光刻设备的基板搬运系统及其方法与流程

技术特征：
1.一种基板搬运系统，包括：基板保持器，所述基板保持器包括主体和多个突节，所述主体具有主体表面，所述多个突节从所述主体表面突出以支撑与所述主体表面间隔开的基板，夹持装置，所述夹持装置被配置成将所述基板夹持至所述基板保持器上和/或从所述基板保持器松开所述基板，和传送装置，所述传送装置被配置成将所述基板装载至所述基板保持器上和/或从所述基板保持器卸载所述基板，其中，所述传送装置被进一步配置成在所述基板被夹持至所述基板保持器期间和/或所述基板从所述基板保持器松开期间物理接触所述基板。2.根据权利要求1所述的基板搬运系统，其中，所述传送装置被进一步配置成在所述松开期间将所述基板定位在振动位置中，其中在所述振动位置中所述基板与所述多个突节分离地定位，或/和其中，所述传送装置包括力反馈传感器装置。3.根据权利要求2所述的基板搬运系统，其中，所述传送装置被配置成在所述力反馈传感器装置检测到由所述松开所引起的力时将所述基板定位在所述振动位置中。4.根据前述权利要求中任一项所述的基板搬运系统，其中，所述传送装置包括传送装置控制器，并且其中，所述传送装置被配置成在所述传送装置控制器检测到由所述松开所引起的力时将所述基板定位在所述振动位置中，或/和其中，所述传送装置包括多个销和马达装置。5.根据权利要求4所述的基板搬运系统，其中，所述马达装置包括被配置成提供至少100hz的力反馈控制的伺服致动器。6.根据权利要求4或5所述的基板搬运系统，其中，所述多个销涂覆有阻尼材料，优选地，所述阻尼材料是聚醚醚酮。7.根据前述权利要求中任一项所述的基板搬运系统，还包括气体分配器装置，该气体分配器装置被配置成将至少一种气体至少分配至所述主体表面，优选地，所述气体是氢气或氮气。8.根据前述权利要求中任一项所述的基板搬运系统，还包括用于阻尼所述基板与所述多个突节的接触的阻尼装置，优选地，所述阻尼装置包括气体阻尼器和/或磁阻尼器，或/和，其中所述传送装置被进一步配置成检测在所述夹持期间所述基板的振动的减小，并且将所述传送装置与所述基板分离。9.根据权利要求2和8所述的基板搬运系统，其中，所述力反馈传感器装置被配置成检测所述振动的减小。10.根据权利要求4和8所述的基板搬运系统，其中，所述传送装置控制器被配置成检测所述振动的减小。11.一种用于松开基板的方法，包括：松开所述基板且在所述松开期间使传送装置与所述基板接触，和在所述松开期间，通过所述传送装置将所述基板移动至振动位置，其中在所述振动位置中所述基板与所述多个突节分离。
12.根据权利要求11所述的方法，包括：在将所述基板移动至所述振动位置之前，检测所述基板的释放，其中，通过使用力反馈测量或通过传送装置控制器来执行所述检测。13.根据权利要求11至12中任一项所述的方法，其中，移动至所述振动位置的速度等于或大于10mm/s。14.一种用于夹持基板的方法，包括：夹持所述基板且在所述夹持期间使传送装置与所述基板接触。15.根据权利要求14所述的方法，还包括：通过所述传送装置检测所述基板的振动的减小；和将所述传送装置与所述基板分离，其中，通过力反馈测量或通过传送装置控制器来检测所述基板的振动的所述减小。16.一种计算机程序，包括：用于使根据权利要求1至10中任一项所述的基板搬运系统执行根据权利要求11至15中任一项所述的方法中的任一方法的步骤的指令。17.一种计算机可读介质，所述计算机可读介质上储存有根据权利要求16所述的计算机程序。18.一种光刻设备，包括根据权利要求1至10中任一项所述的基板搬运系统和/或根据权利要求17所述的计算机可读介质。

技术总结
一种基板搬运系统，包括：基板保持器，所述基板保持器包括具有主体表面的主体和从所述主体表面突出以支撑与所述主体表面间隔开的基板的多个突节；夹持装置，所述夹持装置被配置成将所述基板夹持至所述基板保持器上和/或从所述基板保持器松开所述基板；和传送装置，所述传送装置被配置成将所述基板装载至所述基板保持器上和/或从所述基板保持器卸载所述基板，其中所述传送装置被进一步配置成在基板被夹持到所述基板保持器期间和/或基板从所述基板保持器松开期间物理接触所述基板。还描述了用于夹持和松开基板的方法、计算机程序、计算机可读介质和光刻设备。算机可读介质和光刻设备。算机可读介质和光刻设备。


技术研发人员：M
受保护的技术使用者：ASML荷兰有限公司
技术研发日：2020.05.19
技术公布日：2022/1/28