技术特征：
1.一种硅棒的保护结构体，其特征在于，包括：框体，具有包围容纳硅棒的反应器的底板周围的形状；及保护壁面，从所述框体向竖直上方延伸，形成所述硅棒的容纳空间，且所述保护壁面具有网状结构。2.根据权利要求1所述的硅棒的保护结构体，其特征在于，在所述框体与所述反应器的所述底板之间设置保护板，所述保护板具有以包围所述底板的周围的方式延伸且沿着水平方向扩展的平面。3.根据权利要求1或2所述的硅棒的保护结构体，其特征在于，所述保护壁面能够沿着从所述框体中的多个点的各点向竖直上方延伸的分割线进行分割。4.根据权利要求1至3任一项所述的硅棒的保护结构体，其特征在于，在所述保护壁面形成取出窗，以将容纳于所述反应器中的所述硅棒取出。5.一种硅棒的制造方法，包括：拆卸步骤，从形成容纳硅棒的反应器的底板拆下与所述底板共同形成所述反应器的盖，其特征在于，所述拆卸步骤是在设置保护结构体而形成所述硅棒的容纳空间之后进行，所述保护结构体包括：框体，具有包围所述底板的周围的形状；以及保护壁面，从所述框体向竖直上方延伸，且具有网状结构。
技术总结
本发明的保护结构体能够确认硅棒的翻倒状况并进行反应器的打开作业。保护结构体(200)包括：第一框体(201)，具有包围容纳硅棒(110)的反应器(100)的底板(101)周围的形状；及保护壁面(204)，从第一框体(201)向竖直上方延伸，形成硅棒(110)的容纳空间(210)，且保护壁面(204)具有网状结构。壁面(204)具有网状结构。壁面(204)具有网状结构。
技术研发人员：阪井纯也 川口一博
受保护的技术使用者：株式会社德山
技术研发日：2020.05.28
技术公布日：2022/2/6
再多了解一些
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