一种用于石英坩埚的喷涂设备的制作方法

1.本实用新型属于石英坩埚设备技术领域，涉及一种用于石英坩埚的喷涂设备。


背景技术：

2.石英坩埚是用高纯石英砂经过高温熔化形成的一种玻璃态器皿，在生产单晶硅的过程中是不可替代的容器。随着太阳能行业的快速发展，对坩埚质量要求也越来越高，尤其是对坩埚质量的稳定性要求。
3.通常采用在石英坩埚内表面进行涂层处理的方式，提高坩埚质量和成品率，同时也提高拉晶合格率，但在现有工序中一般都是人工涂钡，但是人工涂钡的缺点在于在涂钡的同时引进多余的杂质且人工喷涂不均匀,使得在开始拉晶的时候由于杂质过多或者单晶生长过程中内壁脱落，造成放肩时断线，需提杂后才能进行继续拉晶。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的是针对现有的技术存在上述问题，提出了一种用于石英坩埚的喷涂设备。
5.本实用新型的目的可通过下列技术方案来实现：一种用于石英坩埚的喷涂设备，包括喷涂架，所述喷涂架上设置有对石英坩埚内表面进行涂钡的喷涂组件，所述的喷涂组件包括设置在喷涂架上的高压喷枪、对高压喷枪提供氢氧化钡溶液的供料组件以及控制高压喷枪位移的夹爪组件，本装置还包括控制单元，所述的控制单元可根据工作人员操作反馈信号给夹爪组件控制高压喷枪对石英坩埚的内表面进行涂钡。
6.通过设置控制单元、夹爪组件以及喷涂组件，喷涂组件的高压喷枪设置在夹爪组件上可由夹爪组件控制移动，当操作人员根据所需涂钡层的厚度在控制单元上进行按键操作，控制单元能够反馈信号给夹爪组件控制高压喷枪对石英坩埚的内表面进行涂钡，本装置通过采用机械化的操作代替人工喷涂，能够提高涂钡的均匀度，同时能够控制在喷涂过程中石英坩埚的底面涂钡层要略薄于直壁涂钡层，避免石英坩埚在拉晶过程中，避免底部的形成的保护层过后造成其脱落。
7.在上述的一种用于石英坩埚的喷涂设备中，所述的夹爪组件为机械夹爪。
8.在上述的一种用于石英坩埚的喷涂设备中，所述的供料组件包括设置在喷涂架一侧的储料桶以及用于连接高压喷枪与储料桶的输液管，所述的输液管与储料桶之间设置有高压泵。
9.在上述的一种用于石英坩埚的喷涂设备中，所述的喷涂架的顶面设置有用于卡接石英坩埚锅边的卡接槽。卡接槽的设置能够使喷涂组件在对石英坩埚的内表面进行喷涂时，石英坩埚的锅边能够卡在卡接槽内，从而对石英坩埚起到固定的作用，防止喷涂组件在对喷涂过程中，由于石英坩埚内壁产生压力造成石英坩埚的偏移，从而导致喷涂不均匀。
10.在上述的一种用于石英坩埚的喷涂设备中，所述的卡接槽设置有若干个，且呈同轴设置。通过设置多个卡接槽，卡接槽呈同轴设置且半径逐渐增加，能够使该装置适用于不
同直径的石英坩埚，从而提高该装置的实用性。
11.在上述的一种用于石英坩埚的喷涂设备中，所述的喷涂架上开设有可供机械夹爪穿过的通孔。通孔的设置能够使机械夹爪在抓取高压喷枪时，与高压喷枪相连接的输液管能够从通孔中穿过，从而使出储料桶能够放置在喷涂架的底部，节约空间。
12.与现有技术相比，本实用新型通过设置控制单元、夹爪组件以及喷涂组件，喷涂组件的高压喷枪设置在夹爪组件上可由夹爪组件控制移动，当操作人员根据所需涂钡层的厚度在控制单元上进行按键操作，控制单元能够反馈信号给夹爪组件控制高压喷枪对石英坩埚的内表面进行涂钡，本装置通过采用机械化的操作代替人工喷涂，能够提高涂钡的均匀度，同时能够控制在喷涂过程中石英坩埚的底面涂钡层要略薄于直壁涂钡层，避免石英坩埚在拉晶过程中，避免底部的形成的保护层过后造成其脱落。
附图说明
13.图1是本实用新型的结构示意图；
14.图2是本实用新型的侧视图。
15.图中，1、喷涂架；2、喷涂组件；21、高压喷枪；22、供料组件；221、储料桶；222、输液管；223、高压泵；23、夹爪组件；3、控制单元；4、卡接槽；5、通孔。
具体实施方式
16.以下是本实用新型的具体实施例并结合附图，对本实用新型的技术方案作进一步的描述，但本实用新型并不限于这些实施例。
17.实施例
18.如图1和图2所示，一种用于石英坩埚的喷涂设备，包括喷涂架1，所述喷涂架1上设置有对石英坩埚内表面进行涂钡的喷涂组件2，所述的喷涂组件2包括设置在喷涂架1上的高压喷枪21、对高压喷枪21提供氢氧化钡溶液的供料组件22以及控制高压喷枪21位移的夹爪组件23，所述的夹爪组件23为机械夹爪，喷涂组件2的高压喷枪21设置在夹爪组件23上可由夹爪组件23控制移动，从而能够控制高压喷枪21与石英坩埚内表面之间的间距。
19.所述的喷涂架1上开设有可供机械夹爪穿过的通孔5。通孔5的设置能够使机械夹爪在抓取高压喷枪21时，与高压喷枪21相连接的输液管222能够从通孔5中穿过，从而使出储料桶221能够放置在喷涂架1的底部，节约空间。
20.所述的供料组件22包括设置在喷涂架1一侧的储料桶221以及用于连接高压喷枪21与储料桶221的输液管222，所述的输液管222与储料桶221之间设置有高压泵223。
21.本装置还包括控制单元3，所述的控制单元3可根据工作人员操作反馈信号给夹爪组件23控制高压喷枪21对石英坩埚的内表面进行涂钡。
22.当操作人员根据所需涂钡层的厚度在控制单元3上进行按键操作，控制单元3能够反馈信号给夹爪组件23控制高压喷枪21对石英坩埚的内表面进行涂钡，本装置通过采用机械化的操作代替人工喷涂，能够提高涂钡的均匀度，同时能够控制在喷涂过程中石英坩埚的底面涂钡层要略薄于直壁涂钡层，避免石英坩埚在拉晶过程中，避免底部的形成的保护层过后造成其脱落。
23.所述的喷涂架1的顶面设置有用于卡接石英坩埚锅边的卡接槽4。卡接槽4的设置
能够使喷涂组件2在对石英坩埚的内表面进行喷涂时，石英坩埚的锅边能够卡在卡接槽4内，从而对石英坩埚起到固定的作用，防止喷涂组件2在对喷涂过程中，由于石英坩埚内壁产生压力造成石英坩埚的偏移，从而导致喷涂不均匀。
24.所述的卡接槽4设置有若干个，且呈同轴设置。通过设置多个卡接槽4，卡接槽4呈同轴设置且半径逐渐增加，能够使该装置适用于不同直径的石英坩埚，从而提高该装置的实用性。
25.在本实施例中，卡接槽4的数量为3个。
26.本实用新型通过设置控制单元3、夹爪组件23以及喷涂组件2，喷涂组件2的高压喷枪21设置在夹爪组件23上可由夹爪组件23控制移动，当操作人员根据所需涂钡层的厚度在控制单元3上进行按键操作，控制单元3能够反馈信号给夹爪组件23控制高压喷枪21对石英坩埚的内表面进行涂钡，本装置通过采用机械化的操作代替人工喷涂，能够提高涂钡的均匀度，同时能够控制在喷涂过程中石英坩埚的底面涂钡层要略薄于直壁涂钡层，避免石英坩埚在拉晶过程中，避免底部的形成的保护层过后造成其脱落。
27.本文中所描述的具体实施例仅仅是对本实用新型精神作举例说明。本实用新型所属技术领域的技术人员可以对所描述的具体实施例做各种各样的修改或补充或采用类似的方式替代，但并不会偏离本实用新型的精神或者超越所附权利要求书所定义的范围。


技术特征：
1.一种用于石英坩埚的喷涂设备，包括喷涂架(1)，其特征在于，所述喷涂架(1)上设置有对石英坩埚内表面进行涂钡的喷涂组件(2)，所述的喷涂组件(2)包括设置在喷涂架(1)上的高压喷枪(21)、对高压喷枪(21)提供氢氧化钡溶液的供料组件(22)以及控制高压喷枪(21)位移的夹爪组件(23)，本装置还包括控制单元(3)，所述的控制单元(3)可根据工作人员操作反馈信号给夹爪组件(23)控制高压喷枪(21)对石英坩埚的内表面进行涂钡。2.根据权利要求1所述的一种用于石英坩埚的喷涂设备，其特征在于：所述的夹爪组件(23)为机械夹爪。3.根据权利要求2所述的一种用于石英坩埚的喷涂设备，其特征在于：所述的供料组件(22)包括设置在喷涂架(1)一侧的储料桶(221)以及用于连接高压喷枪(21)与储料桶(221)的输液管(222)，所述的输液管(222)与储料桶(221)之间设置有高压泵(223)。4.根据权利要求3所述的一种用于石英坩埚的喷涂设备，其特征在于：所述的喷涂架(1)的顶面设置有用于卡接石英坩埚锅边的卡接槽(4)。5.根据权利要求4所述的一种用于石英坩埚的喷涂设备，其特征在于：所述的卡接槽(4)设置有若干个，且呈同轴设置。6.根据权利要求5所述的一种用于石英坩埚的喷涂设备，其特征在于：所述的喷涂架(1)上开设有可供机械夹爪穿过的通孔(5)。

技术总结
本实用新型涉及一种用于石英坩埚的喷涂设备，包括喷涂架，所述喷涂架上设置有对石英坩埚内表面进行涂钡的喷涂组件，所述的喷涂组件包括设置在喷涂架上的高压喷枪、对高压喷枪提供氢氧化钡溶液的供料组件以及控制高压喷枪位移的夹爪组件，本装置还包括控制单元，所述的控制单元可根据工作人员操作反馈信号给夹爪组件控制高压喷枪对石英坩埚的内表面进行涂钡，本装置通过采用机械化的操作代替人工喷涂，能够提高涂钡的均匀度，同时能够控制在喷涂过程中石英坩埚的底面涂钡层要略薄于直壁涂钡层，避免石英坩埚在拉晶过程中，避免底部的形成的保护层过后造成其脱落。部的形成的保护层过后造成其脱落。部的形成的保护层过后造成其脱落。


技术研发人员：陶飞 王洋洋 毛炳全 方志远
受保护的技术使用者：浙江美晶新材料有限公司
技术研发日：2021.07.29
技术公布日：2022/1/7