一种沉积炉进气流量自动控制装置的制作方法

技术特征：
1.一种沉积炉进气流量自动控制装置，包括气体流量控制器(1)，其特征在于：所述气体流量控制器(1)底部的两侧均设置有连接端(2)，所述气体流量控制器(1)顶部的一侧设置有操控显示端(4)，所述气体流量控制器(1)的外表面对称设置有两个固定板(5)，两个所述固定板(5)的两端均固定连接有固定块(8)，四个所述固定块(8)的中部均开设有通孔(14)，四个所述通孔(14)的内部均插接有活动杆(9)，四个所述活动杆(9)的外表面均套设有弹簧(10)，四个所述活动杆(9)的一端分别与防护框(11)的四个边角固定连接，且防护框(11)的位置与操控显示端(4)的位置相对应。2.根据权利要求1所述的一种沉积炉进气流量自动控制装置，其特征在于：四个所述活动杆(9)的另一端均固定连接有螺纹连接杆(15)，四个所述固定块(8)的一侧均设置有限位圆块(16)，四个所述限位圆块(16)的中部分别开设有与四个螺纹连接杆(15)外表面相适配的四个螺纹孔(3)，四个所述螺纹孔(3)的内部分别与四个螺纹连接杆(15)的外表面螺纹连接。3.根据权利要求1所述的一种沉积炉进气流量自动控制装置，其特征在于：两个所述固定板(5)中部的两侧均开设有安装孔(6)，四个所述安装孔(6)的内部均插接有安装螺栓(7)，两个所述固定板(5)通过四个安装螺栓(7)与气体流量控制器(1)固定连接。4.根据权利要求1所述的一种沉积炉进气流量自动控制装置，其特征在于：所述防护框(11)包括与四个活动杆(9)端面固定连接的连接框(12)和位于连接框(12)外侧的防撞垫(13)。5.根据权利要求4所述的一种沉积炉进气流量自动控制装置，其特征在于：所述连接框(12)可由钢材制成，所述防撞垫(13)可由缓冲橡胶制成。6.根据权利要求1所述的一种沉积炉进气流量自动控制装置，其特征在于：所述防护框(11)的高度尺寸大于操控显示端(4)的高度尺寸。7.根据权利要求2所述的一种沉积炉进气流量自动控制装置，其特征在于：四个所述螺纹连接杆(15)的外径尺寸分别与四个活动杆(9)的外径尺寸相同。

技术总结
本实用新型公开了一种沉积炉进气流量自动控制装置，包括气体流量控制器，所述气体流量控制器底部的两侧均设置有连接端，所述气体流量控制器顶部的一侧设置有操控显示端，所述气体流量控制器的外表面对称设置有两个固定板，两个所述固定板的两端均固定连接有固定块，四个所述固定块的中部均开设有通孔，四个所述通孔的内部均插接有活动杆，四个所述活动杆的外表面均套设有弹簧，四个所述活动杆的一端分别与防护框的四个边角固定连接，且防护框的位置与操控显示端的位置相对应。通过设置防护机构，以此保护气体流量控制器上的操控显示端，避免发生损坏。避免发生损坏。避免发生损坏。


技术研发人员：孙积存 马良来
受保护的技术使用者：昊石新材料科技南通有限公司
技术研发日：2021.08.21
技术公布日：2022/2/7