一种光刻胶硬烘烤设备的制作方法

1.本实用新型涉及烘烤设备技术领域，具体为一种光刻胶硬烘烤设备。


背景技术：

2.光刻胶是微电子技术中微细图形加工的关键材料之一，特别是近年来大规模和超大规模集成电路的发展，更是大大促进了光刻胶的研究开发和应用。印刷工业是光刻胶应用的另一重要领域。1954年由明斯克等人首先研究成功的聚乙烯醇肉桂酸脂就是用于印刷工业的，以后才用于电子工业。在使用过程中，将晶片放置在自转机上，涂布头将光刻胶喷洒在旋转的晶片基板中心，液态的光刻胶在旋转的晶片上依据离心力，铺展开来，依据自身的粘性，在晶片基板上以均匀地厚度分布，目前，对镜片涂抹光刻胶后，烘干不全面。
3.目前市场上的一些烘烤设备：
4.(1)在使用过程中，由于部分烘干的装置都是对镜片的上表面的原因，现有的烘烤设备烘干不全面；
5.(2)在使用过程中，由于烘干后短时间无法拿取原因，现有的烘烤设备无法快速散热。
6.所以我们提出了一种光刻胶硬烘烤设备，以便于解决上述中提出的问题。


技术实现要素：

7.(一)解决的技术问题
8.针对上述背景技术中现有技术的不足，本实用新型的目的在于提供一种光刻胶硬烘烤设备，以解决上述背景技术中提出的目前市场上的一些光刻胶硬烘烤设备，存在烘干不全面和无法快速散热的问题。
9.(二)技术方案
10.为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：
11.一种光刻胶硬烘烤设备，包括座板，所述座板的底部连接有下箱体，所述座板的上侧设置有烘干箱体，所述烘干箱体和座板之间设置有冷却箱体，所述烘干箱体上开设有烘干箱口，所述烘干箱体的内部设置有烘干板，所述烘干板和烘干箱体之间设置有多个等距离排列的升降电机，所述烘干板上连接有承载板，多个所述防滑垫的两侧均设置有多个等距离排列的气缸，多个所述气缸的活塞杆端均固定有固定板，多个所述固定板远离气缸的一侧均设置有软垫，多个所述软垫和固定板之间均设置有复位弹簧；
12.所述烘干箱体的一侧设置有第一抽风机，所述第一抽风机和烘干箱体之间设置有第一管道，所述第一抽风机的一侧设置有干燥箱体，所述第一抽风机和干燥箱体之间设置有第二管道，所述干燥箱体上设置有干燥箱盖，所述干燥箱盖的底部固定连通有凹槽板，所述凹槽板上设置有螺纹，所述干燥箱体上开设有与螺纹相适配的螺槽，所述干燥箱体远离第一抽风机的一侧设置有第二抽风机，所述第二抽风机和干燥箱体之间设置有第三管道，所述烘干箱体的内部设置有第五管道，所述烘干箱体和第二抽风机之间设置有第四管道，
所述第五管道的一侧面固定连通有多个等距离排列的出风喷头；
13.所述冷却箱体上开设有冷却箱口，所述冷却箱口的一侧壁上铰接有冷却箱盖，所述冷却箱体的内部设置有冷却板，所述冷却板上开设有两个等距离排列与滑块相适配的冷却板滑槽，所述冷却板的一侧设置有两个等距离排列的风机，所述冷却箱体上开设有多个等距离排列的吸气孔和出风口，所述下箱体上开设有下箱口，所述下箱口的一侧壁上铰接有下箱盖，所述下箱体的内壁上固定有多个等距离排列的放置板，多个所述放置板两两之间距离相等。
14.优选的，所述承载板的底部与烘干板的顶部活动连接，所述承载板上固定有多个等距离排列的防滑垫，多个所述防滑垫两两之间距离相等，两个所述风机的一侧均与冷却箱体的内壁相固定，所述吸气孔和风机之间留有间隔，所述吸气孔和出风口与冷却箱体为中心对称，多个所述吸气孔的内壁均固定有第一过滤网，所述出风口的内壁均固定有第二过滤网。
15.优选的，所述承载板的底部与烘干板的顶部之间通过滑动机构进行活动连接，多个所述气缸两两之间距离相等，多个所述气缸的一侧均与烘干箱体的内壁相固定，所述复位弹簧的一端与固定板的一侧壁相固定，所述复位弹簧的另一端与软垫的一侧相固定，所述下箱体的底部四周均安装有万向轮。
16.优选的，所述承载板的底部固定有两个等距离排列的滑块，所述烘干板上开设有两个等距离排列与滑块相适配的烘干板滑槽，所述承载板通过滑块与烘干板的滑槽滑动连接，所述烘干箱体的内壁上通过绝缘子固定有两个等距离排列的电加热丝，两个所述电加热丝之间留有间隔。
17.进一步的，所述烘干箱口上铰接有烘干箱盖，多个所述升降电机两两之间距离相等，多个所述升降电机的底部均与烘干箱体的内底壁相固定，多个所述升降电机的输出端均与烘干板的底部相固定。
18.进一步的，所述冷却箱体的顶部与烘干箱体的底部相固定，所述冷却箱体的底部与烘干箱体的顶部相固定，所述第一管道的一端与烘干箱体的一侧固定连通，所述第一管道的另一端与第一抽风机的进气口固定连通，所述第二管道的一侧与第一抽风机的出气口固定连通，所述第二管道的另一侧与干燥箱体的一侧固定连通，所述凹槽板通过螺纹与干燥箱体的螺槽螺纹连接，所述凹槽板的底部固定有密封垫，所述干燥箱盖上固定连接有干燥箱把手，所述干燥箱体的内壁固定有多个等距离排列的卡块，多个所述卡块两两之间距离相等，多个所述卡块的内壁均固定有干燥片。
19.进一步的，所述下箱体的顶部与座板的底部相固定，所述第三管道的一端与干燥箱体的一侧壁固定连通，所述第三管道的另一端与第二抽风机的进气口固定连通，所述第四管道的一端与第二抽风机的出气口固定连通，所述第四管道的另一端贯穿烘干箱体的顶部与第五管道的外侧面固定连通，多个所述出风喷头两两之间距离相等。
20.(三)有益效果
21.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该光刻胶硬烘烤设备：
22.(1)通过在烘干箱体的内部设置的承载板、烘干板、气缸、固定板、复位弹簧、软垫和升降电机，可以对晶体全方位的烘干，通过底板的底部固定的下箱体，下箱体的内壁固定的放置板，可以放置一切物体或者器具，通过承载板上固定的防滑垫，加强晶体的防滑性。
23.(2)通过在冷却箱体的内部设置的吸气孔、风机、出风孔和冷却板，可以对烘干后的晶体进行快速冷却，通过吸气孔的内壁固定的第一过滤网，对吸气孔进行过滤，通过出气孔的内壁固定的第一过滤网，对出气孔进行过滤。
附图说明
24.图1为本实用新型光刻胶硬烘烤设备的正视结构示意图；
25.图2为本实用新型光刻胶硬烘烤设备的烘干箱体的正剖结构示意图；
26.图3为本实用新型光刻胶硬烘烤设备的烘干箱体的侧剖结构示意图；
27.图4为本实用新型光刻胶硬烘烤设备的冷却箱口结构示意图；
28.图5为本实用新型光刻胶硬烘烤设备的冷却箱的截面结构示意图；
29.图6为本实用新型光刻胶硬烘烤设备的干燥箱体的截面结构示意图；
30.图7为本实用新型光刻胶硬烘烤设备的螺槽结构示意图；
31.图8为本实用新型光刻胶硬烘烤设备的下箱体结构示意图。
32.图中：座板1，下箱体2，万向轮3，冷却箱体4，烘干箱体5，下箱口6，放置板7，冷却箱口8，烘干箱口9，支撑柱10，冷却板11，冷却板滑槽12，吸气孔13，风机14，第一过滤网15，出风口16，第二过滤网17，升降电机18，烘干板19，烘干板滑槽20，承载板21，滑块22，防滑垫23，气缸24，固定板25，复位弹簧26，软垫27，第一管道28，第一抽风机29，第二管道30，干燥箱体31，卡块32，干燥片33，干燥箱盖34，凹槽板35，螺槽36，螺纹37，密封垫38，干燥箱把手39，第三管道40，第二抽风机41，第四管道42，第五管道43，出风喷头44，电加热丝45，烘干箱盖46，冷却箱盖47，下箱盖48。
具体实施方式
33.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
34.请参阅图1
‑
7所示，本实用新型提供一种光刻胶硬烘烤设备；包括座板1，座板1的底部连接有下箱体2，座板1的上侧设置有烘干箱体5，烘干箱体5和座板1之间设置有冷却箱体4，烘干箱体5上开设有烘干箱口9，烘干箱体5的内部设置有烘干板19，烘干板19和烘干箱体5之间设置有多个等距离排列的升降电机18，烘干板19上连接有承载板21，多个防滑垫23的两侧均设置有多个等距离排列的气缸24，多个气缸24的活塞杆端均固定有固定板25，多个固定板25远离气缸24的一侧均设置有软垫27，多个软垫27和固定板25之间均设置有复位弹簧26；
35.烘干箱体5的一侧设置有第一抽风机29，第一抽风机29和烘干箱体5之间设置有第一管道28，第一抽风机29的一侧设置有干燥箱体31，第一抽风机29和干燥箱体31之间设置有第二管道30，干燥箱体31上设置有干燥箱盖34，干燥箱盖34的底部固定连通有凹槽板35，凹槽板35上设置有螺纹37，干燥箱体31上开设有与螺纹37相适配的螺槽36，干燥箱体31远离第一抽风机29的一侧设置有第二抽风机41，第二抽风机41和干燥箱体31之间设置有第三管道40，烘干箱体5的内部设置有第五管道43，烘干箱体5和第二抽风机41之间设置有第四
管道42，第五管道43的一侧面固定连通有多个等距离排列的出风喷头44；
36.冷却箱体4上开设有冷却箱口8，冷却箱口8的一侧壁上铰接有冷却箱盖47，冷却箱体4的内部设置有冷却板11，冷却板11上开设有两个等距离排列与滑块22相适配的冷却板滑槽12，冷却板11的一侧设置有两个等距离排列的风机14，冷却箱体4上开设有多个等距离排列的吸气孔13和出风口16，下箱体2上开设有下箱口6，下箱口6的一侧壁上铰接有下箱盖48，下箱体2的内壁上固定有多个等距离排列的放置板7，多个放置板7两两之间距离相等；
37.作为本实用新型的一种优选技术方案：承载板21的底部与烘干板19的顶部活动连接，承载板21上固定有多个等距离排列的防滑垫23，多个防滑垫23两两之间距离相等，两个风机14的一侧均与冷却箱体4的内壁相固定，吸气孔13和风机14之间留有间隔，吸气孔13和出风口16与冷却箱体4为中心对称，多个吸气孔13的内壁均固定有第一过滤网15，出风口16的内壁均固定有第二过滤网17，通过吸气孔13的内壁固定的第一过滤网15，出风口16的内部固定的第二过滤网17，防止空气中的杂质进去冷却箱体4的内部；
38.作为本实用新型的一种优选技术方案：承载板21的底部与烘干板19的顶部之间通过滑动机构进行活动连接，多个气缸24两两之间距离相等，多个气缸24的一侧均与烘干箱体5的内壁相固定，复位弹簧26的一端与固定板25的一侧壁相固定，复位弹簧26的另一端与软垫27的一侧相固定，下箱体2的底部四周均安装有万向轮3，通过软垫27，防止对夹持的晶体造成损害；
39.作为本实用新型的一种优选技术方案：承载板21的底部固定有两个等距离排列的滑块22，烘干板19上开设有两个等距离排列与滑块22相适配的烘干板滑槽20，承载板21通过滑块22与烘干板19的滑槽20滑动连接，烘干箱体5的内壁上通过绝缘子固定有两个等距离排列的电加热丝45，两个电加热丝45之间留有间隔，通过滑块22和滑槽20的配合，便于拆卸和安装；
40.作为本实用新型的一种优选技术方案：烘干箱口9上铰接有烘干箱盖46，多个升降电机18两两之间距离相等，多个升降电机18的底部均与烘干箱体5的内底壁相固定，多个升降电机18的输出端均与烘干板19的底部相固定，通过升降电机18，便于对承载板21的升高和降低；
41.作为本实用新型的一种优选技术方案：冷却箱体4的顶部与烘干箱体5的底部相固定，冷却箱体4的底部与烘干箱体5的顶部相固定，第一管道28的一端与烘干箱体5的一侧固定连通，第一管道28的另一端与第一抽风机29的进气口固定连通，第二管道30的一侧与第一抽风机29的出气口固定连通，第二管道30的另一侧与干燥箱体31的一侧固定连通，凹槽板35通过螺纹37与干燥箱体31的螺槽36螺纹连接，凹槽板35的底部固定有密封垫38，干燥箱盖34上固定连接有干燥箱把手39，干燥箱体31的内壁固定有多个等距离排列的卡块32，多个卡块32两两之间距离相等，多个卡块32的内壁均固定有干燥片33，通过干燥箱盖34、螺槽36和螺纹37的配合，便于对干燥片33的维修；
42.作为本实用新型的一种优选技术方案：下箱体2的顶部与座板1的底部相固定，第三管道40的一端与干燥箱体31的一侧壁固定连通，第三管道40的另一端与第二抽风机41的进气口固定连通，第四管道42的一端与第二抽风机41的出气口固定连通，第四管道42的另一端贯穿烘干箱体5的顶部与第五管道43的外侧面固定连通，多个出风喷头44两两之间距离相等，通过第三管道40、第四管道42、第二抽风机41和第五管道43的配合，可以对烘干箱
体5的内部热气进行循环使用。
43.本实施例的工作原理：在使用该光刻胶硬烘烤设备时，如图1
‑
3所示，打开烘干箱盖46，将涂抹光刻胶的晶体放置在防滑垫23上，开启电加热丝45对烘干箱体5的内部进行加热，当对晶体的表面烘干后，开启升降电机18，将晶体与软垫27相平行，开启气缸24，对晶体的外面进行夹持，然后控制升降电机18将烘干板19降低，电加热丝45产生的热能对晶体的底部进行加热，开启抽风机使烘干箱体5内部的热气进行循环；
44.如图4
‑
7和图2所示，该装置使用时，对晶体烘干完毕后，手上带着隔热的手套将承载板21拉出，然后将滑块22与冷却板上开设的冷却板滑槽12相插接，然后开启风机14对晶体进行快速散热，可以将相关需要用到的器具放置在放置板7上，以上便是整个装置的工作过程，且本说明书中未作详细描述的内容均属于本领域专业技术人员公知的现有技术。
45.尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，需要说明的是，在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接；也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义；对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。