所述支撑安装架(11)的顶侧固定安装有立板。2.根据权利要求1所述的一种晶圆环切割装置，其特征在于：所述立板上开设有圆形通孔，所述圆形通孔内转动安装有带动丝杆(12)，所述带动丝杆(12)的一端固定连接有控制盘(16)，所述带动丝杆(12)的另一端固定连接有限位块。3.根据权利要求1所述的一种晶圆环切割装置，其特征在于：所述支撑安装架(11)的一侧固定安装有限位滑轨(13)，所述限位滑轨(13)上滑动套接有限位滑动块(14)。4.根据权利要求3所述的一种晶圆环切割装置，其特征在于：所述限位滑动块(14)的底侧固定连接有步进驱动电机(17)，所述步进驱动电机(17)的输出轴上固定套接有切割盘(18)。5.根据权利要求3所述的一种晶圆环切割装置，其特征在于：所述限位滑轨(13)上滑动套接有限位滑动块(14)，安装面板本体(1)的底侧固定连接有四个支撑腿。6.根据权利要求3所述的一种晶圆环切割装置，其特征在于：所述限位滑动块(14)的顶侧固定连接有从动连接板(15)，所述从动连接板(15)上开设螺纹通孔，带动丝杆(12)贯穿所述螺纹通孔。7.根据权利要求1所述的一种晶圆环切割装置，其特征在于：所述转动小齿轮(7)和所述转动大齿轮(3)相啮合。

技术总结
本实用新型公开了一种晶圆环切割装置，涉及到切割装置领域，包括安装面板本体，所述安装面板本体的顶侧开设有圆形通孔，所述圆形通孔内转动安装有转动安装筒，所述转动安装筒的底端固定连接有转动大齿轮，所述安装面板本体的底侧固定连接有衔接安装板，所述衔接安装板的一侧固定连接有连接横板。本设备安装于晶圆环切割流水线上，通过晶圆环的送料装置进行晶圆环的上料，首先启动步进驱动电机，通过步进驱动电机带动切割盘转动，手动转动控制盘，控制盘带动带动丝杆转动，带动丝杆带动从动连接板向前移动，通过从动连接板带动限位滑动块沿着限位滑轨移动，限位滑动块带动步进驱动电机和切割片移动，进而实现切割一个切口，通过手动调节切割深度，可有先切割较浅的切割线，后面逐步加深，从而保证切割精度。从而保证切割精度。从而保证切割精度。


技术研发人员：刘红军
受保护的技术使用者：昆山英博尔电子科技有限公司
技术研发日：2021.08.18
技术公布日：2022/2/7