一种晶圆low-k膜激光开槽设备的制作方法

1.本发明涉及开槽设备技术领域，具体为一种晶圆low-k膜激光开槽设备。


背景技术：

2.晶圆mems芯片中高速逻辑元器件晶圆表层镀有一层低介质膜的low-k膜，常规刀片切割过程中，刀片对low-k膜有较大的应力，因为low-k镀膜在晶圆附着强度较低，容易产生脱落，减少成品率。
3.目前，现有技术中的激光开槽设备在切割过程中low-k镀膜在晶圆附着强度较低，容易产生脱落，减少成品率，而且不方便调节激光切割器的切割位置，现发明一种晶圆low-k膜激光开槽设备解决了上述问题。


技术实现要素：

4.(一)解决的技术问题
5.针对现有技术的不足，本发明提供了一种晶圆low-k膜激光开槽设备，解决了背景技术中提出的问题。
6.(二)技术方案
7.为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种晶圆low-k膜激光开槽设备，包括底板，所述底板的顶部分别固定连接有方框块、支撑板、支撑台和喷胶机，所述方框块的顶部分别固定连接有第一固定板、连接板、切割箱和放置台，所述切割箱的顶部固定连接有第一驱动电机，所述第一驱动电机的输出端固定连接有调节块，所述调节块的内部开设有通孔，所述通孔的内部设置有第一连杆，所述第一连杆的端部固定连接有配合块，所述配合块的一侧面固定连接有支撑弹簧，所述配合块通过轴杆转动连接有辅助块，所述辅助块的内部开设有圆孔，所述圆孔的内部设置有第二连杆，所述第二连杆的端部固定连接有圆环块，所述圆环块的内部设置有支杆，所述支杆的两端均固定连接有固定块，所述喷胶机的顶部分别设置有喷胶管和支撑杆，所述支撑杆的顶部固定连接有环形放置板，所述第一固定板的一侧面固定连接有第二驱动电机，所述第二驱动电机的输出端固定连接有第一缠绕杆，所述连接板的一侧面通过轴承转动连接有第一滚筒，所述连接板的内部开设有十字槽，所述十字槽的内部固定连接有限位弹簧，所述限位弹簧的一端固定连接有十字块，所述十字块通过轴承转动连接有第二滚筒。
8.优选的，所述支撑弹簧远离配合块的一端与调节块固定连接，所述支撑弹簧套接在第一连杆的外部。
9.优选的，所述固定块与切割箱的内侧壁固定连接，所述配合块的底部固定连接有第一电动液压推杆，所述第一电动液压推杆的活动端固定连接有激光切割器。
10.优选的，所述方框块的后面固定连接有第二固定板，所述第二固定板通过轴承转动连接有第二缠绕杆，所述第一缠绕杆和第二缠绕杆的外表面均设置有low-k膜。
11.优选的，所述方框块的后面固定连接第一伺服电机，所述第一伺服电机的输出端
固定连接有第一螺杆，所述第一螺杆的外表面螺纹连接有第一移动块，所述第一移动块的两侧面固定连接有滑块，所述方框块的内侧壁开设有滑槽，所述滑块滑动连接在滑槽的内部，所述第一移动块的顶部开设有切割槽，所述切割槽的位置与激光切割器的位置相对应，所述第一移动块和放置台均与low-k膜抵接。
12.优选的，所述支撑板的一侧面固定连接有第二伺服电机，所述第二伺服电机的输出端固定连接有第二螺杆，所述第二螺杆的外表面螺纹连接有第二移动块，所述第二移动块的内部开设有定位孔，所述定位孔的内部设置有定位杆，所述定位杆的两端均与支撑板固定连接。
13.优选的，所述第二移动块的顶部固定连接有真空泵，所述真空泵的输出端设置有软管，所述软管的端部设置有吸盘，所述第二移动块的底部固定连接有第二电动液压推杆，所述第二电动液压推杆的活动端与吸盘固定连接。
14.优选的，所述第一驱动电机、第二驱动电机、第一伺服电机、第二伺服电机、第一电动液压推杆、激光切割器、真空泵和第二电动液压推杆均通过导线与外部电源电性连接，所述支撑台的顶部开设有放置槽。
15.优选的，所述十字块滑动连接在十字槽的内部，所述low-k膜分别与第一滚筒和第二滚筒抵接。
16.(三)有益效果
17.与现有技术相比，本发明提供了一种晶圆low-k膜激光开槽设备，具备以下有益效果：
18.1、该晶圆low-k膜激光开槽设备，通过第一驱动电机、调节块、第一连杆、配合块、支撑弹簧、辅助块、第二连杆、圆环块、支杆和固定块的设置，使该晶圆low-k膜激光开槽设备具备了方便调节切割位置的效果，在使用的过程中方便调节激光切割器的切割位置，使激光切割器按照一定的轨迹运动，方便完成切割，从而起到了方便调节切割位置的作用，达到了方便调节切割位置的目的。
19.2、该晶圆low-k膜激光开槽设备，通过支撑台、第一缠绕杆、第一滚筒、限位弹簧、十字块和第二滚筒的设置，使该晶圆low-k膜激光开槽设备具备了提高low-k膜与晶圆的之间的附着强度的效果，在使用的过程中在晶圆上喷涂胶水，使晶圆与low-k膜粘合在一起，方便后续切割，从而起到了提高low-k膜与晶圆的之间的附着强度的作用，达到了避免晶圆脱落的目的。
附图说明
20.图1为本发明立体结构示意图；
21.图2为本发明立体剖面结构示意图；
22.图3为本发明图2中a处放大结构示意图；
23.图4为本发明图2中b处放大结构示意图；
24.图5为本发明立体后视结构示意图；
25.图6为本发明侧视剖面结构示意图。
26.图中：1、底板；2、方框块；3、支撑板；4、支撑台；5、喷胶机；6、第一固定板；7、连接板；8、切割箱；9、第一驱动电机；10、调节块；11、第一连杆；12、配合块；13、支撑弹簧；14、辅
助块；15、第二连杆；16、圆环块；17、支杆；18、固定块；19、喷胶管；20、支撑杆；21、环形放置板；22、第二驱动电机；23、第一缠绕杆；24、第一滚筒；25、限位弹簧；26、十字块；27、第二滚筒；28、第一电动液压推杆；29、激光切割器；30、第二固定板；31、第二缠绕杆；32、low-k膜；33、第一伺服电机；34、第一螺杆；35、第一移动块；36、滑块；37、第二伺服电机；38、第二螺杆；39、第二移动块；40、定位杆；41、真空泵；42、软管；43、吸盘；44、第二电动液压推杆；45、放置台。
具体实施方式
27.下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
28.请参阅图1-6，一种晶圆low-k膜激光开槽设备，包括底板1，底板1的顶部分别固定连接有方框块2、支撑板3、支撑台4和喷胶机5，通过支撑台4、第一缠绕杆23、第一滚筒24、限位弹簧25、十字块26和第二滚筒27的设置，使该晶圆low-k膜激光开槽设备具备了提高low-k膜32与晶圆的之间的附着强度的效果，在使用的过程中在晶圆上喷涂胶水，使晶圆与low-k膜32粘合在一起，方便后续切割，从而起到了提高low-k膜32与晶圆的之间的附着强度的作用，达到了避免晶圆脱落的目的，方框块2的后面固定连接有第二固定板30，第二固定板30通过轴承转动连接有第二缠绕杆31，第一缠绕杆23和第二缠绕杆31的外表面均设置有low-k膜32，方框块2的后面固定连接第一伺服电机33，第一伺服电机33的输出端固定连接有第一螺杆34，第一螺杆34的外表面螺纹连接有第一移动块35，第一移动块35的两侧面固定连接有滑块36，方框块2的内侧壁开设有滑槽，滑块36滑动连接在滑槽的内部，第一移动块35的顶部开设有切割槽，切割槽的位置与激光切割器29的位置相对应，第一移动块35和放置台45均与low-k膜32抵接，支撑板3的一侧面固定连接有第二伺服电机37，第二伺服电机37的输出端固定连接有第二螺杆38，第二螺杆38的外表面螺纹连接有第二移动块39，第二移动块39的内部开设有定位孔，定位孔的内部设置有定位杆40，定位杆40的两端均与支撑板3固定连接，第二移动块39的顶部固定连接有真空泵41，真空泵41的输出端设置有软管42，软管42的端部设置有吸盘43，第二移动块39的底部固定连接有第二电动液压推杆44，第二电动液压推杆44的活动端与吸盘43固定连接，方框块2的顶部分别固定连接有第一固定板6、连接板7、切割箱8和放置台45，切割箱8的顶部固定连接有第一驱动电机9，通过第一驱动电机9、调节块10、第一连杆11、配合块12、支撑弹簧13、辅助块14、第二连杆15、圆环块16、支杆17和固定块18的设置，使该晶圆low-k膜激光开槽设备具备了方便调节切割位置的效果，在使用的过程中方便调节激光切割器29的切割位置，使激光切割器29按照一定的轨迹运动，方便完成切割，从而起到了方便调节切割位置的作用，达到了方便调节切割位置的目的，第一驱动电机9、第二驱动电机22、第一伺服电机33、第二伺服电机37、第一电动液压推杆28、激光切割器29、真空泵41和第二电动液压推杆44均通过导线与外部电源电性连接，支撑台4的顶部开设有放置槽，第一驱动电机9的输出端固定连接有调节块10，调节块10的内部开设有通孔，通孔的内部设置有第一连杆11，第一连杆11的端部固定连接有配合块12，配合块12的一侧面固定连接有支撑弹簧13，支撑弹簧13远离配合块12的一端与调节块10固定
连接，支撑弹簧13套接在第一连杆11的外部，配合块12通过轴杆转动连接有辅助块14，辅助块14的内部开设有圆孔，圆孔的内部设置有第二连杆15，第二连杆15的端部固定连接有圆环块16，圆环块16的内部设置有支杆17，支杆17的两端均固定连接有固定块18，固定块18与切割箱8的内侧壁固定连接，配合块12的底部固定连接有第一电动液压推杆28，第一电动液压推杆28的活动端固定连接有激光切割器29，喷胶机5的顶部分别设置有喷胶管19和支撑杆20，支撑杆20的顶部固定连接有环形放置板21，第一固定板6的一侧面固定连接有第二驱动电机22，第二驱动电机22的输出端固定连接有第一缠绕杆23，连接板7的一侧面通过轴承转动连接有第一滚筒24，连接板7的内部开设有十字槽，十字槽的内部固定连接有限位弹簧25，限位弹簧25的一端固定连接有十字块26，十字块26滑动连接在十字槽的内部，low-k膜32分别与第一滚筒24和第二滚筒27抵接，十字块26通过轴承转动连接有第二滚筒27。
29.在使用时，第二伺服电机37带动第二螺杆38转动，使第二移动块39移动，定位杆40起到定位移动的作用，第二电动液压推杆44的活动端伸出，使吸盘43与支撑台4上放置槽内部的晶圆抵接，真空泵41抽真空，使吸盘43吸取晶圆，之后第二电动液压推杆44的活动端缩回，第二移动块39再次在第二螺杆38上移动，使晶圆移动到环形放置板21的上方，第二电动液压推杆44的活动端伸出，将晶圆放置在环形放置板21上，使喷胶机5通过喷胶管19喷涂胶水，之后第二电动液压推杆44的活动端缩回，第二移动块39继续移动到放置台45上方，第二电动液压推杆44的活动端伸出，使晶圆与low-k膜32抵接，放置台45与low-k膜32抵接，晶圆上的胶水干之后，真空泵41使吸盘43松开晶圆，第二电动液压推杆44的活动端缩回，使第二移动块39再次回到支撑台4的上方，方便吸取下一个晶圆，第二驱动电机22带动第一缠绕杆23转动，第一缠绕杆23缠绕low-k膜32，使晶圆移动到第一移动块35上的上方，第一电动液压推杆28的活动端伸出，通过激光切割器29进行切割low-k膜32，第一驱动电机9带动调节块10转动，使第一连杆11转动，使支撑弹簧13受力收缩或张力支撑，辅助块14在第二连杆15上移动，使圆环块16在支杆17上移动，使辅助块14带到激光切割器29按照第一移动块35上开设的切割槽的轨迹运动，方便切割，切割完成之后第一电动液压推杆28的活动端缩回，第二驱动电机22转动，继续收卷low-k膜32，同时第一伺服电机33带到第一螺杆34转动，使第一移动块35在第一螺杆34上移动，滑块36在滑槽的内部定位移动，使切割后的low-k膜32和晶圆一直位于第一移动块35上，方便将晶圆从切割箱8的底部移动出来，方便将晶圆取出来，第一滚筒24和第二滚筒27均与low-k膜32抵接，限位弹簧25张力支撑，方便将low-k膜32拉紧。
30.综上所述，该晶圆low-k膜激光开槽设备，通过第一驱动电机9、调节块10、第一连杆11、配合块12、支撑弹簧13、辅助块14、第二连杆15、圆环块16、支杆17和固定块18的设置，使该晶圆low-k膜激光开槽设备具备了方便调节切割位置的效果，在使用的过程中方便调节激光切割器29的切割位置，使激光切割器29按照一定的轨迹运动，方便完成切割，从而起到了方便调节切割位置的作用，达到了方便调节切割位置的目的，通过支撑台4、第一缠绕杆23、第一滚筒24、限位弹簧25、十字块26和第二滚筒27的设置，使该晶圆low-k膜激光开槽设备具备了提高low-k膜32与晶圆的之间的附着强度的效果，在使用的过程中在晶圆上喷涂胶水，使晶圆与low-k膜32粘合在一起，方便后续切割，从而起到了提高low-k膜32与晶圆的之间的附着强度的作用，达到了避免晶圆脱落的目的。
31.需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实
体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。
32.尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。