曝光设备的制作方法

1.本实用新型涉及显示装置的制备技术领域，尤其涉及一种曝光设备。


背景技术：

2.在基板制作的过程中，需要使用曝光设备对基板进行曝光处理。一般地，曝光设备包括承载板和掩模，承载板用于固定基板，掩模固定在承载板的上方，且掩模与承载板间隔。曝光间距(即基板与掩模之间的间距)对基板的曝光质量有着重要的影响。为了保证基板各处的曝光间距的一致性，通常在曝光设备中设置间距检测部件，如图1和图2所示，间距检测部件3＇设置在掩模2＇的下方，通过间距检测部件3＇测量出不同位置时基板100＇与掩模2＇之间的间距，当所测量到的基板100＇与掩模2＇之间的间距超出了设定范围时，调整承载板1＇的局部位置，以调节基板100＇与掩模2＇之间的间距。然而，现有技术中的间距检测部件3＇通常为光接收型间隙传感器或光发送型间隙传感器，此种类型间隙传感器经过长时间的使用后检测的精度会下降，保持曝光间距所需的再现性低，导致基板100＇的曝光质量差。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的在于：提供一种曝光设备，通过照射灯、照度传感器和光强计算部件的相互配合，有效地提高基板的曝光间距均一性，保证曝光质量。
4.为达上述目的，本实用新型采用以下技术方案：
5.提供一种曝光设备，包括承载板和掩模，所述承载板的上表面承载有基板，所述掩模间隔设置在所述承载板的上方，还包括光强测量组件和光强计算部件，所述光强测量组件具有多组，所述光强测量组件包括正对设置的照射灯和照度传感器，所述照射灯和所述照度传感器两者中的一个设置在所述承载板上，所述照射灯和所述照度传感器两者中的另一个设置在所述掩模的上方，所述照度传感器用于检测当前所述照射灯的光照强度，所有的所述照度传感器与所述光强计算部件通信连接，所述光强计算部件内预先设定有标准光照强度。
6.作为曝光设备的一种优选方案，所述掩模上具有透光区，所述照射灯间隔设置在所述透光区的上方，所述照度传感器设置在所述承载板的上表面。
7.作为曝光设备的一种优选方案，所述掩模贯穿设置有供所述照射灯的光线透过的透光孔，所述透光孔形成所述透光区。
8.作为曝光设备的一种优选方案，所述光强测量组件还包括滤光片，所述滤光片设置在所述透光孔中。
9.作为曝光设备的一种优选方案，所述承载板与所述掩模之间的间距为100～400μm。
10.作为曝光设备的一种优选方案，所述光强测量组件具有四组，分别沿着所述基板的四角位置分布。
11.作为曝光设备的一种优选方案，所述照射灯为led灯。
12.作为曝光设备的一种优选方案，所述承载板可形变，所述承载板上具有至少四个调整区，每个所述调整区的上表面设置有一个所述照度传感器或所述照射灯，所述光强计算部件能够根据当前所述照射灯的光照强度以及所述标准光照强度获取所述调整区的形变量，所述调整区的下方设置有根据所述形变量调整所述承载板的调整机构。
13.作为曝光设备的一种优选方案，所述调整机构包括竖直移动的升降杆，所述升降杆与驱动件连接，所述驱动件通过控制器与所述光强计算部件通信连接，所述升降杆的上端设置有调整吸盘。
14.作为曝光设备的一种优选方案，还包括移动机构，所述移动机构能够带动所述调整机构在所述承载板的下方移动，以将所述调整机构选择性移动至对应所述调整区的正下方。
15.本实用新型的有益效果为：此种结构的曝光设备与现有技术中的曝光设备不同，现有技术中的曝光设备是通过间距检测部件测量基板到掩模之间的间距，本实用新型中的曝光设备是通过测量照射灯的光照强度，通过光强计算部件判断基板的曝光间距是否符合要求，有利于提高检测的准确性，有效地提高基板的曝光间距的均一性，保证基板的曝光质量。
附图说明
16.下面根据附图和实施例对本实用新型作进一步详细说明。
17.图1为现有技术中的曝光设备的结构示意图。
18.图2为图1的剖视图。
19.图3为本实用新型一实施例中的曝光设备的结构示意图。
20.图4为本实用新型另一实施例中的曝光设备的剖视图。
21.图5为本实用新型再一实施例中的曝光设备的剖视图。
22.图6为本实用新型又一实施例中的曝光设备的剖视图。
23.图7为图6中的滑轨的分布图。
24.图8为本实用新型的实施例中照度传感器所检测到当前照射灯的光照强度的高斯分布图。
25.图1和图2中：
26.1＇、承载板；2＇、掩模；3＇、间距检测部件；100＇、基板。
27.图3至图7中：
28.1、承载板；2、掩模；3、照射灯；4、滤光片；5、照度传感器；6、调整机构；601、调整吸盘；602、升降杆；603、驱动件；7、移动机构；701、滑块；702、滑轨；8、透光孔；9、定位板；100、基板。
具体实施方式
29.参考下面结合附图详细描述的实施例，本实用新型的优点和特征以及实现它们的方法将变得显而易见。然而，本实用新型不限于以下公开的实施例，而是可以以各种不同的形式来实现，提供本实施例仅仅是为了完成本实用新型的公开并且使本领域技术人员充分地了解本实用新型的范围，并且本实用新型仅由权利要求的范围限定。相同的附图标记在
整个说明书中表示相同的构成要素。
30.以下，参照附图的图3至图8来详细描述本实用新型。
31.图3为本实用新型一实施例的曝光设备的结构示意图。此曝光设备包括承载板1、掩模2、光强测量组件和光强计算部件(图中未示出)。承载板1的上表面承载有基板100，掩模2间隔设置在承载板1的上方，基板100为玻璃板。光强测量组件具有多组，光强测量组件包括正对设置的照射灯3和照度传感器5，照射灯3和照度传感器5两者中的一个设置在承载板1上，照射灯3和照度传感器5两者中的另一个设置在掩模2的上方。照射灯3用于向照度传感器5照射光线，照度传感器5用于检测当前照射灯3的光照强度，所有的照度传感器5与光强计算部件通信连接，光强计算部件内预先设定有标准光照强度。
32.可以理解的是，由于掩模2间隔设置在承载板1的上方，在自身重量的影响下掩模2的局部区域会发生下垂，或者由于基板100具有一定的面内厚度偏差，且具有一定的柔性，随承载板1表面形貌而发生弯曲，故基板100与掩模2之间的距离不等，影响基板100的曝光质量。本实用新型中的曝光设备，设置多组光强测量组件，照射灯3向照度传感器5照射光线，照度传感器5将检测到的当前照射灯3的光照强度传输给光强计算部件，由于基板100承载在承载板1的上表面，光强计算部件将当前照射灯3的光照强度与预先设定的标准光照强度进行比较，如果当前照射灯3的光照强度与标准光照强度的差值大于设定的误差值，则表示基板100与掩模2之间的间距(即曝光间距)不符合要求，如果当前照射灯3的光照强度与标准光照强度的差值小于或等于设定的误差值，则表示基板100与掩模2之间的间距(即曝光间距)符合要求。此种结构的曝光设备与现有技术中的曝光设备不同，现有技术中的曝光设备是通过间距检测部件测量基板100到掩模2之间的间距，本实用新型中的曝光设备是通过测量照射灯3的光照强度，通过光强计算部件判断基板100的曝光间距是否符合要求，有利于提高检测的准确性，有效地提高基板100的曝光间距的均一性，保证基板100的曝光质量。
33.继续参照图3，一实施例的曝光设备中，掩模2上具有透光区，照射灯3间隔设置在透光区的上方，照度传感器5设置在承载板1的上表面。透光区的设置使照射灯3发出的光线通过透光区照射到位于承载板1上的照度传感器5上。照射灯3间隔设置在掩模2的上方，避免照射灯3占用掩模2上的空间，有利于布置照射灯3。
34.图8为照度传感器5所检测到当前照射灯3的光照强度的高斯分布图，图中纵坐标为照度传感器5检测到当前照射灯3的光照强度，横坐标为照度传感器5所在的垂向位置(即照度传感器5在竖直方向上的位置)。光强计算部件可将每个照度传感器5所检测到的当前照射灯3的光照强度以高斯分布图的方式表示，并以高斯分布图中光照强度的最高点作为照射灯3的最佳垂向位置，在高斯分布图中将设定范围内的光照强度作为标准光照强度，照射灯3在标准光照强度所对应的竖直方向上的位置均视为标准垂向位置。
35.参照图4，透光区贯穿设置有供照射灯3的光线透过的透光孔8，透光孔8形成透光区，通过透光孔8可使照射灯3的光线无障碍地照射到照度传感器5上，避免掩模2削弱光照强度。
36.光强测量组件还包括滤光片4，滤光片4设置在透光孔8中。参照图3，图3中的大箭头为照射灯3照射的光线，图3中的小箭头为经过滤光片4过滤后的光线。滤光片4能够将照射灯3的光线进行过滤，经过滤光片4过滤后特定波长的光线照射到照度传感器5上，提高照
度传感器5对光照强度检测的准确性。
37.一示例中，参照图5，透光孔8的内侧壁环形设置有定位板9，定位板9的自由端朝向透光孔8的中心延伸，滤光片4的下表面抵接在定位板9上。定位板9主要是对滤光片4进行提供定位和支撑的作用，有利于滤光片4的安装。
38.定位板9与透光孔8的下端部连接，使定位板9与透光孔8的内侧壁形成用于容纳滤光片4的凹槽，凹槽的深度等于滤光片4的厚度，安装滤光片4后，滤光片4的上表面与掩模2的上表面平齐，有利于提高掩模2整体的美观性。
39.优选地，承载板1与掩模2之间的间距为100～400μm。将承载板1与掩模2之间的间距设置在此范围内，基本满足大部分基板100的曝光处理。在其他的实施例中，还可以根据实际需要灵活调整承载板1与掩模2之间的间距。
40.在其他的实施例中，还可以在透光区中设置透明板，照射灯3发出的光线透过透明板照射到照度传感器5上。
41.另一实施例的曝光设备中，照射灯3设置在承载板1的上表面，照度传感器5设置在掩模2的上表面，掩模2上具有透光区，照射灯3发出的光线通过透光区照射照度传感器5上，照射灯3和照度传感器5的此种布置方式，也能实现照度传感器5检测当前照射灯3的光照强度。或者，将照射灯3设置在承载板1的下表面，照度传感器5设置掩模2的上表面，承载板1和掩模2均具有透光区，承载板1上的透光区与掩模2上的透光区正对，照射灯3发出的光线依次穿过承载板1和掩模2上的透光区照射到照度传感器5上，照射灯3和照度传感器5的此种方式同样也能实现照度传感器5检测当前照射灯3的光照强度，在实际设计中，可根据需要灵活调整照射灯3和照度传感器5的布置方式。
42.参照图3，光强测量组件具有四组，四组光强测量组件中的照度传感器5分别沿着基板100的四角位置分布。通常情况下，基板100呈矩形结构，设置四组光强测量组件，利用四组光强测量组件对基板100周部区域进行检测，有利于节约设备成本。在其他的示例中，光强测量组件并不限于四组，可以根据需要灵活调整光强测量组件的具体数量。
43.在照度传感器5设置在承载板1的上表面的情况下，照度传感器5与基板100之间具有间隙，使照度传感器5与基板100保持恰当的距离，防止照度传感器5与基板100接触，在放置基板100的过程中避免照度传感器5对基板100形成位置干涉。
44.本实施例中，照射灯3为led灯。led(light emitting diode)，发光二极管，是一种能够将电能转化为可见光的固态的半导体器件，它可以直接把电转化为光。led灯具有节能、长寿和环保的特点，其寿命可达10万小时以上，不含铅、汞等污染元素，对环境没有任何污染，在工业上被广泛使用。当然在其他的示例中，照射灯3还可以为其他类型的灯，在此并不对照射灯3的类型作具体限制。
45.一实施例中，参照图4和图5，承载板1可形变，承载板1上具有至少四个调整区，每个调整区的上表面设置有一个照度传感器5，光强计算部件能够根据当前照射灯3的光照强度以及标准光照强度获取调整区的形变量，调整区的下方设置有根据形变量调整承载板1的调整机构6。其中，承载板1采用柔性材料制成，利用调整机构6推、拉承载板1的调整区，改变调整区的垂向位置，从而调整承载板1上的基板100的局部位置。在一些实施例中，也可以在调整区的上表面设置有一个照射灯3。
46.具体地，调整机构6包括竖直移动的升降杆602，升降杆602与驱动件603连接，驱动
件603通过控制器(图中未示出)与光强计算部件通信连接，升降杆602的上端设置有调整吸盘601。调整吸盘601可选择性吸附在调整区的上表面，驱动件603为升降杆602提供驱动力，具体使用时，驱动件603先驱动调整吸盘601上升第一高度，使调整吸盘601吸附在承载板1的调整区上，然后根据形变量控制器自动地控制驱动件603驱动升降杆602上升或下降第二高度。
47.一实施例中，参照图4和图5，调整机构6具有四个，调整区也具有四个，每个调整区均对应有一个调整机构6。由于每个调整区均对应有一个调整机构6，各个调整机构6可独立动作，同时控制各个调整区对应的调整机构6，使承载板1上各个调整区的垂向位置一次调整到位，调整速度快。
48.另一实施例中，参照图6，曝光设备还包括移动机构7，移动机构7能够带动调整机构6在承载板1的下方移动，以将调整机构6选择性移动至对应的调整区的正下方。由于通过移动机构7可移动调整机构6的水平位置，至少两个调整区共用一个调整机构6，减少调整机构6的设置数量，有利于节约设备成本。
49.移动机构7包括水平设置的滑轨702以及与滑轨702配合滑动的滑块701，滑轨702位于调整区的下方，滑块701与驱动件603固定连接。滑块701与驱动件603连接为一整体，通过滑块701在滑轨702上滑动，以带动升降杆602水平移动。
50.参照图6和图7，承载板1上具有四个调整区，四组光强测量组件中的照度传感器5分别沿着基板100的四角位置分布的情况下，四个调整区也沿着基板100的四角位置分布，两个调整区共用一个调整机构6，此时承载板1上其中两个调整区之间的连线与另外两个调整区之间的连线相互平行，移动机构7包括两个滑轨702，两个滑轨702间隔且平行分布，共用同一个调整机构6的两个调整区之间的连线的正下方具有一个滑轨702。具体使用时，先将调整机构6沿着滑轨702的延伸方向滑动至其中的一个调整区的正下方，待调整机构6调整好该调整区的垂向位置后，再将调整机构6沿着滑轨702的延伸方向滑动至共用同一个调整机构6的另一个调整区的正下方，以对另一个调整区的垂向位置调整。在其他的实施例中，也可以将四个调整区共用一个调整机构6，此种情况下，将滑轨702设置为环形结构，使滑轨702依次绕设在各个调整区的正下方；或者，调整区为多个，且各个调整区呈不规则排布时，可将滑轨702设置为弯曲结构，使滑轨702依次饶设在各个调整区的正下方，此种结构的滑轨702也能实现至少两个调整区共用一个调整机构6。
51.尽管上面已经参考附图描述了本实用新型的实施例，但是本实用新型不限于以上实施例，而是可以以各种形式制造，并且本领域技术人员将理解，在不改变本实用新型的技术精神或基本特征的情况下，可以以其他特定形式来实施本实用新型。因此，应该理解，上述实施例在所有方面都是示例性的而不是限制性的。