一种晶片研磨烘干检测工作台的制作方法

技术特征：
1.一种晶片研磨烘干检测工作台，包括底座，所述底座上设置有研磨机构、烘干区、取片区和检测区；其特征在于：所述烘干区包括烘干槽和吹风箱，所述吹风箱连接有出气管道，所述出气管道上并连有第一吹风管和第二吹风管，所述第一吹风管上连通有加热器和第一调节阀，所述第二吹风管上设置有第二调节阀；所述烘干槽内连通有若干上烘干管和下烘干管，所述上烘干管的出口设置在烘干槽的上部，所述下烘干管的出口设置在烘干槽的下部，所述上烘干管与第二吹风管连通，所述下烘干管与第一吹风管连通；所述检测区的底座上设置有聚光灯，所述取片区上设置有取片吸管，所述取片吸管连通有负压泵。2.根据权利要求1所述的一种晶片研磨烘干检测工作台，其特征在于：所述第一吹风管和第二吹风管上均设置有过滤网。3.根据权利要求2所述的一种晶片研磨烘干检测工作台，其特征在于：所述烘干槽上部的横截面积大于烘干槽下部的横截面积。4.根据权利要求1所述的一种晶片研磨烘干检测工作台，其特征在于：所述底座上设置有灯槽，所述灯槽的底部固定连接有灯座，所述灯座上铰接有灯柄，所述灯柄远离灯座的一端铰接有连接杆，所述连接杆远离灯柄的一端与聚光灯铰接。5.根据权利要求4所述的一种晶片研磨烘干检测工作台，其特征在于：所述烘干槽的底部设置有与烘干槽连通的通槽，所述通槽内滑动的设置有接水箱。6.根据权利要求4所述的一种晶片研磨烘干检测工作台，其特征在于：所述灯柄与灯座的铰接方式为球铰连接。

技术总结
本实用新型涉及晶片制造技术领域，公开了一种晶片研磨烘干检测工作台，包括底座，底座上设置有研磨机构、烘干区、取片区和检测区；烘干区包括烘干槽和吹风箱，吹风箱连接有出气管道，出气管道上并连有第一吹风管和第二吹风管，第一吹风管上连通有加热器和第一调节阀，第二吹风管上设置有第二调节阀；烘干槽内连通有若干上烘干管和下烘干管，上烘干管的出口设置在烘干槽的上部，下烘干管的出口设置在烘干槽的下部，上烘干管与第二吹风管连通，下烘干管与第一吹风管连通；检测区的底座上设置有聚光灯，取片区上设置有取片吸管，取片吸管连通有负压泵。本实用新型能够对研磨后的晶片进行烘干和检测，并且避免晶片的损坏，增加晶片的合格率。合格率。合格率。


技术研发人员：周一 毕洪伟 彭杰
受保护的技术使用者：威科赛乐微电子股份有限公司
技术研发日：2021.05.11
技术公布日：2022/1/14