用于边射型发光元件的吸嘴的制作方法

1.本实用新型涉及吸嘴技术领域，尤其涉及一种用于吸取边射型发光元件的吸嘴。


背景技术：

2.在5g通讯、车用电子与光通讯等方面的发展需求下，边射型发光元件(如fp、dfb、eml、dml等)作为5g通信的核心发射端通讯器件，占有重要的地位。此类晶圆的制程流程为：基础结构的磊晶成长，脊状波导(ridge waveguide，rwg)的制作，绝缘层的成长，形成电流窗口、p导电金属层、研磨减薄抛光、n导电金属层，晶圆划线裂片为芯条，芯条高低反射层镀膜，之后进行划线裂片，并由吸嘴吸取芯条上的每一颗芯片(die)依序移载并进行光、电性质的测试。如图1所示为单一边射型发光元件的俯视图，如图2所示为脊状波导所在位置的局部放大图，此类边射型发光元件1顶部皆具有脊状波导11，脊状波导11所在位置间隙非常细小(仅25um以下)，若吸嘴下降时压伤脊状波导11，就会造成边射型发光元件1损坏，因此现有的吸嘴采用橡胶材质，以减少压伤情形，但此类芯条在划线裂片为芯片(die)时，容易于边射型发光元件1周围形成细微毛边，此情形下在吸嘴下降吸气时，容易造成毛边吸附或插入橡胶中，之后吸嘴下降与边射型发光元件接触，毛边就会污染或压伤氧化层(oxide)、电极(pad)、脊状波导11，因此必须定期更换吸嘴，除增加成本，每次也须耗时费工地进行校正对位作业。


技术实现要素：

3.为解决上述的问题，本实用新型的主要目的是提供一种用于边射型发光元件的吸嘴，主要是在吸嘴与边射型发光元件接触的接触端面设有一凹槽，在吸附过程中，凹槽内供脊状波导位于其中，因此接触端面就不会与脊状波导接触，更无压伤的可能，如此能减少边射型发光元件损坏，也能降低移载或测试的不良率。
4.为达上述的目的，本实用新型为一种用于边射型发光元件的吸嘴，吸嘴为金属制作且具有呈锥状的吸嘴头，吸嘴头末端为多边形的接触端面，吸嘴设有从接触端面贯穿的吸气孔，接触端面上另形成一凹槽，凹槽与吸气孔连通，当吸嘴吸取边射型发光元件时，凹槽内为边射型发光元件的脊状波导的所在区域，借此避免接触端面与脊状波导的接触机会。
5.作为较佳优选实施例之一，接触端面除凹槽与吸气孔的其余区域皆为呈平坦的镜面。
6.作为较佳优选实施例之一，接触端面为四边形。
7.作为较佳优选实施例之一，凹槽呈横向凹陷于接触端面。
8.作为较佳优选实施例之一，吸嘴头末端凸起一凸部，接触端面位于凸部的端面。
9.作为较佳优选实施例之一，凹槽通过吸气孔中心。
10.作为较佳优选实施例之一，凹槽偏离吸气孔中心但仍与吸气孔连通。
11.与现有技术相比，本实用新型具有下列具体的功效：
12.1.减少压伤边射型发光元件，提升移载测试的良率；
13.2.由于本实用新型为金属制作吸嘴，且无压伤问题，使用寿命长，大幅减少更换周期次数。
附图说明
14.图1为边射型发光元件的俯视图立体图；
15.图2为边射型发光元件的脊状波导所在位置的局部放大图；
16.图3为本实用新型的用于边射型发光元件的吸嘴的第一实施例立体图；
17.图4为本实用新型的用于边射型发光元件的吸嘴的第一实施例剖面图；
18.图5为本实用新型的用于边射型发光元件的吸嘴的第一实施例接触端面放大图；
19.图6为本实用新型的用于边射型发光元件的吸嘴的第一实施例局部剖面放大图；
20.图7为本实用新型的用于边射型发光元件的吸嘴的第二实施例立体图；
21.图8为本实用新型的用于边射型发光二件的吸嘴的第二实施例局部剖面放大图。
22.附图标记说明：
23.1-边射型发光元件；
24.11-脊状波导；
25.2-吸嘴；
26.21-吸嘴头；
27.22-吸气孔；
28.23-接触端面；
29.24-凹槽；
30.25-凸部。
具体实施方式
31.下面将结合具体实施例和附图，对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述。需要说明的是，当元件被称为“安装于或固定于”另一个元件，意指它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，意指它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。在所示出的实施例中，方向表示上、下、左、右、前和后等是相对的，用于解释本案中不同部件的结构和运动是相对的。当部件处于图中所示的位置时，这些表示是恰当的。但是，如果元件位置的说明发生变化，那么认为这些表示也将相应地发生变化。
32.除非另有定义，本文所使用的所有技术和科学术语属于本实用新型技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中所使用的术语只是为了描述具体实施例的目的，不是旨在限制本实用新型。本文所使用的术语“和/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
33.如图3及图4所示，为本实用新型用于边射型发光元件的吸嘴的立体图及剖面图。吸嘴2具有呈锥状的吸嘴头21，在本实施例中吸嘴头21为四边形的锥状体，吸嘴2中心具有贯穿的吸气孔22，配合所连接的设备，产生吸力吸取边射型发光元件。请一并参阅图5及图6所示，吸嘴头21末端为接触端面23，吸气孔22是从接触端面23贯穿吸嘴2，吸取时由接触端
面23与边射型发光元件接触，利用吸气孔22产生吸力以吸取边射型发光元件。
34.接触端面23上形成一凹槽24，且接触端面24呈多边形，本实施例中为四边形。凹槽24的宽度及深度皆大于边射型发光元件顶部的脊状波导的尺寸，如此在下压接触过程中，脊状波导位于凹槽24内，能避免被压伤损坏。接触端面23呈四边形且对应于边射型发光元件的尺寸，如此虽然因凹槽24关系为非完全面对面的紧密接触，也不会影响吸附边射型发光元件。另外本实用新型吸嘴2采金属制作，接触端面23可经加工处理，让接触端面23除凹槽24与吸气孔22以外的其余区域皆呈平坦的镜面，此也有助于吸取边射型发光元件，且金属制作的吸嘴2使用寿命长，减少更换的频率，提升生产效率。
35.如图7及图8所示，为本实用新型用于边射型发光元件的吸嘴的另一实施例图。在本实施例中吸嘴头21末端还凸起形成一凸部25，接触端面23位于凸部25的端面，接触端面23上仍具有凹槽24，但凹槽24位置偏于吸气孔22的中心。凹槽24偏移的目的是因应有些制程会使脊状波导产生偏移的现象。凸部25则是因应吸取不同边射型发光元件，防止机构之间产生干涉问题，或是利于吸取边射型发光元件而衍生的设计。
36.综合以上所述，本实用新型吸嘴2在吸取边射型发光元件时，凹槽24内为边射型发光元件的脊状波导的所在区域，此能避免接触端面23与脊状波导的接触而造成压伤现象，进而在吸取边射型发光元件减少损坏，且金属制作的吸嘴2使用寿命长，增加经济效益。
37.以上所述的是本实用新型的优选实施方式，应当指出对于本技术领域的普通人员来说，在不脱离本实用新型所述的原理前提下还可以作出若干改进和润饰，这些改进和润饰也在本实用新型的保护范围内。


技术特征：
1.一种用于边射型发光元件的吸嘴，其特征在于，所述吸嘴为金属制作且具有呈锥状的吸嘴头，所述吸嘴头末端为多边形的接触端面，所述吸嘴设有从所述接触端面贯穿的吸气孔，所述接触端面上形成一凹槽，所述凹槽与所述吸气孔连通，当所述吸嘴吸取边射型发光元件时，所述凹槽内为所述边射型发光元件的脊状波导的所在区域。2.根据权利要求1所述的用于边射型发光元件的吸嘴，其特征在于，所述接触端面除所述凹槽与所述吸气孔的其余区域皆为呈平坦的镜面。3.根据权利要求1所述的用于边射型发光元件的吸嘴，其特征在于，所述接触端面为四边形。4.根据权利要求1所述的用于边射型发光元件的吸嘴，其特征在于，所述凹槽呈横向凹陷于所述接触端面。5.根据权利要求1所述的用于边射型发光元件的吸嘴，其特征在于，所述吸嘴头末端凸起一凸部，所述接触端面位于所述凸部的端面。6.根据权利要求1所述的用于边射型发光元件的吸嘴，其特征在于，所述凹槽通过所述吸气孔中心。7.根据权利要求1所述的用于边射型发光元件的吸嘴，其特征在于，所述凹槽偏离所述吸气孔中心但仍与所述吸气孔连通。

技术总结
本实用新型提供了一种用于边射型发光元件的吸嘴，吸嘴为金属制作且具有呈锥状的吸嘴头，吸嘴头末端为多边形的接触端面，吸嘴设有从接触端面贯穿的吸气孔，所述接触端面上另形成一凹槽，凹槽与吸气孔连通，当吸嘴吸取边射型发光元件时，凹槽内为边射型发光元件的脊状波导的所在区域，以此避免接触端面与脊状波导接触所造成的压伤，进而减少吸取边射型发光元件产生的损坏。件产生的损坏。件产生的损坏。


技术研发人员：谢柏为
受保护的技术使用者：谢柏为
技术研发日：2021.08.02
技术公布日：2022/1/26