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压电元件的制作方法

2022-02-20 01:31:45 来源:中国专利 TAG:

技术特征:
1.一种压电元件,其中,具备:由压电材料构成的压电体、和设置于所述压电体上的第一电极以及第二电极,所述压电体具有:基部,其具有相互相对的第一主面以及第二主面;和多个驱动部,其在所述第一主面上相互分离地排列,并且分别具有与所述第一主面相接的第三主面、和与所述第三主面相对的第四主面,所述基部具有:配置有所述多个驱动部的多个第一区域、和配置于相互相邻的所述第一区域间的第二区域,所述基部弯曲。2.根据权利要求1所述的压电元件,其中,所述第二区域的所述第一主面侧的端部的极化程度与所述第二区域的所述第二主面侧的端部的极化程度不同。3.根据权利要求1或2所述的压电元件,其中,相互相邻的所述驱动部的所述第三主面侧的端部彼此的间隔与相互相邻的所述驱动部的所述第四主面侧的端部彼此的间隔不同。4.根据权利要求1~3中任一项所述的压电元件,其中,所述基部以所述第一主面成为凸状的方式弯曲。5.根据权利要求4所述的压电元件,其中,所述第二区域的所述第一主面侧的端部的极化程度小于所述第二区域的所述第二主面侧的端部的极化程度。6.根据权利要求4或5所述的压电元件,其中,相互相邻的所述驱动部的所述第三主面侧的端部彼此的间隔小于相互相邻的所述驱动部的所述第四主面侧的端部彼此的间隔。7.根据权利要求1~6中任一项所述的压电元件,其中,所述第一电极设置在所述第二主面上,所述第二电极具有设置于所述多个驱动部的所述第四主面上的多个电极部分。

技术总结
压电元件具备由压电材料构成的压电体和设置在压电体上的第一电极以及第二电极。压电体具有基部和多个驱动部。基部具有相互相对的第一主面以及第二主面。多个驱动部在第一主面上相互分离地排列。多个驱动部分别具有与第一主面相接的第三主面和与第三主面相对的第四主面。基部具有配置有多个驱动部的多个第一区域和配置于相互相邻的第一区域间的第二区域。基部弯曲。基部弯曲。基部弯曲。


技术研发人员:太田佳生 菅原润 安藤兼一郎 佐藤菜菜 武田明丈
受保护的技术使用者:TDK株式会社
技术研发日:2020.05.25
技术公布日:2022/1/6
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