一种沉积炉进气流量自动控制装置的制作方法

1.本实用新型涉及自动控制装置技术领域，特别是涉及一种沉积炉进气流量自动控制装置。


背景技术：

2.目前在沉积炉工作过程中需要使用到进气流量自动控制装置，现有的自动控制装置多为气体流量控制器，从而实现沉积炉进气流量的自动控制。
3.现有的气体流量控制器虽然朝着智能化、便捷化和安全化发展，但是有的气体流量控制器上操控显示端的外侧并没有设置防护机构，容易在外力或者突然撞击的情况下发生损坏，为此我们提出一种沉积炉进气流量自动控制装置。


技术实现要素：

4.为了克服现有技术的不足，本实用新型提供一种沉积炉进气流量自动控制装置，通过设置防护机构，以此保护气体流量控制器上的操控显示端，避免发生损坏。
5.为解决上述技术问题，本实用新型提供如下技术方案：一种沉积炉进气流量自动控制装置，包括气体流量控制器，所述气体流量控制器底部的两侧均设置有连接端，所述气体流量控制器顶部的一侧设置有操控显示端，所述气体流量控制器的外表面对称设置有两个固定板，两个所述固定板的两端均固定连接有固定块，四个所述固定块的中部均开设有通孔，四个所述通孔的内部均插接有活动杆，四个所述活动杆的外表面均套设有弹簧，四个所述活动杆的一端分别与防护框的四个边角固定连接，且防护框的位置与操控显示端的位置相对应。
6.作为本实用新型的一种优选技术方案，四个所述活动杆的另一端均固定连接有螺纹连接杆，四个所述固定块的一侧均设置有限位圆块，四个所述限位圆块的中部分别开设有与四个螺纹连接杆外表面相适配的四个螺纹孔，四个所述螺纹孔的内部分别与四个螺纹连接杆的外表面螺纹连接。
7.作为本实用新型的一种优选技术方案，两个所述固定板中部的两侧均开设有安装孔，四个所述安装孔的内部均插接有安装螺栓，两个所述固定板通过四个安装螺栓与气体流量控制器固定连接。
8.作为本实用新型的一种优选技术方案，所述防护框包括与四个活动杆端面固定连接的连接框和位于连接框外侧的防撞垫。
9.作为本实用新型的一种优选技术方案，所述连接框可由钢材制成，所述防撞垫可由缓冲橡胶制成。
10.作为本实用新型的一种优选技术方案，所述防护框的高度尺寸大于操控显示端的高度尺寸。
11.作为本实用新型的一种优选技术方案，四个所述螺纹连接杆的外径尺寸分别与四个活动杆的外径尺寸相同。
12.与现有技术相比，本实用新型能达到的有益效果是：
13.1、通过外力作用于操控显示端，使得防护框往后移动，进而带动活动杆顺着通孔移动，从而压缩弹簧，利用弹簧的形变力，以此产生良好的缓冲效果，来对外力进行缓冲，同时设置的防护框也能够避免外力直接作用于操控显示端上，具有较好的防护性，该设计通过设置防护框及其可形变的弹簧，来降低外力或者撞击的力对操控显示端的影响，从而较好的保护了操控显示端；
14.2、通过旋转限位圆块，使得限位圆块上的螺纹孔与螺纹连接杆分离，然后往外抽动防护框，使得活动杆带动螺纹连接杆从通孔内出去，此时即可对弹簧或者防护框进行更换，该设计方便使用者更换弹簧或者防护框，从而能够一直为操控显示端提供较好的防护效果。
附图说明
15.图1为本实用新型的立体结构示意图；
16.图2为本实用新型的图1中a处局部放大结构示意图；
17.图3为本实用新型的固定块结构示意图；
18.图4为本实用新型的固定板结构示意图；
19.其中：1、气体流量控制器；2、连接端；3、螺纹孔；4、操控显示端；5、固定板；6、安装孔；7、安装螺栓；8、固定块；9、活动杆；10、弹簧；11、防护框；12、连接框；13、防撞垫；14、通孔；15、螺纹连接杆；16、限位圆块。
具体实施方式
20.为了使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施例，进一步阐述本实用新型，但下述实施例仅仅为本实用新型的优选实施例，并非全部。基于实施方式中的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得其它实施例，都属于本实用新型的保护范围。下述实施例中的实验方法，如无特殊说明，均为常规方法，下述实施例中所用的材料、试剂等，如无特殊说明，均可从商业途径得到。
21.实施例:
22.如图1-图4所示，一种沉积炉进气流量自动控制装置，包括气体流量控制器1，气体流量控制器1底部的两侧均设置有连接端2，气体流量控制器1顶部的一侧设置有操控显示端4，气体流量控制器1的外表面对称设置有两个固定板5，两个固定板5的两端均固定连接有固定块8，四个固定块8的中部均开设有通孔14，四个通孔14的内部均插接有活动杆9，四个活动杆9的外表面均套设有弹簧10，四个活动杆9的一端分别与防护框11的四个边角固定连接，且防护框11的位置与操控显示端4的位置相对应；
23.当有外力作用于操控显示端4时，会先接触防护框11，使得防护框11往后移动，进而带动活动杆9顺着通孔14移动，从而压缩弹簧10，利用弹簧10的形变力，以此产生良好的缓冲效果，来对外力进行缓冲，同时设置的防护框11也能够避免外力直接作用于操控显示端4上，具有较好的防护性，该设计通过设置防护框11及其可形变的弹簧10，来降低外力或者撞击的力对操控显示端4的影响，从而较好的保护了操控显示端4。
24.在其他实施例中，四个活动杆9的另一端均固定连接有螺纹连接杆15，四个固定块8的一侧均设置有限位圆块16，四个限位圆块16的中部分别开设有与四个螺纹连接杆15外表面相适配的四个螺纹孔3，四个螺纹孔3的内部分别与四个螺纹连接杆15的外表面螺纹连接；
25.当长期使用后，弹簧10形变力大大下降或者防护框11损坏后，可以旋转限位圆块16，使得限位圆块16上的螺纹孔3与螺纹连接杆15分离，然后往外抽动防护框11，使得活动杆9带动螺纹连接杆15从通孔14内出去，此时即可对弹簧10或者防护框11进行更换，更换完毕后，可以将新的弹簧10套在与新防护框11连接的活动杆9外表面，然后将活动杆9顺着通孔14插入，随后反方向旋转限位圆块16，使得限位圆块16上的螺纹孔3与螺纹连接杆15拧合即可，该设计方便使用者更换弹簧10或者防护框11，从而能够一直为操控显示端4提供较好的防护效果。
26.在其他实施例中，两个固定板5中部的两侧均开设有安装孔6，四个安装孔6的内部均插接有安装螺栓7，两个固定板5通过四个安装螺栓7与气体流量控制器1固定连接；
27.通过将安装螺栓7插入安装孔6内，再与气体流量控制器1预留的螺纹连接孔进行连接，方便将固定板5安装于气体流量控制器1的外侧。
28.在其他实施例中，防护框11包括与四个活动杆9端面固定连接的连接框12和位于连接框12外侧的防撞垫13；
29.通过在连接框12的外侧设置防撞垫13，能够对外力进行缓冲，从而保护连接框12及其操控显示端4。
30.在其他实施例中，连接框12可由钢材制成，防撞垫13可由缓冲橡胶制成；
31.钢制的连接框12具有较好的刚性，避免发生大幅度变形现象，同时缓冲橡胶具有良好的缓冲效果，避免对连接框12造成过度冲击。
32.在其他实施例中，防护框11的高度尺寸大于操控显示端4的高度尺寸；
33.方便使用者手部能伸入防护框11内，进而对操控显示端4进行操作。
34.在其他实施例中，四个螺纹连接杆15的外径尺寸分别与四个活动杆9的外径尺寸相同；
35.方便在活动杆9与通孔14分离后，也能顺利的带动螺纹连接杆15与通孔14分离。
36.在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
37.以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的仅为本实用新型的优选例，并不用来限制本实用新型，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。