半导体轨道顶升机构的制作方法

1.本实用新型涉及半导体检测装置技术领域，具体涉及半导体轨道顶升机构。


背景技术：

2.半导体产业是当今相当重要、占比也高的产业类别，为了提高制程质量，在产线中每一个环节的检测流程则扮演关键性的角色，以半导体基板为例，常需要压平基板之后以相机等设备进行检测，有利于尽早过滤不良品，进而提高良率，但此类压平机构结构较为复杂且兼容性差，需要改进。


技术实现要素：

3.为解决上述至少一个技术缺陷，本实用新型提供了如下技术方案：
4.本申请文件公开半导体轨道顶升机构，所述顶升机构包括板体、升降单元、导向滑块及限位板，其中升降单元的伸缩端与上方的板体固定，板体上设置多个导向滑块，限位板固定在板体上且限位板端部自板体的顶面凸出。
5.本方案中重新设计顶升机构，以升降单元在纵向上调节板体的位置，并以导向滑块导向板体以提高运行的稳定性及精度，两侧面上的限位板、导向滑块自板体顶面凸出且二者之间的槽可对待顶升的单元进行限位以防止脱落，该结构兼容性高，可兼容一定范围尺寸的产品，无需更换工装，使用方便。
6.进一步，所述限位板固定在板体正面的顶部位置，板体的底部固定导向滑块，合理布局。
7.进一步，两个导向滑块相对固定在板体的左、右两端部，合理布局，稳定导向。
8.进一步，还包括支撑架、定位板，支撑架上固定升降机构，定位板固定在支撑架上且位于所述板体顶面的正上方，导向滑块对应的支撑架上设置滑轨，导向滑块沿滑轨移动，在支撑架上安装升降机构，以定位板限位，导向滑块与滑轨配合提高运行精度及稳定性。使用时，顶升基板至抵接定位板后，外设的相机等检测装置可半导体基板进行检测，使用方便，且提高安全性。
9.进一步，所述板体为矩形体，方便与支撑架配合。
10.进一步，所述升降单元为气缸或液压缸，简单实用且成本低。
11.与现有技术相比，本实用新型的有益效果：
12.1、本实用新型全新设计顶升机构，兼容性强，使用方便。
附图说明
13.为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
14.图1是实施例1中半导体轨道顶升机构的结构图；
15.图2是半导体轨道顶升机构的应用结构图；
16.其中，附图标记为：
17.1、板体；2、升降单元；3、限位板；4、导向滑块；5、导轨；6、l型板；7、定位板；8、皮带；9、槽；10、支撑架；11、连接件。
具体实施方式
18.下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步说明。
19.实施例1
20.如图1所示，本半导体轨道顶升机构包括板体1、升降单元2、导向滑块4及限位板3，如图示，板体1为矩形体，板体1中间位置对应的下方为升降单元2，选用气压缸或液压缸，升降单元2的伸缩端与上方的板体1固定，如图示，l型板6的纵端与板体固定，横端边侧开缺口，升降单元的伸缩端端部固定连接件11，连接件中间轴径小于两端以直接卡入缺口中。
21.板体的背面上，左、右端的底部位置固定导向滑块4，图1中展示了与导向滑块相配合的导轨5，限位板3固定在板体1正面的顶部位置且限位板3端部自板体的顶面凸出,。
22.如图2所示，应用时，还包括支撑架10，板体1安装在板状支撑架10的正面上，定位板7位于板体的正上方且固定在支撑架上，升降单元2固定在板体1中间对应的支撑架10上，支撑架10正面开槽9，槽中固定导轨5，导向滑块4与导轨5滑动配合，沿导轨移动。如图2所示，支撑架10上安装含张紧机构的皮带输送机构，皮带8在支撑架10正面且围绕顶升机构中板体1，使用时，皮带输送半导体基板至板体1正上方，升降单元启动使板体上移皮带、基板，张紧机构使皮带留有活动余量，上移至基板与定位板底面贴平，该过程中，限位板自板体顶面凸出的部分可有效防止皮带或基板自该侧脱落，贴平后外设的相机检测设备可对基板进行检测。
23.以上仅是本实用新型的优选实施方式，本实用新型的保护范围并不仅局限于上述实施例，凡属于本实用新型思路下的技术方案均属于本实用新型的保护范围。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理前提下的若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。


技术特征：
1.半导体轨道顶升机构，其特征在于，所述顶升机构包括板体、升降单元、导向滑块及限位板，其中升降单元的伸缩端与上方的板体固定，板体上设置多个导向滑块，限位板固定在板体上且限位板端部自板体的顶面凸出。2.如权利要求1所述的半导体轨道顶升机构，其特征在于：所述限位板固定在板体正面的顶部位置，板体的底部固定导向滑块。3.如权利要求1所述的半导体轨道顶升机构，其特征在于：两个导向滑块相对固定在板体的左、右两端部。4.如权利要求1所述的半导体轨道顶升机构，其特征在于：还包括支撑架、定位板，支撑架上固定升降机构，定位板固定在支撑架上且位于所述板体顶面的正上方，导向滑块对应的支撑架上设置滑轨，导向滑块沿滑轨移动。5.如权利要求1所述的半导体轨道顶升机构，其特征在于：所述板体为矩形体。6.如权利要求1所述的半导体轨道顶升机构，其特征在于：所述升降单元为气压缸或液压缸。

技术总结
本实用新型公开了半导体轨道顶升机构，所述顶升机构包括板体、升降单元、导向滑块及限位板，其中升降单元的伸缩端与上方的板体固定，板体上设置多个导向滑块，限位板固定在板体上且限位板端部自板体的顶面凸出，本方案中重新设计顶升机构，以升降单元在纵向上调节板体的位置，并以导向滑块导向板体以提高运行的稳定性及精度，两侧面上的限位板、导向滑块自板体顶面凸出且二者之间的槽可对待顶升的单元进行限位以防止脱落，该结构兼容性高，可兼容一定范围尺寸的产品，无需更换工装，使用方便。便。便。


技术研发人员：忻超
受保护的技术使用者：宁波轻蜓视觉科技有限公司
技术研发日：2021.09.07
技术公布日：2022/1/11