一种基片载板网格丝线张紧机构的制作方法

1.本实用新型涉及张紧机构，尤其涉及一种基片载板网格丝线张紧机构。


背景技术：

2.基片载板通常用于pecvd工序装载基片(如硅片)，以便于传送、加热、镀膜。现有一种基片载板，通过网格丝线在载板框中分割成若干网格状支撑结构以用来架设子载板，网格丝线至少有一端设有网格丝线张紧机构，使网格状支撑结构保持紧绷，避免防止在子载板上的基片因载板形变或网格丝线松弛而受到影响。
3.目前，有一种网格丝线张紧机构为网格丝线的一端穿过载板框并直接固定到滑块上，两根导杆通过螺纹连接与载板框固定，滑块套于导杆上，通过弹簧对滑块提供与钨丝拉力反向的弹力，实现对钨丝的张紧。但现有网格丝线张紧机构，滑块经常出现受力不均并发生倾斜，导致导杆间的摩擦力增大，容易发生滑块卡滞，严重时滑块卡死，从而造成网格丝线断裂，导致基片脱离载板而出现破碎。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供一种基片载板网格丝线张紧机构，通过优化滑块受力分布，避免滑块的卡滞现象，提高网格丝线使用寿命，减少基片损坏。
5.本实用新型的目的通过如下技术方案实现：
6.一种基片载板网格丝线张紧机构，它包括固定于载板框侧边的固定座、固设于载板框侧边或固定座上的弹性滑动张紧单元、设于固定座和/或载板框上通过改变网格丝线端头的延伸方向使网格丝线拉力方向与弹性滑动张紧单元滑动张紧方向保持平行的导向单元。
7.较之现有技术而言，本实用新型的优点在于：
8.通过导向单元调整网格丝线作用在滑块的拉力方向，使网格丝线拉力方向与弹性滑动张紧单元滑动张紧方向保持平行，从而优化滑块受力分布，避免滑块的卡滞现象，提高网格丝线使用寿命，减少基片破片，且结构较为紧凑，方便装配及维修更换，提高生产效率，降低生产成本。
附图说明
9.图1为一种基片载板网格丝线张紧机构的实施例结构示意图；
10.图2为图1的侧视图；
11.图3为图1的俯视图；
12.图4为图3的g-g剖切示意图；
13.图5为图3的j-j剖切示意图。
14.标号说明：
15.载板框1、避让槽11、固定座2、连接件21、支撑件22、导向单元安装槽 23、网格丝线
3、导杆4、滑块限位凸肩41、滑块5、压簧6、转向定滑轮8、支撑定滑轮9。
具体实施方式
16.一种基片载板网格丝线张紧机构，它包括固定于载板框侧边的固定座、固设于载板框侧边或固定座上的弹性滑动张紧单元、设于固定座和/或载板框上通过改变网格丝线端头的延伸方向使网格丝线拉力方向与弹性滑动张紧单元滑动张紧方向保持平行的导向单元。
17.所述弹性滑动张紧单元包括固设于载板框侧边或固定座上的一对导杆、穿设于两导杆上的滑块以及保持滑块滑动趋势使网格丝线张紧的弹性件。
18.所述弹性件为分别套设于对应导杆内共同顶推滑块的一对压簧。
19.所述载板框上表面设有容网格丝线通过的避让槽。
20.所述固定座包括内端与载板框侧边固定的连接件以及下端与连接件外端固定连接的支撑件；所述导向单元设于支撑件的上端，所述支撑件开有导向单元安装槽。
21.所述导向单元包括容网格丝线围绕转向且设于导向单元安装槽内的转向定滑轮或转向滚轴。
22.所述导向单元还包括设于载板框上表面的支撑定滑轮或支撑滚轴。
23.所述导杆外端固定于支撑件的侧面上；所述导杆内端设有滑块限位凸肩。
24.下面结合说明书附图和实施例对本

技术实现要素：
进行详细说明：
25.如图1至图5所示为本实用新型提供的一种基片载板网格丝线张紧机构的实施例示意图。
26.一种基片载板网格丝线张紧机构，它包括固定于载板框1侧边的固定座2、固设于载板框1侧边或固定座2上的弹性滑动张紧单元、设于固定座2和载板框1上通过改变网格丝线3端头的延伸方向使网格丝线3拉力方向与弹性滑动张紧单元滑动张紧方向保持平行的导向单元。
27.所述弹性滑动张紧单元包括固设于固定座2上的一对导杆4、穿设于两导杆 4上的滑块5以及保持滑块5滑动趋势使网格丝线张紧的弹性件。
28.所述弹性件为分别套设于对应导杆4内共同顶推滑块5的一对压簧6。
29.所述载板框1上表面设有容网格丝线3通过的避让槽11。
30.所述固定座包括内端与载板框1侧边固定的连接件21以及下端与连接件21 外端固定连接的支撑件22；所述导向单元设于支撑件22的上端，所述支撑件 22开有导向单元安装槽23。
31.所述导向单元包括容网格丝线3围绕转向且设于导向单元安装槽23内的转向定滑轮8。在一优选方案中，在转向定滑轮8与滑块5的配合下，网格丝线3 对滑块5的拉力与两导杆4的轴线位于同一平面并相互平行。
32.所述导向单元还包括设于载板框1上表面的支撑定滑轮9。
33.所述导杆4外端固定于支撑件22的侧面上；所述导杆4内端设有滑块限位凸肩41，将基片载板网格丝线张紧机构设计为可相对载板框1独立整体拆装的结构，方便整体拆装、替换。


技术特征：
1.一种基片载板网格丝线张紧机构，其特征在于：它包括固定于载板框侧边的固定座、固设于载板框侧边或固定座上的弹性滑动张紧单元、设于固定座和/或载板框上通过改变网格丝线端头的延伸方向使网格丝线拉力方向与弹性滑动张紧单元滑动张紧方向保持平行的导向单元。2.根据权利要求1所述的基片载板网格丝线张紧机构，其特征在于：所述弹性滑动张紧单元包括固设于载板框侧边或固定座上的一对导杆、穿设于两导杆上的滑块以及保持滑块滑动趋势使网格丝线张紧的弹性件。3.根据权利要求2所述的基片载板网格丝线张紧机构，其特征在于：所述弹性件为分别套设于对应导杆内共同顶推滑块的一对压簧。4.根据权利要求1所述的基片载板网格丝线张紧机构，其特征在于：所述载板框上表面设有容网格丝线通过的避让槽。5.根据权利要求1、3或4所述的基片载板网格丝线张紧机构，其特征在于：所述固定座包括内端与载板框侧边固定的连接件以及下端与连接件外端固定连接的支撑件；所述导向单元设于支撑件的上端，所述支撑件开有导向单元安装槽。6.根据权利要求5所述的基片载板网格丝线张紧机构，其特征在于：所述导向单元包括容网格丝线围绕转向且设于导向单元安装槽内的转向定滑轮或转向滚轴。7.根据权利要求6所述的基片载板网格丝线张紧机构，其特征在于：所述导向单元还包括设于载板框上表面的支撑定滑轮或支撑滚轴。8.根据权利要求2所述的基片载板网格丝线张紧机构，其特征在于：所述固定座包括内端与载板框侧边固定的连接件以及下端与连接件外端固定连接的支撑件；所述导向单元设于支撑件的上端，所述支撑件开有导向单元安装槽。9.根据权利要求8所述的基片载板网格丝线张紧机构，其特征在于：所述导杆外端固定于支撑件的侧面上；所述导杆内端设有滑块限位凸肩。

技术总结
本实用新型涉及一种基片载板网格丝线张紧机构，它包括固定于载板框侧边的固定座、固设于载板框侧边或固定座上的弹性滑动张紧单元、设于固定座和/或载板框上通过改变网格丝线端头的延伸方向使网格丝线拉力方向与弹性滑动张紧单元滑动张紧方向保持平行的导向单元。本实用新型的目的在于提供一种基片载板网格丝线张紧机构，通过优化滑块受力分布，避免滑块的卡滞现象，提高网格丝线使用寿命，减少基片损坏。基片损坏。基片损坏。


技术研发人员：倪鹏玉 郭礼贤 赖礼铭
受保护的技术使用者：福建金石能源有限公司
技术研发日：2021.04.08
技术公布日：2022/1/11