图案化二维材料的制备装置的制作方法

技术特征：
1.一种图案化二维材料的制备装置，其特征在于，包括有腔体、三维驱动部件、样品固定部件、第一加热部件、抽真空部件和多个气体输送部件；所述三维驱动部件安装在所述腔体底部，所述样品固定部件安装在所述三维驱动部件上，所述第一加热部件安装在所述腔体内，所述第一加热部件用于对所述样品固定部件进行加热，所述抽真空部件与所述腔体连通，所述气体输送部件安装在所述腔体上，所述气体输送部件的出气口位于所述样品固定部件的上方。2.根据权利要求1所述的图案化二维材料的制备装置，其特征在于，所述图案化二维材料的制备装置还包括有多个固态前驱体供给部件，所述固态前驱体供给部件安装在所述气体输送部件上，所述固态前驱体供给部件与所述气体输送部件连通，所述固态前驱体供给部件上设置有第二加热部件。3.根据权利要求1或2所述的图案化二维材料的制备装置，其特征在于，所述图案化二维材料的制备装置还包括有冷却部件，所述冷却部件固定安装在所述腔体内，所述冷却部件用于对所述腔体进行降温。4.根据权利要求1或2所述的图案化二维材料的制备装置，其特征在于，所述腔体上设置有观察窗口。5.根据权利要求1或2所述的图案化二维材料的制备装置，其特征在于，所述第一加热部件包括有石墨加热器，所述石墨加热器固定安装在所述腔体内。6.根据权利要求1或2所述的图案化二维材料的制备装置，其特征在于，所述抽真空部件包括有真空机和真空度检测仪，所述真空机与所述腔体连通，所述真空度检测仪与所述真空机连接。7.根据权利要求1或2所述的图案化二维材料的制备装置，其特征在于，所述气体输送部件包括有至少一个管道，所述管道与所述腔体可拆卸连接，所述管道的一端位于所述样品固定部件的上方，所述管道上设置有质量流量计和电磁截止阀，所述质量流量计与所述电磁截止阀连接。8.根据权利要求2所述的图案化二维材料的制备装置，其特征在于，所述固态前驱体供给部件包括有与所述气体输送部件可拆卸连接的供给块，所述供给块上设置有凹槽，所述气体输送部件与所述供给块的连接处设置有通孔。9.根据权利要求3所述的图案化二维材料的制备装置，其特征在于，所述冷却部件包括有循环管路，所述循环管路固定安装在所述腔体的内部。

技术总结
本发明涉及二维材料制备技术领域，具体是一种图案化二维材料的制备装置，包括有腔体、三维驱动部件、样品固定部件、第一加热部件、抽真空部件和多个气体输送部件；所述三维驱动部件安装在所述腔体底部，所述样品固定部件安装在所述三维驱动部件上，所述第一加热部件安装在所述腔体内，所述第一加热部件用于对所述样品固定部件进行加热，所述抽真空部件与所述腔体连通，所述气体输送部件安装在所述腔体上，所述气体输送部件的出气口位于所述样品固定部件的上方。本发明实现了衬底在三维方向的精确移动，使得衬底与前驱体之间可以产生相对移动，进而可以根据所需图案得到图案化二维材料。料。料。


技术研发人员：王斌 梁涛
受保护的技术使用者：国家纳米科学中心
技术研发日：2021.09.15
技术公布日：2022/2/6