一种复合氧化铝抛光液及其制备方法和应用与流程

技术特征：
1.一种复合氧化铝抛光液的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：(1)将氢氧化铝和氧化镧按一定质量比进行混合；(2)将混合料在1000
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1200℃下进行煅烧1
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6小时，得氧化铝和氧化镧混合的烧后料，控制煅烧后失去25
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40％的质量；(3)将烧后料加入去离子水混合，烧后料和去离子水的质量比例为(30
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45)：(55
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70)；球磨至d50为300
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500nm之间，得球磨料；(4)向球磨料中加入烧后料质量比例5
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25％的多硅基功能性硅烷，混合均匀后，在150℃下陈化20
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60分钟，然后采用孔径为2μm的滤袋过滤；(5)向获得的物料中加入分散剂、润滑剂、表面活性剂、离子稳定剂、增稠剂、ph值调节剂和去离子水混合，使得制成的复合氧化铝抛光液的固含量为5
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25％，溶液的ph值为7
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8。2.根据权利要求1所述的一种复合氧化铝抛光液的制备方法，其特征在于，步骤(1)中，所述氢氧化铝和氧化镧的质量比例为(95
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99.5)：(0.5
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5)。3.根据权利要求1所述的一种复合氧化铝抛光液的制备方法，其特征在于，步骤(4)中，多硅基功能性硅烷为氨基硅烷或脲基硅烷。4.根据权利要求1所述的一种复合氧化铝抛光液的制备方法，其特征在于，步骤(5)中，以质量百分比含量计，所述分散剂的添加量占所述烧后料的0.1
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1％；所述分散剂为三聚磷酸类、三乙基己基磷酸、甲基戊醇、聚醇类、聚醚类、聚丙烯酸类、脂肪酸聚酯类、十二烷基硫酸钠、硬脂酸单甘油酯、氧化聚乙烯蜡、亚甲基双萘磺酸钠的一种或多种的组合。5.根据权利要求1所述的一种复合氧化铝抛光液的制备方法，其特征在于，步骤(5)中，以质量百分比含量计，所述润滑剂的添加量占所述烧后料的5
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10％，润滑剂选自丙三醇类、聚丙烯乙二醇类、聚丁烯二醇类的一种或多种的组合。6.根据权利要求1所述的一种复合氧化铝抛光液的制备方法，其特征在于，步骤(5)中，以质量百分比含量计，所述表面活性剂的添加量占所述烧后料的0.5
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1.5％，表面活性剂为非离子性表面活性剂。7.根据权利要求1所述的一种复合氧化铝抛光液的制备方法，其特征在于，步骤(5)中，以质量百分含量计，所述离子稳定剂的添加量占所述烧后料的0.01
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0.5％；所述离子稳定剂选自hpma、无机可溶性盐类、有机酸类的一种或多种的组合。8.根据权利要求1所述的一种复合氧化铝抛光液的制备方法，其特征在于，步骤(5)中，以质量百分含量计，所述增稠剂的添加量占所述烧后料的0.5
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2％；所述增稠剂为羧甲基纤维素类、甲基纤维素、淀粉磷酸钠、聚丙烯酸钠、聚氧乙烯类、卡波姆、无机盐类中的一种或多种的组合。9.一种如权利要求1
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8中任一项所述的制备方法制成的复合氧化铝抛光液。10.一种如权利要求9所述的复合氧化铝抛光液在碳化硅，氮化镓半导体材料抛光中的应用。

技术总结
本发明公开了一种复合氧化铝抛光液及其制备方法和应用，制备方法包括如下步骤：将氢氧化铝和氧化镧按一定质量比进行混合；将混合料进行煅烧，得氧化铝和氧化镧混合的烧后料，控制烧后料失去25


技术研发人员：宋军 颜刚 刘宇杰
受保护的技术使用者：青岛福禄泰科表面材料科技有限公司
技术研发日：2021.11.04
技术公布日：2022/1/4