闸阀的制作方法

1.本发明涉及一种将阀板由连结螺钉装拆自由地连结在阀杆的前端的闸阀。


背景技术：

2.在半导体处理装置中，作为通向真空腔的开口的开闭使用闸阀。此闸阀以如下的方式构成：将安装在阀杆的前端的阀板收容在阀箱内，将此阀箱安装在真空腔中，由阀板开闭形成在阀箱的侧壁上的开口。此时，开口的封闭，通过将安装阀板上的密封部件推压到开口的周围的阀座上来进行。
3.在这样的闸阀中，因为密封部件随着其使用逐渐劣化，所以需要在劣化了的阶段更换成新的密封部件。在该情况下，以往因为必须在将闸阀从真空腔卸下后，将阀板从阀杆卸下从阀箱取出，然后进行密封部件的更换，所以在更换中需要多的劳力和时间。因此，为了简单且迅速地进行密封部件的更换，希望能将阀板从阀杆简单且迅速地卸下的闸阀的出现。
4.在专利文献1中，公开了一种闸阀，其能将闸阀安装在真空腔中不变地将阀板从阀杆卸下从阀箱取出。此改良型的闸阀是如下的结构:将阀杆的上端部插入形成阀板的下面上的安装孔内，并通过将连结螺钉穿过形成在阀板上的螺钉穿插孔拧入形成在阀板的前端的螺纹孔中，将阀板和阀杆连结成装拆自由，通过将阀箱的上面的盖卸下，松开连结螺钉，能将阀板从阀杆卸下，从阀箱的上面取出到外部。因此，此改良型的闸阀，在进行密封部件的更换时，不需要将闸阀从真空腔卸下，能仅将阀板从阀箱简单且迅速地取出。
5.但是，在专利文献1中公开的闸阀，在将阀板从阀杆卸下的情况下，使用具有扳手部和螺钉部的工具，由此工具的扳手部将连结阀板和阀杆的连结螺钉松开，从阀杆的螺纹孔拔掉，然后，通过将此工具的螺钉部拧入阀板的取出用螺纹孔内，并由此工具将阀板提起，从阀杆卸下。
6.但是，如在专利文献1这公开的改良型的闸阀的那样，在将阀杆松动地插入阀板的安装孔内的情况下，通过由工具将阀板提起，能从阀杆卸下，但在为了防止阀板和阀杆的相对的旋转而将阀杆牢固地插入阀板的安装孔内的情况下，通过由工具将阀板提起而从阀杆卸下是困难的。
7.【在先技术文献】
8.【专利文献】
9.【专利文献1】日本特开2005
‑
291221号公报


技术实现要素：

10.发明所要解决的课题
11.本发明的技术课题在于提供一种即使在将阀杆的连结部牢固地插入阀板的连结孔内的情况下也能将阀板从阀杆简单且可靠地卸下的闸阀。
12.为了解决课题的手段
13.为了解决上述课题，本发明的闸阀，通过将连结螺钉穿过形成在阀板上的螺钉穿插孔与沿杆轴线形成在阀杆的前端的螺纹孔进行螺纹连接，可将阀板和阀杆连结成沿杆轴线卸下，其特征在于，阀板具有与连结螺钉抵接的抵接部，在为了将阀板从阀杆卸下而将连结螺钉从螺纹孔卸下时，由经抵接部作用于阀板的连结螺钉的推进力在杆轴线方向与连结螺钉一起位移，移动到作为连结螺钉从阀杆的螺纹孔完全地拔出的位置的阀板卸下位置。
14.在本发明中，希望连结螺钉具有在外周形成了螺旋槽的螺钉轴部和与螺钉轴部相比为大径的螺钉头部，在螺钉头部形成了用于使旋转操作用的工具卡合的操作孔，螺钉穿插孔具有连结螺钉的螺钉头部进行嵌合的沉孔部和连结螺钉的螺钉轴部进行穿插的穿插部，并以在沉孔部的内部抵接部与连结螺钉的螺钉头部抵接的方式形成。
15.在本发明中，抵接部由安装在沉孔部的内周的环状的部件构成，环状的抵接部与连结螺钉的螺钉头部的上面抵接。在此情况下，希望在螺钉头部和抵接部之间夹设了垫圈。
16.或者，也可以是抵接部由以前端向沉孔部的内部突出的方式安装在阀板上的杆状的部件构成，连结螺钉的螺钉头部具有杆状的抵接部进行嵌合的抵接槽。
17.在本发明中，连结螺钉在将阀板从阀杆卸下后也通过与抵接部抵接防止从阀板的脱落。
18.在本发明中，阀板的连结孔和阀杆的连结部，在由连结螺钉将阀板与阀杆连结了时，通过形成在连结部的一部分上的突部嵌入连结孔内，处于牢固地嵌合了的状态；但如果阀板向阀板卸下位置移动，则通过连结部的突部从连结孔拔出，成为松动地嵌合的状态。
19.发明的效果
20.根据本发明，因为以如下的方式构成，即，在为了将阀板从阀杆卸下而将连结螺钉松开了时，连结螺钉的推进力经形成在阀板上的抵接部作用于阀板，阀板与连结螺钉成为一体移动到可卸下的位置，所以即使在将阀杆的连结部牢固地插入阀板的连结孔内的情况下，也能将阀板从阀杆简单且可靠地卸下。
附图说明
21.图1是第一实施例的闸阀的正面图。
22.图2是沿图1的ii
‑
ii线的部分放大剖视图。
23.图3是图2的主要部分放大图。
24.图4是沿图3的iv
‑
iv线的剖视图。
25.图5是沿图3的v
‑
v线的剖视图。
26.图6是图3的主要部分俯视图。
27.图7是将闸阀分解表示的剖视图。
28.图8是图7的立体图。
29.图9是表示将连结螺钉松开而使阀板移动到阀板卸下位置的状态的主要部分剖视图。
30.图10是将阀板从阀杆卸下了的状态的主要部分立体图。
31.图11是第二实施例的闸阀的主要部分剖视图。
具体实施方式
32.图1及图10表示本发明的闸阀的第一实施方式。此闸阀v1是安装在未图示的真空腔中使用的闸阀，具有形成通向真空腔的开口2的阀箱1；在阀箱1的内部开闭开口2的阀板3；与阀板3连结的开闭操作用的阀杆4；和驱动阀杆4的阀驱动部5，通过由此阀驱动部5驱动阀杆4，阀板3向用于将开口2封闭的上升位置(图2的实线位置)和用于将开口2开放的下降位置(图2的虚线位置)升降。
33.在阀驱动部5设置了气缸等驱动机构6，但由于阀驱动部5及驱动机构6的结构及作用是公知的，所以在此的说明省略。
34.阀箱1呈在横向细长的矩形的箱形，在阀箱1的前后的侧壁1a、1b之中的与真空腔
に
连接的前方的侧壁1a上，形成了在横向细长的矩形的开口2，在侧壁1a的内面上，形成了包围开口2的平面状的阀座1c。而且，阀板3在向在图2中由实线所示的上升位置移动后向前方的侧壁1a侧位移，并通过将密封部件7推压到阀座1c上，将开口2封闭。
35.在阀箱1的上面上，盖10由多个盖安装螺钉11安装成装拆自由，如图7及图8所示，通过将此盖10卸下，阀箱1的上面可以开放，通过开放了的阀箱上面的窗孔12，能将阀板3从阀杆4沿杆轴线l卸下，并且能将卸下了的阀板3从阀箱1向上方取出。
36.此外，在阀箱1的后方的侧壁1b上也形成了开口2a，但此开口2a不由阀板3开闭。
37.阀板3的从正面看的形状，如从图8明确的那样呈在横向细长的长方形的那样的形状，但因为长方形的4个角被倒角成圆弧状，所以阀板3的长度方向两端部的形状分别为半圆接近半圆的形状。另外，阀板3，如图7所示，具有安装密封部件7的阀前面3a、阀前面3a的相反侧的阀背面3b和阀上面3c及阀下面3d，这些阀前面3a、阀背面3b、阀上面3c及阀下面3d均是平坦的面。
38.阀板3由连结螺钉14沿杆轴线l可卸下地连结在阀杆4的上端部。因为此连结，所以在阀下面3d的长度方向的中央位置，沿杆轴线l向上形成了阀杆4的上端的连结部16进行嵌合的连结孔15。此连结孔15的深度，因为仅比阀板3的高度(上下宽度)h的一半稍微大，所以连结孔15在高度h方向没有贯通阀板3。
39.连结孔15的横截面形状，如从图4及图5明确的那样呈在阀板3的长度方向细长的长方形状，位于连结孔15的宽度方向的一侧及另一侧的第一孔面15a及第二孔面15b是相互平行的平坦面，位于连结孔15的长度方向的一侧及另一侧的第三孔面15c及第4孔面15d也是相互平行的平坦面。
40.另外，在阀板3的阀上面3c上，如在图3及图8中详细地表示的那样，形成了穿插连结螺钉14的螺钉穿插孔18和安装用于由手将阀板3提起的螺钉杆19(参照图10)的螺钉杆安装孔20。
41.螺钉穿插孔18，以沿杆轴线l到达连结孔15的方式形成在阀板3的长度方向的中央位置。此螺钉穿插孔18具有收容连结螺钉14的螺钉头部14a的圆形的沉孔部18a和穿插连结螺钉14的螺钉轴部14b的圆形的穿插部18b，沉孔部18a与穿插部18b相比为大径。
42.另一方面，螺钉杆安装孔20在夹着螺钉穿插孔18对称的位置形成2个，其深度是在高度h方向不贯通阀板3的深度。
43.另外，阀杆4的连结部16形成在呈圆柱状的阀杆4的上端。此连结部16的横截面形状，如从图3～图5明确的那样，呈在阀板3的长度方向细长的长方形状，位于连结部16的宽
度方向的一侧及另一侧的第一侧面16a及第二侧面16b之中的一侧的第一侧面16a的全体是平坦面，但另一侧的第二侧面16b具有与第一侧面16a平行的平坦面部16b1和仅在此平坦面部16b1的下端部的一部分上局部地形成的突部16b2。因为此突部16b2与平坦面部16b1相比向外侧突出，所以连结部16的厚度(宽度方向的尺寸)与在平坦面部16b1的位置的厚度相比，形成了突部16b2的部分的厚度大。
44.另一方面，位于连结部16的长度方向的一端及他端的第三侧面16c及第4侧面16d是圆弧面。
45.而且，如果将阀杆4的连结部16插入阀板3的连结孔15内，由连结螺钉14将阀板3固定在阀杆4上，则如图3所示，连结部16的第二侧面16b的突部16b2嵌合在连结孔15内，与第二孔面15b的下端部抵接，由此，因为将连结部16的第一侧面16a强力地推压到连结孔15的第一孔面15a上，所以连结部16以被压入的状态牢固地嵌合在连结孔15内。
46.但是，如果第二侧面16b的突部16b2，如图9所示，从连结孔15向下方拔出，不再与第二孔面15b抵接，则因为成为仅平坦面部16b1嵌合连结孔15内的状态，所以连结部16的相对于连结孔15的嵌合状态变得松动，因此，阀板3能从阀杆4容易地卸下。
47.在连结部16的上端，以在连结部16的宽度方向横穿连结部16的长度方向的中央位置的方式形成了凹部17，在此凹部17的底部，沿杆轴线l形成了用于将连结螺钉14进行螺纹连接的螺纹孔21。在螺纹孔21的下端附近，形成了用于在拧入连结螺钉14时使螺纹孔21内的空气逃逸的通气孔22，此通气孔22在连结部16的第二侧面16b的平坦面部16b1开口。
48.连结螺钉14具有在前端具有螺旋槽(外螺纹部)14c的螺钉轴部14b和与此螺钉轴部14b相比呈大径的圆形的螺钉头部14a，在螺钉头部14a的上面上，形成了用于使六角扳手等工具28(参照图9)卡合进行旋转操作的呈六角形的操作孔14d。而且，通过将此连结螺钉14插入阀板3的螺钉穿插孔18内，将螺钉轴部14b的前端的外螺纹部14c拧入阀杆4的上端的螺纹孔21中，将阀板3与阀杆4的上端部连结。此时，连结螺钉14的螺钉头部14a的下面经垫圈23与沉孔部18a的底壁部18c的上面抵接。
49.另外，在形成阀板3上的螺钉穿插孔18中的沉孔部18a的内部，设置了在为了将阀板3从阀杆4卸下而将连结螺钉14松开了时与此连结螺钉14的螺钉头部14a抵接的抵接部25。此抵接部25由环状的部件25a形成，在图示的例中由c型环形成。因为安装此环状的部件即c型环25a，所以在沉孔部18a的内周形成了安装槽26，在此安装槽26中安装了c型环25a，螺钉头部14a的上面外周部经环状的垫圈27与此c型环25a抵接。因为这些c型环25a及垫圈27呈环状，所以由工具28将连结螺钉14紧入或者松开的操作，能通过c型环25a及垫圈27的空心部进行。
50.在以上的那样构成的闸阀v1中，在为了进行密封部件7的更换等维护而将阀板3从阀杆4卸下时，在通过将阀箱1的上面的盖10卸下而将窗孔12开放了的状态下，如图9所示，通过使工具28与连结螺钉14的螺钉头部14a的操作孔14d卡合，由此工具28使连结螺钉14旋转松开，将连结螺钉14从阀杆4的上端的螺纹孔21拔掉。于是，与连结螺钉14沿杆轴线l在松弛方向(图9的上方)移动相伴，因为螺钉头部14a的上面外周经垫圈27与抵接部25抵接，连结螺钉14的推进力经此抵接部25向上向作用于阀板3，所以阀板3与连结螺钉14成为一体，相对于阀杆4在杆轴线l方向移动。
51.而且，如果阀板3移动到连结螺钉14的螺钉轴部14b的下端的外螺纹部14c从阀杆4
的螺纹孔21完全地拔出的位置，则因为阀杆4的处于连结部16的第二侧面16b的下端部的突部16b2从阀板3的连结孔15向下方拔出，所以至此为止以压入状态牢固地嵌合的连结孔15和连结部16成为松动地嵌合的状态，能将阀板3从阀杆4容易地卸下。因此，此位置是通过由手将阀板3提起能从阀杆4卸下的阀板卸下位置。
52.因此，如图10所示，通过将螺钉杆19安装在形成在阀板3的上面上的2个螺钉杆安装孔20中，并将此螺钉杆19拿在两手中将阀板3提起，能将阀板3从阀杆4卸下向阀箱1的外部取出。
53.在将阀板3取出到阀箱1的外部后，因为连结螺钉14的螺钉头部14a在沉孔部18a的内部与底壁部18c和抵接部25卡定，所以连结螺钉14也不会从阀板3脱落。
54.从阀箱1取出的阀板3，在与需要相应地将螺钉杆19卸下后，进行密封部件7的更换等所需要的维护。
55.在将维护结束了的阀板3再次安装在阀杆4上时，只要进行与将阀板3卸下时相反的操作即可。
56.即，如图10所示，将螺钉杆19安装在阀板3上，将此螺钉杆19拿在手上，将阀板3收容在阀箱1内，并且使阀杆4的连结部16嵌合在阀板3的连结孔15内，使阀板3下降到连结螺钉14的螺钉轴部14b的前端与处于连结部16的上端的螺纹孔21的入口接触的位置。
57.接着，在将螺钉杆19从阀板3卸下后，如图9所示，由工具28使连结螺钉14旋转拧入螺纹孔21内，如图2～图4所示，通过将连结螺钉14紧入到连结部16的上端面16e与连结孔15的孔底面15e抵接并且连结部16的第二侧面16b的下端部的突部16b2嵌入连结孔15内而与第二孔面15b抵接的位置，将阀板3安装在阀杆4上。
58.而且，然后，通过由盖安装螺钉11将盖10安装在阀箱1的上面上，阀板3的安装完了。
59.在上述的例中，将安装在阀板3上的螺钉杆19拿在手上进行将阀板3从阀杆4卸下而从阀箱1取出的操作，但在阀板3的阀前面3a及阀背面3b等上形成了用于挂手指的凹部等的情况下，能利用此凹部将阀板3从阀杆4卸下向阀箱1的外部取出。因此，在此情况下，因为不需要将螺钉杆19安装在阀板3上，所以也不需要螺钉杆19和螺钉杆安装孔20。
60.图11是表示第二实施方式的闸阀v2的主要部分的图，在此第二实施方式的闸阀v2中，形成在阀板3上的抵接部25由杆状的部件25b形成。具体地说，杆状的部件25b由抵接螺钉形成，此杆状的部件即抵接螺钉25b以在横向姿势下进退调整自由的方式安装在阀板3的阀背面3b上，抵接螺钉25b的前端从沉孔部18a的内周面向沉孔部18a的内部突出。
61.另一方面，在连结螺钉14的螺钉头部14a，以包围螺钉头部14a的侧面外周的方式形成了环状的抵接槽29，在此抵接槽29中，抵接螺钉25b的前端相对于连结螺钉14在以杆轴线l为中心的旋转方向相对地自由位移，但在沿杆轴线l的方向以相互固定的方式嵌合。
62.此第二实施方式的闸阀v2的其它的结构及作用，由于实质上与第一实施方式的闸阀v1的结构及作用相同，所以其详细的说明省略。
63.此外，在图示的例中，设置了1个抵接螺钉25b，但抵接螺钉25b也能通过分别设置在阀板3的阀前面3a侧及阀背面3b侧，在沉孔部18a的直径方向的相对的位置设置2个。
64.另外，环状的抵接槽29也可以是在螺钉头部14a的上面的靠外周的位置以包围杆轴线l的方式形成的凹层状的槽。
65.符号的说明
66.v1、v2：闸阀
67.3：阀板
68.4：阀杆
69.14：连结螺钉
70.14a：螺钉头部
71.14b：螺钉轴部
72.14c：螺旋槽(外螺纹部)
73.14d：操作孔
74.15：连结孔
75.16：连结部
76.16b2：突部
77.18：螺钉穿插孔
78.18a：沉孔部
79.18b：穿插部
80.21：螺纹孔
81.25：抵接部
82.25a：环状的部件(c型环)
83.25b：杆状的部件(抵接螺钉)27：垫圈。