一种ITO/Ag/ITO复合金属层薄膜的蚀刻液的制作方法

技术特征：
1.一种ito/ag/ito复合金属层薄膜的蚀刻液，其特征在于：以重量百分比为100％计算，所述蚀刻液包括磷酸20-50％、硝酸3-8％、硫酸1-3％、醋酸10-20％、抑制剂0.5-2％和清洗剂0.1-1.5％，余量为纯水；所述抑制剂包括无机钾盐和有机膦酸钠盐；所述清洗剂为纤维素交联聚合物。2.如权利要求1所述的一种ito/ag/ito复合金属层薄膜的蚀刻液，其特征在于：所述纤维素交联聚合物为纤维素与聚羧酸类化合物交联而得。3.如权利要求2所述的一种ito/ag/ito复合金属层薄膜的蚀刻液，其特征在于：所述纤维素为羟基乙基纤维素、羟基丙基纤维素、羧甲基纤维素和羧乙基纤维素中的一种或多种组合。4.如权利要求2所述的一种ito/ag/ito复合金属层薄膜的蚀刻液，其特征在于：所述聚羧酸类化合物为聚丙烯酸、聚丙烯酸钠、水解聚马来酸酐、马来酸-丙烯酸共聚物中的一种或多种组合。5.如权利要求2所述的一种ito/ag/ito复合金属层薄膜的蚀刻液，其特征在于：所述纤维素交联聚合物的反应步骤如下：s1，将纤维素溶解于聚乙二醇，得到混合液；s2，将混合液与聚羧酸类化合物混合，在80-120℃条件下反应10-30min得到纤维素交联聚合物。6.如权利要求5所述的一种ito/ag/ito复合金属层薄膜的蚀刻液，其特征在于：所述纤维素：聚乙二醇：聚羧酸类化合物的重量比为(1-5):(3-8):1。7.如权利要求1所述的一种ito/ag/ito复合金属层薄膜的蚀刻液，其特征在于：所述无机钾盐为氯化钾、硝酸钾和醋酸钾中的一种或多种组合。8.如权利要求1所述的一种ito/ag/ito复合金属层薄膜的蚀刻液，其特征在于：所述有机膦酸钠盐为羟基乙叉二膦酸二钠、羟基乙叉二膦酸四钠、乙二胺四甲叉膦酸五钠、二乙烯三胺五甲叉膦酸五钠、二乙烯三胺五甲叉膦酸七钠、2-膦酸丁烷-1,2,4-三羧酸四钠和双1,6-亚己基三胺五甲叉膦酸钠中的一种或多种组合。9.如权利要求1所述的一种ito/ag/ito复合金属层薄膜的蚀刻液，其特征在于：还包括表面活性剂，所述表面活性剂为油酸酰胺丙基二甲基氧化胺、月桂醇醚磷酸酯和聚异丁烯丁二酰亚胺中的一种或多种组合，所述表面活性剂的重量百分比为3-5％。10.如权利要求1-9任一所述的一种ito/ag/ito复合金属层薄膜的蚀刻液，其特征在于，所述蚀刻液的配置方法如下：s1，在不断搅拌的条件下，将电子级磷酸、硝酸、硫酸和醋酸加入反应釜中得到混合酸；s2，配置抑制剂和清洗剂：将无机钾盐和有机膦酸钠盐溶于纯水中，超声振荡得到抑制剂；在不断搅拌的条件下，将有机膦酸加入纤维素交联聚合物中，超声振荡得到清洗剂；s3，在反应釜中依次加入混合酸、表面活性剂、抑制剂、清洗剂，充分搅拌并真空过滤，得到蚀刻液。

技术总结
本发明提出了一种用于ITO/Ag/ITO复合金属层薄膜的蚀刻液，以重量百分比为100％计算，所述蚀刻液包括磷酸20-50％、硝酸3-8％、硫酸1-3％、醋酸10-20％、抑制剂0.5-2％和清洗剂0.1-1.5％，余量为纯水；所述抑制剂包括无机钾盐和有机膦酸钠盐；所述清洗剂为纤维素交联聚合物，所述纤维素交联聚合物为纤维素与聚羧酸类化合物交联而得。纤维素交联聚羧酸类化合物，含有大量的羧基、羟基以及聚合烯酸，一方面与银离子螯合，使银离子沉淀，可减缓银蚀刻速率，另一方面纤维素交联聚合物与银离子和ITO螯合后，在形成沉淀的同时，还将金属离子从溶液中脱离出来，从而有效去除蚀刻后Ag和ITO残渣。渣。渣。


技术研发人员：李泰亨 申阳 高峰 苗发虎 白晓鹏
受保护的技术使用者：易安爱富（武汉）科技有限公司
技术研发日：2021.09.23
技术公布日：2022/1/25