光扫描装置的制作方法

技术特征：
1.一种光扫描装置，具有：反射镜，具有光反射面；一对驱动梁，配置于上述反射镜的两侧；以及驱动源，设置于上述驱动梁，且使上述反射镜绕通过上述光反射面的中心的规定轴摆动，上述驱动梁具备向与上述规定轴垂直的方向延伸的多个梁、以及连结相邻的上述梁的端部彼此的折回部，整体是z字形状，多个上述梁包括配置于上述反射镜的两侧的相邻的第一梁、第二梁以及第三梁，上述折回部包括连结上述第一梁和上述第二梁的第一折回部、以及连结上述第二梁和上述第三梁的第二折回部，上述第一折回部和上述第二折回部的重量不同，在上述折回部分别设置有肋，通过改变上述肋的重量来改变上述折回部的重量，上述肋中的至少一个与其他肋形状不同。2.根据权利要求1所述的光扫描装置，其特征在于，上述反射镜支撑于可动框，多个上述梁包括从两侧支撑上述可动框且配置于上述可动框的两侧的与上述第三梁相邻的第四梁，上述折回部包括连结上述第三梁和上述第四梁的第三折回部，上述第三折回部和上述第二折回部的重量不同。3.根据权利要求2所述的光扫描装置，其特征在于，上述第三折回部和上述第一折回部的重量不同。4.根据权利要求2或3所述的光扫描装置，其特征在于，多个上述梁包括配置于上述可动框的两侧的与上述第四梁相邻的第五梁，上述折回部包括连结上述第四梁和上述第五梁的第四折回部，上述第四折回部和上述第三折回部的重量不同。5.根据权利要求4所述的光扫描装置，其特征在于，多个上述梁包括配置于上述可动框的两侧的与上述第五梁相邻的第六梁，上述折回部包括连结上述第五梁和上述第六梁的第五折回部，上述第五折回部和上述第四折回部的重量不同。6.根据权利要求5所述的光扫描装置，其特征在于，上述第五折回部和上述第三折回部的重量不同。7.根据权利要求5或6所述的光扫描装置，其特征在于，上述第一折回部比上述第二折回部重，上述第五折回部比上述第四折回部重，上述第五折回部比上述第一折回部重，或者是与上述第一折回部相同的重量。8.根据权利要求7所述的光扫描装置，其特征在于，上述第一折回部比上述第三折回部重。9.根据权利要求7或8所述的光扫描装置，其特征在于，上述第四折回部比上述第二折回部重，或者是与上述第二折回部相同的重量。
10.根据权利要求1～9的任一项所述的光扫描装置，其特征在于，通过改变上述折回部的高度来改变上述折回部的重量。11.根据权利要求1～10的任一项所述的光扫描装置，其特征在于，构成上述一对驱动梁的各驱动梁处于以通过上述光反射面的中心且与上述规定轴垂直的直线为对称轴的线对称的配置关系。12.根据权利要求1～10的任一项所述的光扫描装置，其特征在于，构成上述一对驱动梁的各驱动梁处于以上述光反射面的中心为对称点的点对称的配置关系。13.根据权利要求1～12的任一项所述的光扫描装置，其特征在于，上述肋具有沿上述规定轴的方向延伸的第一部分和沿与上述规定轴正交的方向延伸的第二部分，通过改变上述第二部分的形状来改变重量。

技术总结
本发明提供光扫描装置，其中用与以往不同的方法抑制振铃的产生。本光扫描装置具有：反射镜，具有光反射面；一对驱动梁，配置于上述反射镜的两侧；以及驱动源，设置于上述驱动梁且使上述反射镜绕通过上述光反射面的中心的规定轴摆动，上述驱动梁具备向与上述规定轴垂直的方向延伸的多个梁、以及连结相邻的上述梁的端部彼此的折回部，整体是Z字形状，多个上述梁包括配置于上述反射镜的两侧的相邻的第一梁、第二梁、以及第三梁，上述折回部包括连结上述第一梁和上述第二梁的第一折回部、以及连结上述第二梁和上述第三梁的第二折回部，上述第一折回部和上述第二折回部的重量不同。折回部和上述第二折回部的重量不同。折回部和上述第二折回部的重量不同。


技术研发人员：山田司
受保护的技术使用者：三美电机株式会社
技术研发日：2018.04.03
技术公布日：2022/1/11