感光性树脂组合物、固化膜、滤色器、固体摄像元件及图像显示装置的制作方法

1.本发明涉及一种含有选自比色指数颜料蓝15:3及比色指数颜料蓝15:4中的至少1种酞菁颜料的感光性树脂组合物。并且，本发明还涉及一种使用感光性树脂组合物而成的固化膜、滤色器、固体摄像元件及图像显示装置。


背景技术：

2.近年来，随着数码相机、带有相机的移动电话等的普及，电荷耦合器件(ccd)影像传感器等固体摄像元件的需求大幅增加。作为显示器或光学元件的核心装置，使用滤色器。
3.作为滤色器，已知有具备红色像素、绿色像素及蓝色像素的加法混合方式的滤色器或具备青色像素、品红色像素及黄色像素的减法混色方式的滤色器等。使用含有着色剂的感光性树脂组合物等来制造滤色器的各色的像素。
4.在专利文献1的0123～0130段中记载有一种青色感光性着色组合物，所述青色感光性着色组合物包含：含有比色指数颜料蓝15:3的颜料分散体、丙烯酸系树脂溶液、光聚合性单体、光聚合引发剂、流平剂溶液及溶剂。
5.在专利文献2中记载有一种滤色器用感光性着色树脂组合物，所述滤色器用感光性着色树脂组合物含有：比色指数颜料绿7、蓝色色材、黄色色材、分散剂、碱溶性树脂、多官能单体、光引发剂及溶剂。专利文献2的0113段中记载有作为蓝色色材使用颜料蓝15:3、颜料蓝15:4、颜料蓝15:6等的内容。
6.以往技术文献
7.专利文献
8.专利文献1：日本特开2017
‑
142372号公报
9.专利文献2：日本特开2018
‑
045189号公报


技术实现要素：

10.发明要解决的技术课题
11.通常，滤色器具有多种颜色的像素。具有这些多种颜色的像素的滤色器，依次形成每一种颜色的像素来制造。例如，在使用感光性树脂组合物通过光微影法形成具有多种颜色的像素的滤色器的情况下，对各色的像素进行如下操作来制造滤色器：使用感光性树脂组合物在支撑体上形成感光性树脂组合物层，接着以图案状曝光感光性树脂组合物层，接着显影去除感光性树脂组合物层的未曝光部来形成图案(像素)。因此，也可以将在下一工序中所形成的另一颜色的感光性树脂组合物适用于在上一工序中所形成的像素(以下，也称为第1像素)上。适用于在上一工序中所形成的像素(第1像素)上的另一颜色的感光性树脂组合物，通过图案形成时的显影处理而被去除，但是若第1像素的固化性等不充分，则存在适用于第1像素上的另一颜色的感光性树脂组合物中所包含的着色剂等会移动到第1像素侧而产生混色的情况。因此，针对使用感光性树脂组合物而形成的像素，期望与其他色相
的像素的混色少。并且，对于用于滤色器的像素，还要求分光特性优异且耐光性优异等。并且，针对这些特性，近年来要求更高水准的并置。
12.但是，关于青色的像素形成用感光性树脂组合物，迄今为止尚未进行深入研究，在以往公知的青色的像素形成用感光性树脂组合物中，很难形成近年来所要求的高水准下能够并置适合于青色的分光特性、耐光性及抑制与其他色相的像素的混色的像素等的固化膜。并且，根据本发明人的研究，发现专利文献1、2中所记载的组合物在这些特性方面存在进一步改善的余地。
13.从而，本发明的目的在于提供一种能够形成具有适合于显现青色的分光特性、耐光性优异并且能够抑制产生与其他色相的像素的混色的固化膜的感光性树脂组合物、固化膜、滤色器、固体摄像元件及图像显示装置。
14.用于解决技术课题的手段
15.本发明人深入研究结果，发现了通过提高感光性树脂组合物中所包含的着色剂中的选自比色指数(c.i.)颜料蓝15:3及c.i.颜料蓝15:4中的至少1种酞菁颜料的含量，能够提高具有适合于青色的分光特性的固化膜。并且，本发明人对使用该感光性树脂组合物而获得的固化膜进行进一步研究结果，发现对耐光性尚有改善的余地。本发明人进一步进行研究结果，发现了作为着色剂使用含有50质量％以上的选自c.i.颜料蓝15:3及c.i.颜料蓝15:4中的至少1种酞菁颜料者，并且感光性树脂组合物的总固体成分中含有0.1～10质量％的紫外线吸收剂，由此能够形成具有适合于青色的分光特性、耐光性优异并且能够抑制产生与其他色相的像素的混色的固化膜，从而完成了本发明。本发明提供以下内容。
16.＜1＞一种感光性树脂组合物，其含有：着色剂、树脂、聚合性化合物、光聚合引发剂、紫外线吸收剂及溶剂，所述感光性树脂组合物中，
17.着色剂含有选自比色指数颜料蓝15:3及比色指数颜料蓝15:4中的至少1种酞菁颜料，并且着色剂中含有50质量％以上的酞菁颜料，
18.在感光性树脂组合物的总固体成分中含有0.1～10质量％的紫外线吸收剂。
19.＜2＞根据＜1＞所述的感光性树脂组合物，其中，酞菁颜料的平均二次粒径为50～100nm。
20.＜3＞根据＜1＞或＜2＞所述的感光性树脂组合物，其中，在感光性树脂组合物的总固体成分中含有10质量％以上的着色剂。
21.＜4＞根据＜1＞至＜3＞中任一所述的感光性树脂组合物，其中，树脂含有胺值为25～60mgkoh/g的树脂。
22.＜5＞根据＜4＞所述的感光性树脂组合物，其中，胺值为25～60mgkoh/g的树脂为(甲基)丙烯酸系树脂。
23.＜6＞根据＜1＞至＜5＞中任一所述的感光性树脂组合物，其中，上述树脂含有碱溶性树脂。
24.＜7＞根据＜1＞至＜6＞中任一所述的感光性树脂组合物，其中，相对于光聚合引发剂100质量份，含有1～200质量份的紫外线吸收剂。
25.＜8＞根据＜1＞至＜7＞中任一所述的感光性树脂组合物，其中，相对于聚合性化合物100质量份，含有0.1～100质量份的紫外线吸收剂。
26.＜9＞根据＜1＞至＜8＞镇南关任一所述的感光性树脂组合物，其用于形成滤色
器的像素。
27.＜10＞根据＜9＞所述的感光性树脂组合物，其用于形成青色的像素。
28.＜11＞根据＜1＞至＜10＞中任一所述的感光性树脂组合物，其用于固体摄像元件。
29.＜12＞一种固化膜，其由＜1＞至＜11＞中任一所述的感光性树脂组合物获得。
30.＜13＞一种滤色器，其具有＜12＞所述的固化膜。
31.＜14＞一种固体摄像元件，其具有＜12＞所述的固化膜。
32.＜15＞根据＜14＞所述的固体摄像元件，其中,上述固化膜为青色像素，且所述固体摄像元件还含有黄色像素及品红色像素。
33.＜16＞一种图像显示装置，其具有＜12＞所述的固化膜。
34.发明效果
35.根据本发明，能够提供一种能够形成具有适合于显现青色的分光特性、耐光性优异并且能够抑制产生与其他色相的像素的混色的固化膜的感光性树脂组合物、固化膜、滤色器、固体摄像元件及图像显示装置。
具体实施方式
36.以下，对本发明的内容进行详细说明。
37.本说明书中，“～”是指，将记载于“～”前后的数值作为下限值及上限值而包含来使用。
38.关于本说明书中的基团(原子团)的标记，未记载经取代及未经取代的标记同时包含不具有取代基的基团(原子团)和具有取代基的基团(原子团)。例如，“烷基”不仅包含不具有取代基的烷基(未经取代的烷基)，还包含具有取代基的烷基(取代烷基)。
39.本说明书中“曝光”只要无特别限定，除了利用光的曝光以外，利用电子束、离子束等粒子束的描绘也包含于曝光中。并且，作为使用于曝光的光，通常可列举以汞灯的明线光谱、准分子激光器为代表的远紫外线、极紫外线(euv光)、x射线、电子束等光化射线或放射线。
40.本说明书中，“(甲基)丙烯酸酯”表示丙烯酸酯及丙烯酸甲酯两者或任一者，“(甲基)丙烯酸”表示丙烯酸及甲基丙烯酸两者或任一者，“(甲基)丙烯酰基”表示丙烯酰基及甲基丙烯酰基两者或任一者。
41.本说明书中，结构式中的me表示甲基，et表示乙基，bu表示丁基，ph表示苯基。
42.本说明书中，重均分子量及数均分子量为通过gpc(凝胶渗透色谱)法测量的聚苯乙烯换算值。
43.本说明书中，总固体成分是指从组合物的所有成分中去除溶剂之后的成分的总质量。
44.本说明书中，颜料是指，不易溶解于溶剂中的化合物。
45.本说明书中，“工序”这一术语不仅表示独立的工序，而且即使无法与其他工序明确区分时，若那个实现该工序所期待的作用，则也包含于本术语中。
46.＜感光性树脂组合物＞
47.本发明的感光性树脂组合物含有：
48.着色剂、树脂、聚合性化合物、光聚合引发剂、紫外线吸收剂及溶剂，所述感光性树脂组合物的特征在于，
49.上述着色剂含有选自比色指数颜料蓝15:3及比色指数颜料蓝15:4中的至少1种酞菁颜料，并且在上述着色剂中含有50质量％以上的上述酞菁颜料，
50.在上述感光性树脂组合物的总固体成分中含有0.1～10质量％的上述紫外线吸收剂。
51.根据本发明的感光性树脂组合物，能够形成具有适合于显现青色的分光特性、耐光性优异并且能够抑制产生与其他色相的像素的混色的固化膜。尤其，能够形成在波长400～530nm范围的光的平均透射率高而在波长610～700nm范围的光的平均透射率低的固化膜。作为着色剂使用含有50质量％以上的选自c.i.颜料蓝15:3及c.i.颜料蓝15:4中的至少1种酞菁颜料的物质，由此能够形成具有适合于青色的分光特性的固化膜。并且，作为着色剂使用含有50％以上的上述酞菁颜料的物质，并且在感光性树脂组合物的总固体成分中含有0.1～10质量％的上述紫外线吸收剂，由此能够形成耐光性优异并且能够抑制产生与其他色相的像素的混色的固化膜。
52.在形成有膜厚为0.4～1.0μm的固化膜时，本发明的感光性树脂组合物在膜的厚度方向上的波长400～530nm范围的光的平均透射率优选为70％以上，更优选为80％以上为，进一步优选为85％以上。并且，膜的厚度方向上的波长400～530nm范围的光的透射率的最小值优选为40％以上，更优选为50％以上，进一步优选为60％以上。并且，膜的厚度方向上的波长610～700nm范围的光的平均透射率优选为30％以下，更优选为25％以下，进一步优选为20％以下。并且，膜的厚度方向上的波长610～700nm范围的光的透射率的最大值优选为40％以下，更优选为30％以下，进一步优选为25％以下。
53.在形成有膜厚为0.4～1.0μm的固化膜时，本发明的感光性树脂组合物在膜的厚度方向上的相对于波长400～700nm范围的光的透射谱中，优选在波长400～530nm范围内存在透射率的峰值。并且，优选在波长540～600nm范围内存在透射率达到峰值的50％的波长(以下，将该波长也称为λ
t50
)。并且，优选在波长560～620nm范围内存在透射率达到峰值的20％的波长(以下，将该波长也称为λ
t20
)。λ
t50
优选存在于波长545～595nm范围内，更优选存在于波长550～590nm范围内。λ
t20
优选存在于波长565～615nm范围内，更优选存在于波长560～610nm范围内。并且，λ
t20
与λ
t50
之差(λ
t20
‑
λ
t50
)优选为5～80nm，更优选为7～50nm，进一步优选为10～30nm。
54.关于所获得的固化膜的透射率的值，能够通过变更着色剂中所含有的选自c.i.颜料蓝15:3及c.i.颜料蓝15:4中的至少1种酞菁颜料的含量以及感光性树脂组合物中的着色剂的含量等来适当调整。
55.本发明的感光性树脂组合物能够优选地用作滤色器的像素形成用感光性树脂组合物，能够更优选地用作滤色器的青色的像素形成用感光性树脂组合物。
56.本发明的感光性树脂组合物能够优选地用作图像显示装置用感光性树脂组合物。更具体而言，能够优选地用作图像显示装置用滤色器的像素形成用感光性树脂组合物，能够更优选地用作图像显示装置用滤色器的青色的像素形成用感光性树脂组合物。作为图像显示装置的种类，并无特别限定，但是可举出作为光源具有有机半导体元件的有机电致发光显示装置等显示装置等。
57.并且，本发明的感光性树脂组合物也能够用作固体摄像元件用感光性树脂组合物。更具体而言，能够优选地用作固体摄像元件用滤色器的像素形成用感光性树脂组合物，能够更优选地用作固体摄像元件用滤色器的青色的像素形成用感光性树脂组合物。
58.由本发明的感光性树脂组合物形成的固化膜及像素的厚度优选为0.5～3.0μm。下限优选0.8μm以上，更优选1.0μm以上，进一步优选1.1μm以上。上限优选2.5μm以下，更优选2.0μm以下，进一步优选1.8μm以下。并且，由本发明的感光性树脂组合物形成的像素的线宽(图案尺寸)优选为2.0～10.0μm。上限优选7.5μm以下，更优选5.0μm以下，进一步优选4.0μm以下。下限优选2.25μm以上，更优选2.5μm以上，进一步优选2.75μm以上。
59.以下，对本发明的感光性树脂组合物进行详细说明。
60.＜＜着色剂＞＞
61.本发明的感光性树脂组合物含有着色剂。本发明的感光性树脂组合物中所使用的着色剂含有选自c.i.颜料蓝15:3及c.i.颜料蓝15:4中的至少1种酞菁颜料。以下，将c.i.颜料蓝15:3和c.i.颜料蓝15:4也统称为特定酞菁颜料。
62.从提高可见光的透射性而容易获得具有适合于青色的分光特性的固化膜的理由考虑，特定酞菁颜料的平均二次粒径优选为50～100nm。从耐光性的观点考虑，下限优选为55nm以上，更优选为60nm以上。从分光特性的观点考虑，上限优选为95nm以下，更优选为90nm以下。
63.另外，本说明书中，关于颜料的平均二次粒径，使用透射型电子显微镜(tem)直接从电子显微镜照片测量颜料的二次粒子的大小来进行测量。具体而言，测量各个颜料的二次粒子的短轴径及长轴径，将平均作为其颜料的粒径。接着，针对100个颜料的每一个，以近似于所求出的粒径的立方体而求出每个颜料的体积，并且将体积平均粒径作为平均二次粒径。
64.本发明的感光性树脂组合物中所使用的着色剂含有50质量％以上的特定酞菁颜料，优选含有55质量％以上的特定酞菁颜料，更优选含有60质量％以上的特定酞菁颜料，进一步优选含有65质量％以上的特定酞菁颜料。上限可以是100质量％，也可以是95质量％以下，也可以是90质量％以下。
65.本发明的感光性树脂组合物中所使用的着色剂可以是作为特定酞菁颜料含有c.i.颜料蓝15:3与c.i.颜料蓝15:4这两者的着色剂，也可以仅含有其中一个。本发明的感光性树脂组合物含有c.i.颜料蓝15:3的情况下，容易提高感光性树脂组合物的涂布性。本发明的感光性树脂组合物含有c.i.颜料蓝15:4的情况下，容易提高感光性树脂组合物的保存稳定性和所获得的固化膜的耐热性。并且，本发明的感光性树脂组合物中所使用的着色剂含有c.i.颜料蓝15:3及c.i.颜料蓝15:4的情况下，c.i.颜料蓝15:3与c.i.颜料蓝15:4的质量比相对于c.i.颜料蓝15:3的100质量份，c.i.颜料蓝15:4优选为10～1000质量份，更优选为25～400质量份，进一步优选为50～200质量份。
66.本发明的感光性树脂组合物中所使用的着色剂可以含有除了上述特定酞菁颜料以外的着色剂(以下，也称为其他着色剂)。含有其他着色剂的情况下，能够期望更优异的耐光性和提高与其他颜色的像素的颜色分离的效果。本发明的感光性树脂组合物中所使用的着色剂还含有其他着色剂的情况下，着色剂中的其他着色剂的含量优选小于50质量％，进一步优选小于45质量％，进一步优选小于40质量％，更进一步优选小于35质量％，尤其优选
小于30质量％。下限优选为10质量％以上，更优选为20质量％以上。
67.并且，本发明的感光性树脂组合物中所使用的着色剂也优选实质上不含其他着色剂。根据该方式，也能够提高光透射量而获得更高灵敏度的像素。另外，着色剂实质上不含其他着色剂的情况是指着色剂中的其他着色剂的含量小于0.5质量％，优选小于0.1质量％，进一步优选不含其他着色剂。
68.作为其他着色剂，可举出红色着色剂、绿色着色剂、蓝色着色剂、黄色着色剂、紫色着色剂、橙色着色剂等彩色着色剂，优选为绿色着色剂、蓝色着色剂及黄色着色剂，从容易获得更优异的耐光性的理由考虑，更优选为黄色着色剂。其他着色剂可以是颜料，也可以是染料。可以并用颜料和染料。并且，颜料可以是无机颜料、有机颜料中的任一种。并且，颜料能够使用使无机颜料或有机
‑
无机颜料的一部分被有机显色团取代而成的材料。通过使无机颜料或有机
‑
无机颜料的一部分被有机显色团取代，能够容易进行色相设计。作为颜料，可举出以下所示的颜料。
69.c.i.颜料黄1、2、3、4、5、6、10、11、12、13、14、15、16、17、18、20、24、31、32、34、35、35:1、36、36:1、37、37:1、40、42、43、53、55、60、61、62、63、65、73、74、77、81、83、86、93、94、95、97、98、100、101、104、106、108、109、110、113、114、115、116、117、118、119、120、123、125、126、127、128、129、137、138、139、147、148、151、152、153、154、155、156、161、162、164、166、167、168、169、170、171、172、173、174、175、176、177、179、180、181、182、185、187、188、193、194、199、213、214、215、231、232(次甲基系)、233(喹啉系)等(以上为黄色颜料)、
70.c.i.颜料橙2、5、13、16、17:1、31、34、36、38、43、46、48、49、51、52、55、59、60、61、62、64、71、73等(以上为橙色颜料)、
71.c.i.颜料红1、2、3、4、5、6、7、9、10、14、17、22、23、31、38、41、48:1、48:2、48:3、48:4、49、49:1、49:2、52:1、52:2、53:1、57:1、60:1、63:1、66、67、81:1、81:2、81:3、83、88、90、105、112、119、122、123、144、146、149、150、155、166、168、169、170、171、172、175、176、177、178、179、184、185、187、188、190、200、202、206、207、208、209、210、216、220、224、226、242、246、254、255、264、270、272、279、294(呫吨系、organo ultramarine、bluish red)、295(偶氮系)、296(偶氮系)等(以上为红色颜料)、
72.c.i.颜料绿7、10、36、37、58、59、62、63等(以上为绿色颜料)、
73.c.i.颜料紫1、19、23、27、32、37、42、60(三芳基甲烷系)、61(呫吨系)等(以上为紫色颜料)、
74.c.i.颜料蓝1、2、15、15:1、15:2、15:6、16、22、29、60、64、66、79、80、87(单偶氮系)、88(次甲基系)等(以上为蓝色颜料)。
75.并且，作为绿色颜料，也能够使用在1分子中的卤素原子数为平均10～14个、溴原子数为平均8～12个及氯原子数为平均2～5个的卤化锌酞菁颜料。作为具体例，可举出国际公开第2015/118720号中所记载的化合物。并且，作为绿色颜料，也能够使用中国专利申请第106909027号说明书中所记载的化合物、国际公开第2012/102395号中所记载的作为配位体具有磷酸酯的酞菁化合物、日本特开2019
‑
008014号公报中所记载的酞菁化合物及日本特开2018
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180023号公报中所记载的酞菁化合物。
76.并且，作为蓝色颜料，也能够使用具有磷原子的铝酞菁化合物。作为具体例，可举出日本特开2012
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247591号公报的0022～0030段、日本特开2011
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157478号公报的0047段中
所记载的化合物。
77.并且，作为黄色颜料，也能够使用日本特开2017
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201003号公报中所记载的化合物、日本特开2017
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197719号公报中所记载的化合物、日本特开2017
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171912号公报的0011～0062段、0137～0276段中所记载的化合物、日本特开2017
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171913号公报的0010～0062段、0138～0295段中所记载的化合物、日本特开2017
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171914号公报的0011～0062段、0139～0190段中所记载的化合物、日本特开2017
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171915号公报的0010～0065段、0142～0222段中所记载的化合物、日本特开2013
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054339号公报的0011～0034段中所记载的喹酞酮化合物、日本特开2014
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026228号公报的0013～0058段中所记载的喹酞酮化合物、日本特开2018
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062644号公报中所记载的异吲哚啉化合物、日本特开2018
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203798号公报中所记载的喹酞酮化合物、日本特开2018
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062578号公报中所记载的喹酞酮化合物、日本专利第6432077号公报中所记载的喹酞酮化合物、日本专利第6432076号公报中所记载的喹酞酮化合物、日本特开2018
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155881号公报中所记载的喹酞酮化合物、日本特开2018
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111757号公报中所记载的喹酞酮化合物、日本特开2018
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040835号公报中所记载的喹酞酮化合物、日本特开2017
‑
197640号公报中所记载的喹酞酮化合物、日本特开2016
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145282号公报中所记载的喹酞酮化合物、日本特开2014
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085565号公报中所记载的喹酞酮化合物、日本特开2014
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021139号公报中所记载的喹酞酮化合物、日本特开2013
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209614号公报中所记载的喹酞酮化合物、日本特开2013
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209435号公报中所记载的喹酞酮化合物、日本特开2013
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181015号公报中所记载的喹酞酮化合物、日本特开2013
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061622号公报中所记载的喹酞酮化合物、日本特开2013
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054339号公报中所记载的喹酞酮化合物、日本特开2013
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032486号公报中所记载的喹酞酮化合物、日本特开2012
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226110号公报中所记载的喹酞酮化合物、日本特开2008
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074987号公报中所记载的喹酞酮化合物、日本特开2008
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081565号公报中所记载的喹酞酮化合物、日本特开2008
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074986号公报中所记载的喹酞酮化合物、日本特开2008
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074985号公报中所记载的喹酞酮化合物、日本特开2008
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050420号公报中所记载的喹酞酮化合物、日本特开2008
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031281号公报中所记载的喹酞酮化合物、日本特公昭48
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032765号公报中所记载的喹酞酮化合物、日本特开2019
‑
008014号公报中所记载的喹酞酮化合物、由下述式(qp1)表示的化合物、由下述式(qp2)表示的化合物。
78.[化学式1]
[0079][0080]
式(qp1)中，x1～x
16
分别独立地表示氢原子或卤素原子，z1表示碳原子数1～3的亚烷基。作为由式(qp1)表示的化合物的具体例，可举出日本专利第6443711号公报的0016段中所记载的化合物。
[0081]
[化学式2]
[0082][0083]
式(qp2)中，y1～y3分别独立地表示卤素原子。n、m表示0～6的整数，p表示0～5的整数。(n m)为1以上。作为由式(qp2)表示的化合物的具体例，可举出日本专利6432077号公报的0047～0048段中所记载的化合物。
[0084]
作为红色颜料，也能够使用日本特开2017
‑
201384号公报中所记载的在结构中至少1个溴原子被取代的二酮吡咯并吡咯化合物、日本专利第6248838号的0016～0022段中所记载的二酮吡咯并吡咯化合物、国际公开第2012/102399号中所记载的二酮吡咯并吡咯化
合物、国际公开第2012/117965号中所记载的二酮吡咯并吡咯化合物、日本特开2012
‑
229344号公报中所记载的萘酚偶氮化合物等。并且，作为红色颜料，也能够使用具有对芳香族环导入键合有氧原子、硫原子或氮原子的基团而成的芳香族环基与二酮吡咯并吡咯骨架键合的结构的化合物。
[0085]
作为染料并没有特别限制，能够使用公知的染料。例如能够举出吡唑偶氮系、苯胺基偶氮系、三芳基甲烷系、蒽醌系、蒽吡啶醌系、亚苄基系、氧杂菁系、吡唑并三唑偶氮系、吡啶酮偶氮系、花青系、啡噻嗪系、吡咯并吡唑偶氮甲碱系、呫吨系、酞菁系、苯并吡喃系、靛蓝系、吡咯亚甲基系等染料。并且，也能够优选地使用日本特开2012
‑
158649号公报中所记载的噻唑化合物、日本特开2011
‑
184493号公报中所记载的偶氮化合物、日本特开2011
‑
145540号公报中所记载的偶氮化合物。并且，作为黄色染料，也能够使用日本特开2013
‑
054339号公报的0011～0034段中所记载的喹酞酮化合物、日本特开2014
‑
026228号公报的0013～0058段中所记载的喹酞酮化合物等。
[0086]
其他着色剂可以是色素多聚体。色素多聚体在一分子中具有两个以上色素结构，优选具有三个以上色素结构。上限并无特别限定，但是也能够设为100以下。一分子中所具有的多种颜色素结构可以是相同的色素结构，也可以是不同的色素结构。色素多聚体的重均分子量(mw)优选2000～50000。下限更优选3000以上，进一步优选6000以上。上限更优选30000以下，进一步优选20000以下。色素多聚体也能够使用日本特开2011
‑
213925号公报、日本特开2013
‑
041097号公报、日本特开2015
‑
028144号公报、日本特开2015
‑
030742号公报、国际公开第2016/031442号等中所记载的化合物。
[0087]
在感光性树脂组合物的总固体成分中，着色剂的含量优选为10质量％以上，更优选为15质量％以上，进一步优选为20质量％以上。上限优选80质量％以下，更优选75质量％以下，进一步优选70质量％以下。
[0088]
＜＜树脂＞＞
[0089]
本发明的感光性树脂组合物含有树脂。树脂例如以将颜料等的粒子分散于组合物中的用途或粘合剂的用途进行掺合。另外，也将主要为了将粒子等分散于组合物中而使用的树脂称为分散剂。但是，树脂的这些用途为一例，也能够以这些用途以外的目的使用树脂。
[0090]
作为树脂，例如可举出(甲基)丙烯酸系树脂、(甲基)丙烯酰胺树脂、环氧树脂、烯
‑
硫醇树脂、聚碳酸酯树脂、聚醚树脂、聚芳酯树脂、聚砜树脂、聚醚砜树脂、聚苯树脂、聚亚芳基醚氧化膦树脂、聚酰亚胺树脂、聚酰胺树脂、聚烯烃树脂、环状烯烃树脂、聚酯树脂、苯乙烯树脂、硅氧烷树脂、聚亚胺树脂、聚胺酯树脂等。
[0091]
树脂的重均分子量(mw)优选2000～2000000。上限优选1000000以下，更优选500000以下。下限优选3000以上，更优选4000以上，进一步优选5000以上。
[0092]
本发明的感光性树脂组合物也优选含有具有胺值的树脂。根据该方式，能够微细地分散颜料，即使使用感光性树脂组合物形成微细的像素(图案)的情况下也能够形成缺陷少的像素(图案)。上述树脂的胺值优选为25～60mgkoh/g，更优选为26～59mgkoh/g，进一步优选为27～58mgkoh/g。具有胺值的树脂优选地用作上述的特定酞菁颜料的分散剂。
[0093]
从兼具感光性树脂组合物的分辨率和颜料的分散性的观点考虑，具有胺值的树脂的酸值优选为0～250mgkoh/g。上限优选为200mgkoh/g以下，更优选为150mgkoh/g以下。从
提高碱溶解性并且容易提高分辨率的理由考虑，下限优选为5mgkoh/g以上，更优选为10mgkoh/g以上。并且，具有胺值的树脂的酸值可以是0mgkoh/g。具有胺值的树脂的酸值为0mgkoh/g的情况下，可获得颜料的分散稳定性良好的效果。
[0094]
作为具有胺值的树脂的数均分子量，优选500～50000，更优选3000～30000。
[0095]
作为具有胺值的树脂，可举出(甲基)丙烯酸系树脂、聚亚胺树脂、聚酯树脂、聚醚树脂、聚酰胺树脂等，从树脂的透明性及耐热性良好的理由考虑，优选为(甲基)丙烯酸系树脂。作为碱性树脂的具体例，可举出含有n,n
‑
二取代胺基的乙烯基单体、(甲基)丙烯酸烷基酯单体与其他乙烯基系单体的共聚物等。作为含有n,n
‑
二取代胺基的乙烯基单体，可举出n,n
‑
二甲基氨基(甲基)丙烯酸乙酯、n,n
‑
二乙基氨基(甲基)丙烯酸乙酯、n,n
‑
二甲基氨基(甲基)丙烯酸丙酯、n,n
‑
二乙基氨基(甲基)丙烯酸丙酯、n,n
‑
二甲基氨基乙基(甲基)丙烯酰胺或n,n
‑
二乙基氨基乙基(甲基)丙烯酰胺等。作为(甲基)丙烯酸烷基酯单体，可举出(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸正丙酯、(甲基)丙烯酸异丙酯、(甲基)丙烯酸正丁酯、(甲基)丙烯酸异丁酯、(甲基)丙烯酸2
‑
乙基己酯、(甲基)丙烯酸环己酯、(甲基)丙烯酸硬脂酯或(甲基)丙烯酸月桂酯等不饱和单羧酸与碳原子数1～18的烷基醇的反应中所获得的(甲基)丙烯酸酯类等。作为其他乙烯基系单体，可举出(甲基)丙烯腈等含硝基的乙烯基系单体类、苯乙烯、α
‑
甲基苯乙烯或(甲基)丙烯酸苄酯等乙烯基系芳香族单体类、(甲基)丙烯酸2
‑
羟乙酯、(甲基)丙烯酸羟丙酯或聚乙二醇(甲基)丙烯酸酯等含羟基的乙烯基系单体类、(甲基)丙烯酰胺、n,n
‑
二甲基丙烯酰胺、n
‑
异丙基丙烯酰胺或双丙酮丙烯酰胺等含酰胺基的乙烯基系单体类、n
‑
羟甲基(甲基)丙烯酰胺或二羟甲基(甲基)丙烯酰胺等乙烯基系单体类、n
‑
甲氧基甲基(甲基)丙烯酰胺或n
‑
丁氧基甲基(甲基)丙烯酰胺等含烷氧基甲基的乙烯基系单体类、乙烯、丙烯或异戊二烯等烯烃类、氯丁二烯或丁二烯等二烯类、甲基乙烯基醚、乙基乙烯基醚、正丙基乙烯基醚、异丙基乙烯基醚、正丁基乙烯基醚或异丁基乙烯基醚等乙烯基醚类、乙酸乙烯酯或丙酸乙烯酯等脂肪酸乙烯酯类等。
[0096]
作为具有胺值的树脂的市售品，可举出disperbyk161、162、163、164、166、167、168、174、182、183、184、185、2000、2001、2050、2150、2163、2164、byk
‑
lpn6919(以上为byk japan k.k.制造)、solsperse11200、13240、13650、13940、24000、26000、28000、32000、32500、32550、32600、33000、34750、35100、35200、37500，38500，39000，53095、56000、7100(以上为lubrizol japan limited.制造)、efka px 4300、4330、4046、4060、4080(以上为basf公司制造)等。
[0097]
本发明的感光性树脂组合物优选含有碱溶性树脂。通过本发明的感光性树脂组合物含有碱溶性树脂，可提高感光性树脂组合物的显影性，并且使用本发明的感光性树脂组合物利用光微影法形成图案时，能够有效地抑制显影残渣的产生等。作为碱溶性树脂，可举出具有酸基的树脂。作为酸基，可举出羧基、磷酸基、磺基、酚性羟基等，优选羧基。碱溶性树脂所具有的酸基的种类可仅为1种，也可以是2种以上。另外，碱溶性树脂也能够用作分散剂。
[0098]
碱溶性树脂优选含有在侧链上具有酸基的重复单元，更优选在树脂的所有重复单元中含有5～70摩尔％的在侧链上具有酸基的重复单元。在侧链上具有酸基的重复单元的含量的上限优选为50摩尔％以下，更优选为30摩尔％以下。在侧链上具有酸基的重复单元的含量的下限优选为10摩尔％以上，更优选为20摩尔％以上。
[0099]
碱溶性树脂也优选为具有聚合性基的碱溶性树脂。作为聚合性基，可举出(甲基)烯丙基、(甲基)丙烯酰基等。具有聚合性基的碱溶性树脂优选为含有在侧链上具有聚合性基的重复单元及在侧链上具有酸基的重复单元的树脂。
[0100]
碱溶性树脂也优选含有源自如下单体成分的重复单元，该单体成分含有由下述式(ed1)表示的化合物和/或由下述式(ed2)表示的化合物(以下，有时将这些化合物也称为“醚二聚体”。)。
[0101]
[化学式3]
[0102][0103]
式(ed1)中，r1及r2分别独立地表示氢原子或可以具有取代基的碳原子数1～25的烃基。
[0104]
[化学式4]
[0105][0106]
式(ed2)中，r表示氢原子或碳原子数1～30的有机基团。关于式(ed2)的详细内容，能够参考日本特开2010
‑
168539号公报的记载，该内容被编入本说明书中。
[0107]
作为醚二聚体的具体例，例如能够参考日本特开2013
‑
029760号公报的0317段的记载，该内容被编入本说明书中。
[0108]
关于碱溶性树脂，能够参考日本特开2012
‑
208494号公报的0558～0571段(对应的美国专利申请公开第2012/0235099号说明书的0685～0700段)的记载、日本特开2012
‑
198408号公报的0076～0099段的记载、日本特开2018
‑
105911号公报的记载，这些内容被编入本说明书中。
[0109]
碱溶性树脂的酸值优选30～500mgkoh/g。下限优选50mgkoh/g以上，更优选70mgkoh/g以上。上限优选400mgkoh/g以下，更优选300mgkoh/g以下，进一步优选200mgkoh/g以下。
[0110]
本发明的感光性树脂组合物中，作为树脂也能够使用具有马来酰亚胺结构的树脂。另外，本说明书中，马来酰亚胺结构是指源自马来酰亚胺化合物的结构。作为马来酰亚胺化合物，可举出马来酰亚胺及、n
‑
取代马来酰亚胺。作为n
‑
取代马来酰亚胺，可举出环己基马来酰亚胺、苯基马来酰亚胺、甲基马来酰亚胺、乙基马来酰亚胺、正丁基马来酰亚胺、月桂基马来酰亚胺等。
[0111]
具有马来酰亚胺结构的树脂优选为含有具有马来酰亚胺结构的重复单元的树脂。马来酰亚胺结构可以包含在重复单元的主链上，也可以包含在重复单元的侧链上。从容易形成颜色不均匀得到抑制的固化膜的理由考虑，马来酰亚胺结构优选包含在重复单元的主链上。
[0112]
本发明的感光性树脂组合物也优选含有树脂i(以下，也称为树脂i)，该树脂i作为树脂含有源自由式(i)表示的化合物的重复单元(以下，也称为重复单元i1
‑
1)。通过本发明的感光性树脂组合物含有树脂i，容易获得颜色不均匀得到抑制的固化膜。在树脂i的所有重复单元中的重复单元i 1
‑
1的含量优选为5摩尔％以上，更优选为10摩尔％以上，进一步优选为15摩尔％以上。
[0113]
[化学式5]
[0114][0115]
式中，xi1表示o或nh，优选为o。
[0116]
ri1表示氢原子或甲基。
[0117]
li1表示2价的连接基团。作为2价的连接基团，可举出烃基、杂环基、
‑
nh
‑
、
‑
so
‑
、
‑
so2‑
、
‑
co
‑
、
‑
o
‑
、
‑
coo
‑
、
‑
oco
‑
、
‑
s
‑
及组合这些中的两个以上而成的基团。作为烃基，可举出烷基、芳基等。杂环基可以是非芳香族的杂环基，也可以是芳香族杂环基。杂环基优选5元环或6元环。构成杂环基的杂原子的种类可举出氮原子、氧原子、硫原子等。构成杂环基的杂原子的数优选1～3。杂环基可以是单环，也可以是稠环。烃基及杂环基可以具有取代基。作为取代基，可举出烷基、芳基、羟基、卤素原子等。
[0118]
ri
10
表示取代基。作为ri
10
所表示的取代基，可举出以下所示的取代基ti，优选为烃基，更优选为可以具有芳基作为取代基的烷基。
[0119]
m表示0～2的整数，优选0或1，更优选0。
[0120]
p表示0以上的整数，优选0～4，更优选0～3，进一步优选0～2，更进一步优选0或1，尤其优选1。
[0121]
(取代基ti)
[0122]
作为取代基ti，可举出卤素原子、氰基、硝基、烃基、杂环基、
‑
orti1、
‑
corti1、
‑
coorti1、
‑
ocorti1、
‑
nrti1rti2、
‑
nhcorti1、
‑
conrti1rti2、
‑
nhconrti1rti2、
‑
nhcoorti1、
‑
srti1、
‑
so2rti1、
‑
so2orti1、
‑
nhso2rti1或
‑
so2nrti1rti2。rti1及rti2分别独立地表示氢原子、烃基或杂环基。rti1与rti2可以键合而形成环。
[0123]
作为卤素原子，可举出氟原子、氯原子、溴原子、碘原子。
[0124]
作为烃基，可举出烷基、烯基、炔基、芳基。烷基的碳原子数优选1～30，更优选1～15，进一步优选1～8。烷基可以是直链、支链、环状中的任一种，优选直链或支链，更优选支链。
[0125]
烯基的碳原子数优选2～30，更优选2～12，尤其优选2～8。烯基可以是直链、支链、环状中的任一种，优选直链或支链。
[0126]
炔基的碳原子数优选2～30，更优选2～25。炔基可以是直链、支链、环状中的任一种，优选直链或支链。
[0127]
芳基的碳原子数优选6～30，更优选6～20，进一步优选6～12。
[0128]
杂环基可以是单环，也可以是稠环。杂环基优选单环或稠合数为2～4的稠环。构成
1
‑
2)。树脂i还具有重复单元i1
‑
2的情况下，可获得提高感光性树脂组合物的溶剂溶解性的效果。(甲基)丙烯酸烷基酯的烷基部位的碳原子数优选为3～10，更优选为3～8，进一步优选为3～6。作为(甲基)丙烯酸烷基酯的优选的具体例，可举出(甲基)丙烯酸正丁酯、(甲基)丙烯酸乙酯、丙烯酸2
‑
乙基己酯等，从容易获得更优异的溶剂溶解性的理由考虑，优选为(甲基)丙烯酸正丁酯。树脂i的所有重复单元中的重复单元i 1
‑
2的含量优选为5莫耳％以上，更优选为10莫耳％以上，进一步优选为15莫耳％以上。
[0148]
树脂i优选还含有具有酸基的重复单元。根据该方式，可获得提高感光性树脂组合物的显影性的效果。树脂i的所有重复单元中的具有酸基的重复单元的含量优选为5摩尔％以上，更优选为10摩尔％以上，进一步优选为15摩尔％以上。上限优选为60摩尔％以下，更优选为50摩尔％以下。含有具有酸基的重复单元的树脂i也可以是碱溶性树脂。
[0149]
树脂i优选还含有具有含烯属不饱和键的基团的重复单元。树脂i的所有重复单元中的具有含烯属不饱和键的基团的重复单元的含量优选为5摩尔％以上，更优选为10摩尔％以上，进一步优选为15摩尔％以上。上限优选为50摩尔％以下，更优选为40摩尔％以下。
[0150]
本发明的感光性树脂组合物也优选含有具有芳香族羧基的树脂(以下，也称为树脂ac)。通过使用树脂ac，能够形成不易产生显影时的颜料的褪色并且具有优异的显影性的固化膜。
[0151]
树脂ac中，芳香族羧基可以包含在重复单元的主链上，也可以包含在重复单元的侧链上。从容易更显著地获得上述的效果的理由考虑，芳香族羧基优选包含在重复单元的主链上。详细内容虽不明确，但是可推测为通过在主链附近存在芳香族羧基，可以更提高这些特性。另外，本说明书中，芳香族羧基是指具有在芳香族环键合1个以上羧基的结构的基团。芳香族羧基中，在芳香族环上所键合的羧基的数优选为1～4个，更优选为1～2个。
[0152]
树脂ac优选为含有选自由式(b
‑
1)表示的重复单元及由式(b
‑
10)表示的重复单元中的至少一种重复单元的树脂。
[0153]
[化学式8]
[0154][0155]
式(b
‑
1)中，ar1表示含有芳香族羧基的基团，l1表示
‑
coo
‑
或
‑
conh
‑
，l2表示2价的连接基团。
[0156]
式(b
‑
10)中，ar
10
表示含有芳香族羧基的基团，l
11
表示
‑
coo
‑
或
‑
conh
‑
，l
12
表示3价的连接基团，p
10
表示聚合物链。
[0157]
首先，对式(b
‑
1)进行说明。式(b
‑
1)中，作为含有ar1所表示的芳香族羧基的基团，可举出源自芳香族三羧酸酐的结构、源自芳香族四羧酸酐的结构等。作为芳香族三羧酸酐及芳香族四羧酸酐，可举出下述结构的化合物。
[0158]
[化学式9]
[0159][0160]
上述式中，q1表示单键、
‑
o
‑
、
‑
co
‑
、
‑
cooch2ch2oco
‑
、
‑
so2‑
、
‑
c(cf3)2‑
、由下述式(q
‑
1)表示的基团或由下述式(q
‑
2)表示的基团。
[0161]
[化学式10]
[0162][0163]
作为含有ar1所表示的芳香族羧基的基团的具体例，可举出由式(ar
‑
1)表示的基团、由式(ar
‑
2)表示的基团、由式(ar
‑
3)表示的基团等。
[0164]
[化学式11]
[0165][0166]
式(ar
‑
1)中，n1表示1～4的整数，优选为1或2，更优选为2。
[0167]
式(ar
‑
2)中，n2表示1～8的整数，优选为1～4的整数，更优选为1或2，进一步优选为2。
[0168]
式(ar
‑
3)中，n3及n4分别独立地表示0～4的整数，优选为0～2的整数，更优选为1或2，进一步优选为1。其中，n3及n4中的至少一个为1以上的整数。
[0169]
式(ar
‑
3)中，q1表示单键、
‑
o
‑
、
‑
co
‑
、
‑
cooch2ch2oco
‑
、
‑
so2‑
、
‑
c(cf3)2‑
、由上述式(q
‑
1)表示的基团或由上述式(q
‑
2)表示的基团。
[0170]
式(b
‑
1)中，l1表示
‑
coo
‑
或
‑
conh
‑
，优选表示
‑
coo
‑
。
[0171]
式(b
‑
1)中，作为l2所表示的2价的连接基团，可举出亚烷基、亚芳基、
‑
o
‑
、
‑
co
‑
、
‑
coo
‑
、
‑
oco
‑
、
‑
nh
‑
、
‑
s
‑
及组合这些中的2种以上而成的基团。亚烷基的碳原子数优选1～30，更优选1～20，进一步优选1～15。亚烷基可以是直链、支链、环状中的任一种。亚芳基的碳原子数优选6～30，更优选6～20，进一步优选6～10。亚烷基及亚芳基可以具有取代基。作为取代基，可举出羟基等。l2所表示的2价的连接基团优选为由
‑
o
‑
l
2a
‑
o
‑
表示的基团。l
2a
可举出亚烷基；亚芳基；组合亚烷基与亚芳基而成的基团；组合选自亚烷基及亚芳基中的至少1种与选自
‑
o
‑
、
‑
co
‑
、
‑
coo
‑
、
‑
oco
‑
、
‑
nh
‑
及
‑
s
‑
中的至少1种而成的基团等。亚烷基的碳原子数优选1～30，更优选1～20，进一步优选1～15。亚烷基可以是直链、支链、环状中的任一种。亚烷基及亚芳基可以具有取代基。作为取代基，可举出羟基等。
[0172]
接着，对式(b
‑
10)进行说明。式(b
‑
10)中，作为含有ar
10
所表示的芳香族羧基的基团，与式(b
‑
1)的ar1的含义相同，优选的范围也相同。
[0173]
式(b
‑
10)中，l
11
表示
‑
coo
‑
或
‑
conh
‑
，优选表示
‑
coo
‑
。
[0174]
式(b
‑
10)中，作为l
12
所表示的3价的连接基团，可举出烃基、
‑
o
‑
、
‑
co
‑
、
‑
coo
‑
、
‑
oco
‑
、
‑
nh
‑
、
‑
s
‑
及组合这些中的两种以上而成的基团。烃基可举出脂肪族烃基、芳香族烃基。脂肪族烃基的碳原子数优选1～30，更优选1～20，进一步优选1～15。脂肪族烃基可以是直链、支链、环状中的任一种。芳香族烃基的碳原子数优选6～30，更优选6～20，进一步优选6～10。烃基可以具有取代基。作为取代基，可举出羟基等。l
12
所表示的3价的连接基团优选为由下述式(l12
‑
1)表示的基团，更优选为由式(l12
‑
2)表示的基团。
[0175]
[化学式12]
[0176][0177]
l
12a
及l
12b
分别表示3价的连接基团，x1表示s，*1表示与式(b
‑
10)的l
11
的键合位置，*2表示与式(b
‑
10)的p
10
的键合位置。
[0178]
作为l
12a
及l
12b
所表示的3价的连接基团，可举出烃基；组合烃基与选自
‑
o
‑
、
‑
co
‑
、
‑
coo
‑
、
‑
oco
‑
、
‑
nh
‑
及
‑
s
‑
中的至少1种而成的基团等。
[0179]
式(b
‑
10)中，p
10
表示聚合物链。p
10
所表示的聚合物链优选具有选自聚(甲基)丙烯酸重复单元、聚醚重复单元、聚酯重复单元及多元醇重复单元中的至少1种重复单元。聚合物链p
10
的重均分子量优选500～20000。下限优选1000以上。上限优选10000以下，更优选5000以下，进一步优选3000以下。若p
10
的重均分子量在上述范围内，则组合物中的颜料的分散性良好。具有芳香族羧基的树脂为具有由式(b
‑
10)表示的重复单元的树脂的情况下，该树脂可优选地用作分散剂。
[0180]
本发明的感光性树脂组合物也优选使用由式(op1)表示的结构的树脂(以下，也称为树脂op)。该树脂可优选地用作分散剂。
[0181]
[化学式13]
[0182]
[0183]
式中，rp4表示数均分子量为400～30000且具有含烯属不饱和键的基团的聚醚残基和/或聚酯残基，y表示1～2的数。
[0184]
rp4的数均分子量更优选为400～10000，进一步优选为400～3000。若rp4的数均分子量在上述范围内，则颜料的分散性良好，这些树脂可优选地用作分散剂。
[0185]
作为rp4所表示的具有含烯属不饱和键的基团的聚醚残基和/或聚酯残基，可举出具有苯乙烯基、(甲基)丙烯酰基、氰基丙烯酰基、乙烯基醚基等的聚醚残基和/或聚酯残基。
[0186]
rp4优选为由下述式(rp
‑
1)表示的基团。
[0187]
‑
rp
12
‑
o
‑
rp
13
‑
(o
‑
rp
14
)
s
[0188]
式中，rp
12
表示亚烷基，rp
13
表示3价以上的多元醇残基，rp
14
表示(甲基)丙烯酰基或氰基丙烯酰基，s表示2以上。
[0189]
rp
12
优选碳原子数8以下的亚烷基。并且，从颜料分散性的观点考虑，优选s为2以上。该情况下，rp
14
可以使用彼此不同的基团。进一步优选s为2～5，尤其优选2。
[0190]
作为rp
13
所表示的3价以上的多元醇，可举出甘油、丙醇、季戊四醇、二季戊四醇等。尤其优选3～6价的多元醇。
[0191]
树脂op中，rp4可以是单独一种磷酸酯，也可以使用多个由不同rp4构成的磷酸酯。并且，树脂op可以是仅为式(op1)中的y为1的树脂，也可以是式(op1)中的y为1的树脂与式(op1)中的y为2的树脂的混合物。并且，若由式(op1)表示的化合物的rp4为数均分子量为400～10000(更优选为400～3000)的聚己内酯残基，则颜料分散性变得良好，因此优选。
[0192]
本发明的感光性树脂组合物能够含有作为分散剂的树脂。作为分散剂，可举出酸性分散剂(酸性树脂)、碱性分散剂(碱性树脂)。在此，酸性分散剂(酸性树脂)表示酸基的量多于碱基的量的树脂。作为酸性分散剂(酸性树脂)，将酸基的量与碱基的量的总量设为100摩尔％时，优选酸基的量为70摩尔％以上的树脂。酸性分散剂(酸性树脂)所具有的酸基优选羧基。酸性分散剂(酸性树脂)的酸值优选10～105mgkoh/g。并且，碱性分散剂(碱性树脂)表示碱基的量多于酸基的量的树脂。作为碱性分散剂(碱性树脂)，将酸基的量与碱基的量的总量设为100摩尔％时，优选碱性基的量超过50摩尔％的树脂。碱性分散剂所具有的碱基优选氨基。
[0193]
用作分散剂的树脂优选为具有上述的胺值的树脂。
[0194]
用作分散剂的树脂也优选为接枝树脂。关于接枝树脂的详细内容，能够参考日本特开2012
‑
255128号公报的0025～0094段的记载，且该内容被编入本说明书中。
[0195]
用作分散剂的树脂也优选为在主链及侧链中的至少一处包含氮原子的聚亚胺系分散剂。作为聚亚胺系分散剂，优选具有主链及侧链且在主链及侧链中的至少一处具有碱性氮原子的树脂，该主链包含具有pka14以下的官能团的部分结构，该侧链的原子数为40～10000。碱性氮原子只要是呈碱性的氮原子，则并没有特别限制。关于聚亚胺系分散剂，能够参考日本特开2012
‑
255128号公报的0102～0166段中的记载，且该内容被编入本说明书中。
[0196]
用作分散剂的树脂也优选为具有多个聚合物链键合于核部的结构的树脂。作为这种树脂，例如可举出树状聚合物(包括星型聚合物)。并且，作为树状聚合物的具体例，可举出日本特开2013
‑
043962号公报的0196～0209段中所记载的高分子化合物c
‑
1～c
‑
31等。
[0197]
用作分散剂的树脂也优选为含有在侧链上具有含烯属不饱和键的基团的重复单元的树脂。在树脂的所有重复单元中，在侧链上具有含烯属不饱和键的基团的重复单元的
含量优选为10摩尔％以上，更优选为10～80摩尔％，进一步优选为20～70摩尔％。并且，分散剂也能够使用日本特开2018
‑
087939号公报中所记载的树脂。
[0198]
分散剂也能够作为市售品而获得，作为这些具体例，可举出byk japan k.k.制的disperbyk系列、lubrizol japan limited.制的solsperse系列、basf公司制的efka系列、ajinomoto fine
‑
techno co.,inc.制的ajisper系列等。并且，也能够将日本特开2012
‑
137564号公报的0129段中所记载的产品、日本特开2017
‑
194662号公报的0235段中所记载的产品用作分散剂。
[0199]
感光性树脂组合物的总固体成分中的树脂的含量优选为10～50质量％。上限优选为40质量％以下，更优选为30质量％以下。下限优选为15质量％以上，更优选为20质量％以上。
[0200]
并且，本发明的感光性树脂组合物中所包含的树脂中的碱溶性树脂的含量优选为10～100质量％，更优选为20～100质量％，进一步优选为30～100质量％。
[0201]
并且，本发明的感光性树脂组合物中所含的树脂中的具有胺值的树脂的含量优选为0～100质量％。上限优选为90质量％以下，更优选为80质量％以下。下限优选为10质量％以上，进一步优选为20质量％以上。
[0202]
并且，本发明的感光性树脂组合物中作为树脂含有分散剂的情况下，分散剂的含量相对于特定酞菁颜料100质量份，优选为10～100质量份。上限优选为80质量份以下，更优选为60质量份以下。下限优选为20质量份以上，进一步优选为30质量份以上。并且，分散剂中的具有胺值的树脂的含量优选为0～100质量％，更优选为10～100质量％，进一步优选为20～100质量％。并且，树脂中的分散剂的含量优选为10～100质量％。上限优选为95质量％以下，更优选为90质量％以下。下限优选为20质量％以上，进一步优选为30质量％以上。
[0203]
＜＜聚合性化合物＞＞
[0204]
本发明的感光性树脂组合物含有聚合性化合物。作为聚合性化合物，能够使用通过自由基、酸或热而能够交联的公知的化合物。本发明中，聚合性化合物例如优选为具有含烯属不饱和键的基团的化合物。作为含烯属不饱和键的基团，可举出乙烯基、(甲基)烯丙基、(甲基)丙烯酰基等。本发明中所使用的聚合性化合物优选为自由基聚合性化合物。
[0205]
作为聚合性化合物，可以是单体、预聚物、低聚物等化学形态中的任一种，优选单体。聚合性化合物的分子量优选100～3000。上限优选2000以下，更优选1500以下，进一步优选1000以下。下限优选150以上，更优选250以上。
[0206]
从感光性树脂组合物的经时稳定性及所获得的固化膜的耐光性等的观点考虑，单体型聚合性化合物的含烯属不饱和键的基团(以下，称为c＝c值)优选为2～14mmol/g。下限优选为3mmol/g以上，更优选为4mmol/g以上，进一步优选为5mmol/g以上。上限优选为12mmol/g以下，更下为10mmol/g以下，进一步优选为8mmol/g以下。关于含烯属不饱和键的基团的c＝c值，通过将含烯属不饱和键的基团的1分子中所包含的含烯属不饱和键的基团的数量除以聚合性化合物的分子量来计算。
[0207]
聚合性化合物优选为包含3个以上含烯属不饱和键的基团的化合物，更优选为包含3～15个含烯属不饱和键的基团的化合物，进一步优选为包含3～6个含烯属不饱和键的基团的化合物。并且，聚合性化合物优选为3～15官能的(甲基)丙烯酸酯化合物，更优选为3～6官能的(甲基)丙烯酸酯化合物。作为聚合性化合物的具体例，可举出日本特开2009
‑
288705号公报的0095～0108段、日本特开2013
‑
029760号公报的0227段、日本特开2008
‑
292970号公报的0254～0257段、日本特开2013
‑
253224号公报的0034～0038段、日本特开2012
‑
208494号公报的0477段、日本特开2017
‑
048367号公报、日本专利第6057891号公报、日本专利第6031807号公报、日本特开2017
‑
194662号公报中所记载的化合物，这些内容被编入本说明书中。
[0208]
作为聚合性化合物，优选为二季戊四醇三丙烯酸酯(作为市售品为kayarad d
‑
330；nippon kayaku co.,ltd.制造)、二季戊四醇四丙烯酸酯(作为市售品为kayarad d
‑
320；nippon kayaku co.,ltd.制造)、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯(作为市售品为kayarad d
‑
310；nippon kayaku co.,ltd.制造)、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯(作为市售品为kayarad dpha；nippon kayaku co.,ltd.制造、nk ester a
‑
dph
‑
12e；shin
‑
nakamura chemical co.,ltd.制造)及具有经由乙二醇和/或丙二醇残基而键合有这些(甲基)丙烯酰基的结构的化合物(例如，由sartomer company,inc.制造市售的sr454、sr499)。并且，作为聚合性化合物，也能够使用二甘油eo(环氧乙烷)改性(甲基)丙烯酸酯(作为市售品为m
‑
460；toagosei co.,ltd.制造)、季戊四醇四丙烯酸酯(shin
‑
nakamura chemical co.,ltd.制造、nk ester a
‑
tmmt)、1,6
‑
己二醇二丙烯酸酯(nippon kayaku co.,ltd.制造、kayarad hdda)、rp
‑
1040(nippon kayaku co.,ltd.制造)、aronix to
‑
2349(toagosei co.,ltd.制造)、nk oligo ua
‑
7200(shin
‑
nakamura chemical co.,ltd.制造)、8uh
‑
1006、8uh
‑
1012(taisei fine chemical co,.ltd.制造)、light acrylatepob
‑
a0(kyoeisha chemical co.,ltd.制造)等。
[0209]
并且，作为聚合性化合物，也优选使用三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、三羟甲基丙烷环氧丙烷改性三(甲基)丙烯酸酯、三羟甲基丙烷环氧乙烷改性三(甲基)丙烯酸酯、异氰脲酸环氧乙烷改性三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯等3官能的(甲基)丙烯酸酯化合物。作为3官能的(甲基)丙烯酸酯化合物的市售品，可举出aronix m
‑
309、m
‑
310、m
‑
321、m
‑
350、m
‑
360、m
‑
313、m
‑
315、m
‑
306、m
‑
305、m
‑
303、m
‑
452、m
‑
450(toagosei co.,ltd.制造)、nk ester a9300、a
‑
gly
‑
9e、a
‑
gly
‑
20e、a
‑
tmm
‑
3、a
‑
tmm
‑
3l、a
‑
tmm
‑
3lm
‑
n、a
‑
tmpt、tmpt(shin
‑
nakamura chemical co.,ltd.制造)、kayarad gpo
‑
303、tmpta、the
‑
330、tpa
‑
330、pet
‑
30(nippon kayaku co.,ltd.制造)等。
[0210]
聚合性化合物也能够使用具有酸基的聚合性化合物。通过使用具有酸基的聚合性化合物，显影时容易去除未曝光部的聚合性化合物，从而能够抑制产生显影残渣。作为酸基，可举出羧基、磺酸基、磷酸基等，优选羧基。作为具有酸基的聚合性化合物的市售品，可举出aronix m
‑
305、m
‑
510、m
‑
520、aronix to
‑
2349(toagosei co.,ltd.制造)等。作为具有酸基的聚合性化合物的优选的酸值为0.1～40mgkoh/g，更优选为5～30mgkoh/g。若聚合性化合物的酸值为0.1mgkoh/g以上，则在显影液中的溶解性良好，若为40mgkoh/g以下，则有利于制造、操作。
[0211]
聚合性化合物还能够使用具有己内酯结构的聚合性化合物。关于具有己内酯结构的聚合性化合物，例如作为kayarad dpca系列而由nippon kayaku co.,ltd.市售，可举出dpca
‑
20、dpca
‑
30、dpca
‑
60、dpca
‑
120等。
[0212]
聚合性化合物也能够使用具有亚烷氧基的聚合性化合物。具有亚烷氧基的聚合性化合物优选为具有亚乙氧基和/或亚丙氧基的聚合性化合物，更优选为具有亚乙氧基的聚
合性化合物，进一步优选为具有4～20个亚乙氧基的3～6官能(甲基)丙烯酸酯化合物。作为具有亚烷氧基的聚合性化合物的市售品，例如可举出sartomer company,inc.制造的具有4个亚乙氧基的4官能(甲基)丙烯酸酯sr
‑
494、具有3个异丁烯氧基的3官能(甲基)丙烯酸酯kayarad tpa
‑
330等。
[0213]
聚合性化合物也能够使用具有芴骨架的聚合性化合物。作为具有芴骨架的聚合性化合物的市售品，可举出ogsol ea
‑
0200、ea
‑
0300(osaka gas chemicals co.,ltd.制造，具有芴骨架的(甲基)丙烯酸酯单体)等。
[0214]
作为聚合性化合物，也优选使用实质上不含甲苯等环境管制物质的化合物。作为这些化合物的市售品，可举出kayarad dpha lt、kayarad dpea
‑
12lt(nippon kayaku co.,ltd.制造)等。
[0215]
作为聚合性化合物，也优选如日本特公昭48
‑
041708号公报、日本特开昭51
‑
037193号公报、日本特公平02
‑
032293号公报、日本特公平02
‑
016765号公报中所记载的聚氨酯丙烯酸酯类；日本特公昭58
‑
049860号公报、日本特公昭56
‑
017654号公报、日本特公昭62
‑
039417号公报、日本特公昭62
‑
039418号公报中所记载的具有环氧乙烷系骨架的氨基甲酸酯化合物。并且，也优选使用日本特开昭63
‑
277653号公报、日本特开昭63
‑
260909号公报、日本特开平01
‑
105238号公报中所记载的在分子内具有氨基结构或硫醚结构的聚合性化合物。并且，聚合性化合物也能够使用ua
‑
7200(shin
‑
nakamura chemical co.,ltd.制造)、dpha
‑
40h(nippon kayaku co.,ltd.制造)、ua
‑
306h、ua
‑
306t、ua
‑
306i、ah
‑
600、t
‑
600、ai
‑
600、linc
‑
202ua(kyoeisha chemical co.,ltd.制造)等市售品。
[0216]
感光性树脂组合物的总固体成分中的聚合性化合物的含量优选为0.1～50质量％。下限更优选0.5质量％以上，进一步优选1质量％以上。上限更优选45质量％以下，进一步优选40质量％以下。聚合性化合物可以单独使用1种，也可以并用2种以上。在并用2种以上的情况下，优选它们的总计在上述范围内。
[0217]
＜＜光聚合引发剂＞＞
[0218]
本发明的感光性树脂组合物含有光聚合引发剂。作为光聚合引发剂，并无特别限制，能够从公知的光聚合引发剂中适当地选择。例如，优选对紫外线区域至可见区域的光线具有感光性的化合物。光聚合引发剂优选为光自由基聚合引发剂。
[0219]
作为光聚合引发剂，可举出卤化烃衍生物(例如，具有三嗪骨架的化合物、具有噁二唑骨架的化合物等)、酰基膦化合物、六芳基联咪唑、肟化合物、有机过氧化物、硫化合物、酮化合物、芳香族鎓盐、α
‑
羟基酮化合物、α
‑
氨基酮化合物等。从曝光灵敏度的观点而言，光聚合引发剂优选为三卤甲基三嗪(trihalo methyl triazine)化合物、苄基二甲基缩酮化合物、α
‑
羟基酮化合物、α
‑
氨基酮化合物、酰基膦化合物、氧化膦化合物、茂金属化合物、肟化合物、三芳基咪唑二聚物、鎓化合物、苯并噻唑化合物、二苯甲酮化合物、苯乙酮化合物、环戊二烯
‑
苯
‑
铁络合物、卤甲基噁二唑化合物及3
‑
芳基取代的香豆素化合物，更优选为选自肟化合物、α
‑
羟基酮化合物、α
‑
氨基酮化合物及酰基膦化合物中的化合物，进一步优选为肟化合物。作为光聚合引发剂，可举出日本特开2014
‑
130173号公报的0065～0111段、日本专利第6301489号公报中所记载的化合物，该内容被编入本说明书中。
[0220]
作为α
‑
羟基酮化合物的市售品，可举出omnirad 184、omnirad 1173、omnirad 2959、omnirad 127(以上为igm resins b.v.公司制造)、irgacure 184、irgacure 1173、
irgacure 2959、irgacure 127(以上为basf公司制造)等。作为α
‑
氨基酮化合物的市售品，omnirad 907、omnirad 369、omnirad 369e、omnirad 379eg(以上为igm resins b.v.公司制造)、irgacure 907、irgacure 369、irgacure 369e、irgacure 379eg(以上为basf公司制造)等。作为酰基膦化合物的市售品，可举出omnirad 819、omnirad tpo(以上为igm resins b.v.公司制造)、irgacure 819、irgacure tpo(以上为basf公司制造)等。
[0221]
作为肟化合物，可举出日本特开2001
‑
233842号公报中所记载的化合物、日本特开2000
‑
080068号公报中所记载的化合物、日本特开2006
‑
342166号公报中所记载的化合物、j.c.s.perkin ii(1979年、pp.1653
‑
1660)中所记载的化合物、j.c.s.perkin ii(1979年、pp.156
‑
162)中所记载的化合物、journal of photopolymer science and technology(1995年、pp.202
‑
232)中所记载的化合物、日本特开2000
‑
066385号公报中所记载的化合物、日本特开2000
‑
080068号公报中所记载的化合物、日本特表2004
‑
534797号公报中所记载的化合物、日本特开2006
‑
342166号公报中所记载的化合物、日本特开2017
‑
019766号公报中所记载的化合物、日本专利第6065596号公报中所记载的化合物、国际公开第2015/152153号中所记载的化合物、国际公开第2017/051680号中所记载的化合物、日本特开2017
‑
198865号公报中所记载的化合物、国际公开第2017/164127号的0025～0038段中所记载的化合物、国际公开第2013/167515号中所记载的化合物等。作为肟化合物的具体例，可举出3
‑
苯甲酰氧基亚氨基丁烷
‑2‑
酮、3
‑
乙酰氧基亚氨基丁烷
‑2‑
酮、3
‑
丙酰氧基亚氨基丁烷
‑2‑
酮、2
‑
乙酰氧基亚氨基戊烷
‑3‑
酮、2
‑
乙酰氧基亚氨基
‑1‑
苯基丙烷
‑1‑
酮、2
‑
苯甲酰氧基亚氨基
‑1‑
苯基丙烷
‑1‑
酮、3
‑
(4
‑
甲苯磺酰氧基)亚氨基丁烷
‑2‑
酮及2
‑
乙氧基羰氧基亚氨基
‑1‑
苯基丙烷
‑1‑
酮等。作为市售品，可举出irgacure oxe01、irgacure oxe02、irgacure oxe03、irgacure oxe04(以上为basf公司制造)、tr
‑
pbg
‑
304(changzhou tronly new electronic materials co.,ltd.制造)、adeka optomer n
‑
1919(adeka corporation制造、日本特开2012
‑
014052号公报中所记载的光聚合引发剂2)。并且，作为肟化合物，也优选使用无着色性的化合物或者透明性高且不易变色的化合物。作为市售品，可以例举adeka arkls nci
‑
730、nci
‑
831、nci
‑
930(以上，adeka corporation制造)等。
[0222]
作为光聚合引发剂，也能够使用具有芴环的肟化合物。作为具有芴环的肟化合物的具体例，可举出日本特开2014
‑
137466号公报中所记载的化合物。
[0223]
作为光聚合引发剂，也能够使用具有咔唑环的至少1个苯环成为萘环的骨架的肟化合物。作为这些肟化合物的具体例，可举出国际公开第2013/083505号中所记载的化合物。
[0224]
作为光聚合引发剂，也能够使用具有氟原子的肟化合物。作为具有氟原子的肟化合物的具体例，可举出日本特开2010
‑
262028号公报中所记载的化合物、日本特表2014
‑
500852号公报中所记载的化合物24、36～40、日本特开2013
‑
164471号公报中所记载的化合物(c
‑
3)等。
[0225]
作为光聚合引发剂，能够使用具有硝基的肟化合物。具有硝基的肟化合物也优选为二聚体。作为具有硝基的肟化合物的具体例，可举出日本特开2013
‑
114249号公报的0031～0047段、日本特开2014
‑
137466号公报的0008～0012、0070～0079段中所记载的化合物、日本专利4223071号公报的0007～0025段中所记载的化合物、adeka arkls nci
‑
831(adeka corporation制造)。
[0226]
作为光聚合引发剂，也能够使用具有苯并呋喃骨架的肟化合物。作为具体例，可举出国际公开第2015/036910号中所记载的oe
‑
01～oe
‑
75。
[0227]
以下示出本发明中优选地使用的肟化合物的具体例，但本发明并不限定于这些。
[0228]
[化学式14]
[0229][0230]
[化学式15]
[0231][0232]
肟化合物优选为在波长350～500nm范围内具有极大吸收波长的化合物，更优选为在波长360～480nm范围内具有极大吸收波长的化合物。并且，从灵敏度的观点考虑，肟化合物在波长365nm或波长405nm中的摩尔吸光系数优选高，更优选为1000～300000，进一步优选为2000～300000，尤其优选为5000～200000。化合物的摩尔吸光系数能够使用公知的方法进行测量。例如，优选利用分光光度计(varian公司制造cary
‑
5spectrophotometer)使用乙酸乙酯以0.01g/l的浓度进行测量。
[0233]
作为光聚合引发剂，也可以使用2官能或3官能以上的光自由基聚合引发剂。通过使用这种光自由基聚合引发剂，从光自由基聚合引发剂的一个分子产生两个以上的自由
彼此键合而形成的环状的吸电子基团，例如可举出含有两个羰基的6元环。
[0243]
由式(uv
‑
1)的r1、r2、r3及r4中的至少1个经由连接基团可以成为由与乙烯基键合的单体衍生的聚合物的形态。也可以是与其他单体的共聚物。
[0244]
关于由式(uv
‑
1)表示的紫外线吸收剂的取代基的说明，能够参考日本特开2009
‑
265642号公报的0024～0033段的记载，该内容被编入本说明书中。作为由式(uv
‑
1)表示的紫外线吸收剂的具体例，可举出下述结构的化合物、日本特开2009
‑
265642号公报的0034～0036段中所记载的化合物等。并且，作为由式(uv
‑
1)表示的紫外线吸收剂的市售品，可举出uv
‑
503(daito chemical co.,ltd.制造)等。
[0245]
[化学式17]
[0246][0247]
甲基二苯甲酰基化合物优选为由下述式(uv
‑
2)表示的化合物。
[0248]
[化学式18]
[0249][0250]
式(uv
‑
2)中，r
101
及r
102
各自独立地表示取代基，m1及m2分别独立地表示0～4的整数。
[0251]
作为r
101
及r
102
所表示的取代基，可举出卤素原子、氰基、硝基、烷基、芳基、杂芳基、烷氧基、芳氧基、杂芳氧基、烷硫基、芳硫基、杂芳硫基、
‑
nr
u1
r
u2
、
‑
cor
u3
、
‑
coor
u4
、
‑
ocor
u5
、
‑
nhcor
u6
、
‑
conr
u7
r
u8
、
‑
nhconr
u9
r
u10
、
‑
nhcoor
u11
、
‑
so2r
u12
、
‑
so2or
u13
、
‑
nhso2r
u14
及
‑
so2nr
u15
r
u16
。r
u1
～r
u16
分别独立地表示氢原子、碳原子数1～8的烷基或芳基。
[0252]
r
101
及r
10
2所表示的取代基优选分别独立地为烷基或烷氧基。烷基的碳原子数优选1～20，更优选1～10。烷基可举出直链、支链、环状，优选直链或支链，更优选支链。烷氧基的碳原子数优选1～20，更优选1～10。烷氧基优选直链或支链，更优选支链。
[0253]
式(uv
‑
2)中，优选r
101
及r
102
中的一个是烷基而另一个是烷氧基的组合。
[0254]
m1及m2分别独立地表示0～4。m1及m2优选分别独立地为0～2，更优选0～1，尤其优选1。
[0255]
作为由式(uv
‑
2)表示的化合物的具体例，可举出阿伏苯宗(avobenzone)等。
[0256]
三嗪化合物优选为由下述式(uv
‑3‑
1)、(uv
‑3‑
2)或(uv
‑3‑
3)表示的化合物。
[0257]
[化学式19]
[0258][0259]
式中，r
d1
独立地表示氢原子、碳原子数1～15的烷基、碳原子数3～8的烯基或碳原子数6～18的芳基、碳原子数7～18的烷基芳基或碳原子数7～18的芳烷基。烷基、烯基、芳基、烷基芳基及芳烷基可以具有取代基。作为取代基，可举出在上述的取代基ti中所说明的基团。
[0260]
式中，r
d2
～r
d9
分别独立地表示氢原子、卤素原子、羟基、碳原子数1～15的烷基、碳原子数3～8的烯基或碳原子数6～18的芳基、碳原子数7～18的烷基芳基或碳原子数7～18的芳烷基。烷基、烯基、芳基、烷基芳基及芳烷基可以具有取代基。作为取代基，可举出在上述的取代基ti中所说明的基团。
[0261]
作为三嗪化合物的具体例，可举出2
‑
[4
‑
[(2
‑
羟基
‑3‑
十二烷氧基丙基)氧基]
‑2‑
羟基苯基]
‑
4,6
‑
双(2,4
‑
二甲基苯基)
‑
1,3,5
‑
三嗪、2
‑
[4
‑
[(2
‑
羟基
‑3‑
十三烷基氧基丙基)氧基]
‑2‑
羟基苯基]
‑
4,6
‑
双(2,4
‑
二甲基苯基)
‑
1,3,5
‑
三嗪、2
‑
(2,4
‑
二羟基苯基)
‑
4,6
‑
双(2,4
‑
二甲基苯基)
‑
1,3,5
‑
三嗪等单(羟基苯基)三嗪化合物；2,4
‑
双(2
‑
羟基
‑4‑
丙氧基苯基)
‑6‑
(2,4
‑
二甲基苯基)
‑
1,3,5
‑
三嗪、2,4
‑
双(2
‑
羟基
‑3‑
甲基
‑4‑
丙氧基苯基)
‑6‑
(4
‑
甲基苯基)
‑
1,3,5
‑
三嗪、2,4
‑
双(2
‑
羟基
‑3‑
甲基
‑4‑
己氧基苯基)
‑6‑
(2,4
‑
二甲基苯基)
‑
1,3,5
‑
三嗪等双(羟基苯基)三嗪化合物；2,4
‑
双(2
‑
羟基
‑4‑
丁氧基苯基)
‑6‑
(2,4
‑
二丁氧基苯基)
‑
1,3,5
‑
三嗪、2,4,6
‑
三(2
‑
羟基
‑4‑
辛氧基苯基)
‑
1,3,5
‑
三嗪、2,4,6
‑
三[2
‑
羟基
‑4‑
(3
‑
丁氧基
‑2‑
羟基丙氧基)苯基]
‑
1,3,5
‑
三嗪等三(羟基苯基)三嗪化合物等。作为三嗪化合物的市售品，可举出tinuvin 400、tinuvin 405、tinuvin 460、tinuvin 477、tinuvin 479(以
上为basf公司制造)等。
[0262]
苯并三唑化合物优选为由下述式(uv
‑
4)表示的化合物。
[0263]
[化学式20]
[0264][0265]
式中，r
e1
～r
e3
独立地表示氢原子、卤素原子、羟基、碳原子数1～9的烷基、碳原子数1～9的烷氧基、碳原子数7～18的烷基芳基或碳原子数7～18的芳烷基。烷基、烷基芳基及芳烷基可以具有取代基。作为取代基，可举出在上述的取代基ti中所说明的基团，优选碳原子数1～9的烷氧羰基。
[0266]
作为苯并三唑化合物的具体例，可举出2
‑
(2
’‑
羟基
‑3’
,5
’‑
二
‑
叔丁基苯基)
‑5‑
氯苯并三唑、2
‑
(2
’‑
羟基
‑3’‑
叔丁基
‑5’‑
甲基苯基)
‑5‑
氯苯并三唑、2
‑
(2
’‑
羟基
‑3’‑
叔戊基
‑5’‑
异丁基苯基)
‑5‑
氯苯并三唑、2
‑
(2
’‑
羟基
‑3’‑
异丁基
‑5’‑
甲基苯基)
‑5‑
氯苯并三唑、2
‑
(2
’‑
羟基
‑3’‑
异丁基
‑5’‑
丙基苯基)
‑5‑
氯苯并三唑、2
‑
(2
’‑
羟基
‑3’
,5
’‑
二
‑
叔丁基苯基)苯并三唑、2
‑
(2
’‑
羟基
‑5’‑
甲基苯基)苯并三唑、2
‑
[2
’‑
羟基
‑5’‑
(1,1,3,3
‑
四甲基)苯基]苯并三唑、2
‑
(2
‑
羟基
‑5‑
叔丁基苯基)
‑
2h
‑
苯并三唑、3
‑
(2h
‑
苯并三唑
‑2‑
基)
‑5‑
(1,1
‑
二甲基乙基)
‑4‑
羟基、2
‑
(2h
‑
苯并三唑
‑2‑
基)
‑
4,6
‑
双(1
‑
甲基
‑1‑
苯基乙基)苯酚、2
‑
(2h
‑
苯并三唑
‑2‑
基)
‑6‑
(1
‑
甲基
‑1‑
苯基乙基)
‑4‑
(1,1,3,3
‑
四甲基丁基)苯酚等。作为市售品，可举出tinuvin ps、tinuvin 99
‑
2、tinuvin 109、tinuvin 326、tinuvin 328、tinuvin 384
‑
2、tinuvin 900、tinuvin 928、tinuvin 171、tinuvin 1130(以上为basf公司制造)等。作为苯并三唑化合物，也可以使用miyoshi oil&fat co.,ltd.制造的myua系列。
[0267]
作为二苯甲酮化合物，可举出2,2
’‑
二羟基
‑4‑
甲氧基二苯甲酮、2,2
’‑
二羟基
‑
4,4
’‑
二甲氧基二苯甲酮、2,2’,4,4
’‑
四羟基二苯甲酮、2
‑
羟基
‑4‑
甲氧基二苯甲酮、2,4
‑
二羟基二苯甲酮、2
‑
羟基
‑4‑
辛氧基二苯甲酮等。作为二苯甲酮化合物的市售品，可举出uvinul a、uvinul 3049、uvinul 3050(以上为basf公司制造)等。
[0268]
作为水杨酸酯化合物，可举出水杨酸苯酯、水杨酸对辛基苯酯、水杨酸对叔丁基苯酯等。
[0269]
作为香豆素化合物，例如可举出香豆素
‑
4、4
‑
羟基香豆素、7
‑
羟基香豆素等。
[0270]
作为丙烯腈化合物，可举出2
‑
氰基
‑
3,3
‑
二苯基丙烯酸乙酯、2
‑
氰基
‑
3,3
‑
二苯基丙烯酸2
‑
乙基己酯等。
[0271]
感光性树脂组合物的总固体成分中的紫外线吸收剂的含量为0.1～10质量％。上限优选为9.5质量％以下，更优选为9质量％以下。下限优选为0.5质量％以上，更优选为1质量％以上。只要紫外线吸收剂的含量为0.1质量％以上，则能够提高所获得的固化膜的耐光性。并且，只要紫外线吸收剂的含量为10质量％以下，则能够形成与其他色相的像素的混色的发生得到抑制的固化膜。另外，使用感光性树脂组合物利用光微影法形成像素时，也能够
提高感光性树脂组合物的解析度，并且也能够形成矩形性良好的像素。
[0272]
本发明的感光性树脂组合物相对于光聚合引发剂100质量份，优选含有1～200质量份的紫外线吸收剂。根据该方式，能够以更高水准兼具解析度及耐光性。上述紫外线吸收剂的含量的上限优选为190质量份以下，更优选为170质量份以下。下限优选为5质量份以上，更优选为10质量份以上。
[0273]
本发明的感光性树脂组合物相对于聚合性化合物100质量份，优选含有0.1～100质量份的紫外线吸收剂。根据该方式，能够以更高水准兼具解析度及耐光性。上述紫外线吸收剂的含量的上限优选为80质量份以下，更优选为50质量份以下。下限优选为1质量份以上，更优选为5质量份以上。
[0274]
本发明的感光性树脂组合物中所含有的紫外线吸收剂可以仅为1种，也可以是2种以上。本发明的感光性树脂组合物含有2种以上紫外线吸收剂的情况下，这些合计在上述范围内。
[0275]
＜＜溶剂＞＞
[0276]
本发明的感光性树脂组合物含有溶剂。作为溶剂，只要满足各成分的溶解性和感光性树脂组合物的涂布性，则基本上并无限制。作为溶剂，可举出有机溶剂。作为有机溶剂，可举出酯系溶剂、酮系溶剂、醇系溶剂、酰胺系溶剂、醚系溶剂、烃系溶剂等。关于这些详细内容，能够参考国际公开第2015/166779号的0223段，该内容被编入本说明书中。并且，也能够优选地使用环状烷基经取代的酯系溶剂、环状烷基经取代的酮系溶剂。作为有机溶剂的具体例，可举出聚乙二醇单甲醚、二氯甲烷、3
‑
乙氧基丙酸甲酯、3
‑
乙氧基丙酸乙酯、乙基溶纤剂乙酸酯、乳酸乙酯、二乙二醇二甲醚、乙酸丁酯、3
‑
甲氧基丙酸甲酯、2
‑
庚酮、环己酮、乙酸环己酯、环戊酮、乙基卡必醇乙酸酯、丁基卡必醇乙酸酯、丙二醇单甲醚、丙二醇单甲醚乙酸酯、3
‑
甲氧基
‑
n,n
’‑
二甲基丙酰胺、3
‑
丁氧基
‑
n,n
’‑
二甲基丙酰胺等。其中，从环境方面等原因考虑，有时存在降低作为有机溶剂的芳香族烃类(苯、甲苯、二甲苯、乙基苯等)为佳的情况(例如，相对于有机溶剂总量，也能够设为50质量ppm(parts per million：百万分之一)以下，也能够设为10质量ppm以下，也能够设为1质量ppm以下)。
[0277]
本发明中，优选使用金属含量少的有机溶剂，有机溶剂的金属含量优选为例如10质量ppb(parts per billion：十亿分之一)以下。根据需要，可以使用质量ppt(兆分率)级别的有机溶剂，这种有机溶剂例如，由toyo gosei co.,ltd.提供(化学工业日报、2015年11月13日)。
[0278]
作为从有机溶剂中去除金属等杂质的方法，例如，能够列举蒸馏(分子蒸馏或薄膜蒸馏等)和使用过滤器进行的过滤。作为过滤中所使用的过滤器的过滤器孔径，优选10μm以下，更优选5μm以下，进一步优选3μm以下。过滤器的材质优选聚四氟乙烯、聚乙烯或尼龙。
[0279]
有机溶剂可以含有异构体(原子数相同但结构不同的化合物)。并且，异构体可以仅包含一种，也可以包含多种。
[0280]
有机溶剂中的过氧化物的含有率优选为0.8mmol/l以下，更优选实质上不含过氧化物。
[0281]
感光性树脂组合物中的溶剂的含量优选为10～95质量％，更优选为20～90质量％，进一步优选为30～90质量％。
[0282]
并且，从环境管制的观点考虑，本发明的感光性树脂组合物优选实质上不含环境
管制物质。另外，本发明中，实质上不含环境管制物质是指感光性树脂组合物中的环境管制物质的含量为50质量ppm以下，优选为30质量ppm以下，进一步优选为10质量ppm以下，尤其优选为1质量ppm以下。环境管制物质例如可举出苯；甲苯、二甲苯等烷基苯类；氯苯等卤化苯类等。这些根据reach(registration evaluation authorization and restriction of chemicals)规定、prtr(pollutant release and transfer register)法、voc(volatile organic compounds)管制等作为环境管制物质而注册，使用量和操作方法被严格管制。在制造感光性树脂组合物中所使用的各成分等时，这些化合物有时用作溶剂，有时作为残留溶剂混入于感光性树脂组合物中。从对人的安全性及考虑对环境的观点而言，这些物质尽优选可能减少。
[0283]
作为减少环境管制物质的方法，可举出对系统内部进行加热或减压来使其达到环境管制物质的沸点以上而从系统内部对环境管制物质进行蒸馏来减少的方法。并且，对少量的环境管制物质进行蒸馏时，为了提高效率与具有这些溶剂相同的沸点的溶剂共沸也有效。并且，含有具有自由基聚合性的化合物时，为了抑制在减压蒸馏中进行自由基聚合反应而在分子间进行交联，也可以添加聚合抑制剂等而进行减压蒸馏。这些蒸馏去除方法能够在原料阶段、使原料反应的产物(例如聚合后的树脂溶液和多官能单体溶液)的阶段或通过混合这些化合物而制作的感光性树脂组合物的阶段等中的任一阶段中进行。
[0284]
＜＜颜料衍生物＞＞
[0285]
本发明的感光性树脂组合物能够含有颜料衍生物。颜料衍生物用作颜料的分散助剂。作为颜料衍生物，可举出具有使显色团的一部分被酸基或碱基取代而成的结构的化合物。
[0286]
作为构成颜料衍生物的显色团，可举出喹啉骨架、苯并咪唑酮骨架、二酮吡咯并吡咯骨架、偶氮骨架、酞菁骨架、蒽醌骨架、喹吖啶酮骨架、二噁嗪骨架、紫环酮骨架、苝骨架、硫靛骨架、异吲哚啉骨架、异吲哚啉酮骨架、喹酞酮骨架、还原骨架、金属络合物系骨架等，优选喹啉骨架、苯并咪唑酮骨架、二酮吡咯并吡咯骨架、偶氮骨架、喹酞酮骨架、异吲哚啉骨架及酞菁骨架，更优选偶氮骨架及苯并咪唑酮骨架。
[0287]
作为颜料衍生物所具有的酸基，可举出羧基、磺酸基、磷酸基及它们的盐。作为构成盐的原子或原子团，可举出碱金属离子(li

、na

、k

等)、碱土类金属离子(ca
2
、mg
2
等)、铵离子、咪唑鎓离子、吡啶鎓离子、鏻离子等。
[0288]
作为颜料衍生物所具有的碱基，可举出氨基、吡啶基及它们的盐、铵基的盐以及邻苯二甲酰亚胺甲基。作为氨基，可举出
‑
nh2、二烷基氨基、烷基芳基氨基、二芳基氨基、环状氨基等。作为构成盐的原子或原子团，可举出氢氧根离子、卤素离子、羧酸根离子、磺酸根离子、苯氧根离子等。
[0289]
作为颜料衍生物，也能够使用可视透明性优异的颜料衍生物(以下，也称为透明颜料衍生物)。透明颜料衍生物在波长400～700nm范围内的摩尔吸光系数的最大值(εmax)优选为3000l
·
mol
‑1·
cm
‑1以下，更优选为1000l
·
mol
‑1·
cm
‑1以下，进一步优选为100l
·
mol
‑1·
cm
‑1以下。εmax的下限例如为1l
·
mol
‑1·
cm
‑1以上，也可以是10l
·
mol
‑1·
cm
‑1以上。
[0290]
作为颜料衍生物的具体例，可举出日本特开昭56
‑
118462号公报、日本特开昭63
‑
264674号公报、日本特开平01
‑
217077号公报、日本特开平03
‑
009961号公报、日本特开平03
‑
026767号公报、日本特开平03
‑
153780号公报、日本特开平03
‑
045662号公报、日本特开
平04
‑
285669号公报、日本特开平06
‑
145546号公报、日本特开平06
‑
212088号公报、日本特开平06
‑
240158号公报、日本特开平10
‑
030063号公报、日本特开平10
‑
195326号公报、国际公开第2011/024896号的0086～0098段、国际公开第2012/102399号的0063～0094段、国际公开第2017/038252号的0082段、日本特开2015
‑
151530号公报的0171段、日本特开2011
‑
252065号公报的0162～0183段、日本特开2003
‑
081972号公报、日本专利第5299151号公报、日本特开2015
‑
172732号公报、日本特开2014
‑
199308号公报、日本特开2014
‑
085562号公报、日本特开2014
‑
035351号公报、日本特开2008
‑
081565号公报中所记载的化合物。
[0291]
颜料衍生物的含量相对于颜料100质量份优选为1～30质量份。下限优选为2质量份以上，更优选为3质量份以上。上限优选为25质量份以下，更优选为20质量份以下，进一步优选为15质量份以下。颜料衍生物可以仅使用1种，也可以并用2种以上。并用2种以上时，优选其总量在上述范围内。
[0292]
＜＜具有环氧基的化合物＞＞
[0293]
本发明的感光性树脂组合物能够含有具有环氧基的化合物(以下，还称为环氧化合物)。作为环氧化合物，可举出在1分子内具有1个以上环氧基的化合物，优选具有两个以上环氧基的化合物。环氧化合物优选在1分子内具有1～100个环氧基。环氧基的数量的上限例如能够设为10个以下，也能够设为5个以下。环氧基的数量的下限优选两个以上。作为环氧基化合物，也能够使用日本特开2013
‑
011869号公报的0034～0036段、日本特开2014
‑
043556号公报的0147～0156段、日本特开2014
‑
089408号公报的0085～0092段中所记载的化合物、日本特开2017
‑
179172号公报中所记载的化合物。这些内容被编入本说明书中。
[0294]
环氧化合物可以是低分子化合物(例如，分子量小于2000，进而分子量小于1000)，也可以是高分子化合物(macromolecule)(例如，分子量1000以上，聚合物的情况下，重均分子量为1000以上)。环氧化合物的重均分子量优选200～100000，更优选500～50000。重均分子量的上限优选10000以下，更优选5000以下，进一步优选3000以下。
[0295]
作为环氧化合物的市售品，例如可举出ehpe3150(daicel corporation制造)、epiclon n
‑
695(dic corporation制造)等。
[0296]
感光性树脂组合物的总固体成分中的环氧化合物的含量优选0.1～20质量％。下限例如优选0.5质量％以上，更优选1质量％以上。上限例如优选15质量％以下，进一步优选10质量％以下。感光性树脂组合物中所含的环氧化合物可以仅为1种，也可以是2种以上。2种以上的情况下，优选其总量在上述范围内。
[0297]
＜＜含呋喃基的化合物＞＞
[0298]
本发明的感光性树脂组合物优选含有包含呋喃基的化合物(以下，也称为含呋喃基的化合物)。根据该方式，能够设为在低温下固化性优异的感光性树脂组合物。
[0299]
含呋喃基的化合物含呋喃基(从呋喃去除1个氢原子而成的基团)，则其结构并无特别限定。关于含呋喃基的化合物，能够使用日本特开2017
‑
194662号公报的0049～0089段中所记载的化合物。并且，也能够使用日本特开2000
‑
233581号公报、日本特开1994
‑
271558号公报、日本特开1994
‑
293830号公报、日本特开1996
‑
239421号公报、日本特开1998
‑
508655号公报、日本特开2000
‑
001529号公报、日本特开2003
‑
183348号公报、日本特开2006
‑
193628号公报、日本特开2007
‑
186684号公报、日本特开2010
‑
265377号公报、日本特开2011
‑
170069号公报等中所记载的化合物。
[0300]
含呋喃基的化合物可以是单体，也可以是聚合物。从提高所获得的固化膜的耐久性等的理由考虑，优选为聚合物。聚合物的情况下，重均分子量优选2000～70000。上限优选60000以下，更优选50000以下。下限优选3000以上，更优选4000以上，进一步优选5000以上。另外，聚合物型含呋喃基的化合物为相当于本发明的感光性树脂组合物中的树脂的成分。
[0301]
作为含单体型呋喃基的化合物(以下也称为含呋喃基的单体)，可举出由下述式(fur
‑
1)表示的化合物。
[0302]
[化学式21]
[0303][0304]
式中，rf1表示氢原子或甲基，rf2表示2价的连接基团。
[0305]
作为rf2所表示的2价的连接基团，可举出亚烷基、亚芳基、
‑
o
‑
、
‑
co
‑
、
‑
coo
‑
、
‑
oco
‑
、
‑
nh
‑
、
‑
s
‑
及组合它们中的2种以上而成的基团。亚烷基的碳原子数优选1～30，更优选1～20，进一步优选1～15。亚烷基可以是直链、支链、环状中的任一种。亚芳基的碳原子数优选6～30，更优选6～20，进一步优选6～10。亚烷基及亚芳基可以具有取代基。作为取代基，可举出羟基等。
[0306]
含呋喃基的单体优选为由下述式(fur
‑1‑
1)表示的化合物。
[0307]
[化学式22]
[0308][0309]
式中，rf1表示氢原子或甲基，rf
11
表示
‑
o
‑
或
‑
nh
‑
，rf
12
表示单键或2价的连接基团。作为rf
12
所表示的2价的连接基团，可举出亚烷基、亚芳基、
‑
o
‑
、
‑
co
‑
、
‑
coo
‑
、
‑
oco
‑
、
‑
nh
‑
、
‑
s
‑
及组合它们中的2种以上而成的基团。亚烷基的碳原子数优选1～30，更优选1～20，进一步优选1～15。亚烷基可以是直链、支链、环状中的任一种。亚芳基的碳原子数优选6～30，更优选6～20，进一步优选6～10。亚烷基及亚芳基可以具有取代基。作为取代基，可举出羟基等。
[0310]
作为含呋喃基的单体的具体例，可举出下述结构的化合物。以下结构式中，rf1表示氢原子或甲基。
[0311]
[化学式23]
[0312][0313]
作为含聚合物型呋喃基的化合物(以下也称为含呋喃基的聚合物)，优选为含有含呋喃基的重复单元的树脂，更优选为含有源自由上述式(fur
‑
1)表示的化合物的重复单元的树脂。含呋喃基的聚合物中的呋喃基的浓度优选为每1g含呋喃基的聚合物为0.5～6.0mmol，进一步优选为1.0～4.0mmol。若呋喃基的浓度为0.5mmol以上、优选为1.0mmol以上，则容易形成耐溶剂性等优异的像素。呋喃基的浓度为6.0mmol以下，只要优选为4.0mmol以下，则感光性树脂组合物的经时稳定性良好。
[0314]
含呋喃基的聚合物除了具有呋喃基的重复单元以外，还可以含有具有酸基的重复单元和/或具有聚合性基的重复单元。作为酸基，可举出羧基、磷酸基、磺酸基、酚性羟基等。作为聚合性基，可举出乙烯基、(甲基)烯丙基、(甲基)丙烯酰基等含烯属不饱和键的基团。含呋喃基的聚合物含有具有酸基的重复单元的情况下，其酸值优选10～200mgkoh/g，更优选40～130mgkoh/g。
[0315]
含呋喃基的聚合物含有具有聚合性基的重复单元的情况下，更容易形成耐溶剂性等优异的像素。
[0316]
含呋喃基的聚合物能够通过日本特开2017
‑
194662号公报的0052～0101段中所记载的方法来制造。
[0317]
感光性树脂组合物的总固体成分中的含呋喃基的化合物的含量优选为0.1～70质量％。下限优选为2.5质量％以上，更优选为5.0质量％以上，进一步优选为7.5质量％以上。
上限优选为65质量％以下，更优选为60质量％以下，进一步优选为50质量％以下。并且，作为含呋喃基的化合物使用了含呋喃基的聚合物的情况下，感光性树脂组合物中所含的树脂中的含呋喃基的聚合物的含量优选为0.1～100质量％。下限优选为10质量份以上，更优选为15质量份以上。上限优选为90质量份以下，更优选为80质量份以下，进一步优选为70质量份以下。含呋喃基的化合物可以仅为1种，也可以是2种以上。2种以上的情况下，优选总量在上述范围内。
[0318]
＜＜硅烷偶联剂＞＞
[0319]
本发明的感光性树脂组合物能够含有硅烷偶联剂。本发明中，硅烷偶联剂是指具有水解性基和除其以外的官能团的硅烷化合物。并且，水解性基是指直接键合于硅原子并且可通过水解反应及缩合反应中的至少一种产生硅氧烷键的取代基。作为水解性基，例如可举出卤素原子、烷氧基、酰氧基等，优选烷氧基。即，硅烷偶联剂优选具有烷氧基甲硅烷基的化合物。并且，作为水解性基以外的官能团，例如可举出乙烯基、(甲基)烯丙基、(甲基)丙烯酰基、巯基、环氧基、氧杂环丁基、氨基、脲基、硫醚基、异氰酸酯基、苯基等，优选氨基、(甲基)丙烯酰基及环氧基。作为硅烷偶联剂的具体例，可举出日本特开2009
‑
288703号公报的0018～0036段中记载的化合物、日本特开2009
‑
242604号公报的0056～0066段中记载的化合物，且这些内容被编入本说明书中。
[0320]
感光性树脂组合物的总固体成分中的硅烷偶联剂的含量优选0.1～5质量％。上限优选3质量％以下，更优选2质量％以下。下限优选0.5质量％以上，更优选1质量％以上。硅烷偶联剂可以仅为1种，也可以是2种以上。2种以上的情况下，优选总量在上述范围内。
[0321]
＜＜固化促进剂＞＞
[0322]
本发明的感光性树脂组合物能够含有固化促进剂。作为固化促进剂，可举出在分子内具有两个以上巯基的多官能硫醇化合物等。多官能硫醇化合物可以以改善稳定性、臭味、分辨率、显影性、密合性等为目的而添加。多官能硫醇化合物优选为仲烷烃硫醇类，更优选为由式(t1)表示的化合物。
[0323]
式(t1)
[0324]
[化学式24]
[0325][0326]
(式(t1)中，n表示2～4的整数，l表示2～4价的连接基团。)
[0327]
式(t1)中，优选连接基团l为碳原子数2～12的脂肪族基，尤其优选n为2，l为碳原子数2～12的亚烷基。
[0328]
并且，固化促进剂还能够使用羟甲基系化合物(例如日本特开2015
‑
034963号公报的0246段中，作为交联剂而例示的化合物)、胺类、鏻盐、脒盐、酰胺化合物(以上为例如日本特开2013
‑
041165号公报的0186段中所记载的固化剂)、碱产生剂(例如，日本特开2014
‑
055114号公报中所记载的离子性化合物)、氰酸酯化合物(例如，日本特开2012
‑
150180号公报的0071段中所记载的化合物)、烷氧基硅烷化合物(例如，日本特开2011
‑
253054号公报中所记载的具有环氧基的烷氧基硅烷化合物)、鎓盐化合物(例如，在日本特开2015
‑
034963号
公报的0216段中作为酸产生剂而例示的化合物、日本特开2009
‑
180949号公报中所记载的化合物)等。
[0329]
感光性树脂组合物的总固体成分中的固化促进剂的含量优选0.3～8.9质量％，更优选0.8～6.4质量％。
[0330]
＜＜聚合抑制剂＞＞
[0331]
本发明的感光性树脂组合物能够含有聚合抑制剂。作为聚合抑制剂，可举出对苯二酚、对甲氧基苯酚、二
‑
叔丁基
‑
对甲酚、邻苯三酚、叔丁基邻苯二酚、苯醌、4,4'
‑
硫代双(3
‑
甲基
‑6‑
叔丁基苯酚)、2,2'
‑
亚甲基双(4
‑
甲基
‑6‑
叔丁基苯酚)、n
‑
亚硝基苯基羟胺盐(铵盐、亚鈰盐等)。其中，优选对甲氧基苯酚。感光性树脂组合物的总固体成分中的聚合抑制剂的含量优选0.0001～5质量％。
[0332]
＜＜表面活性剂＞＞
[0333]
本发明的感光性树脂组合物能够含有表面活性剂。作为表面活性剂，能够使用氟系表面活性剂、非离子系表面活性剂、阳离子系表面活性剂、阴离子系表面活性剂、硅系表面活性剂等各种表面活性剂。关于表面活性剂，可举出国际公开第2015/166779号的0238～0245段中所记载的表面活性剂，该内容被编入本说明书中。
[0334]
本发明中，优选表面活性剂为氟系表面活性剂。通过在感光性树脂组合物中含有氟系表面活性剂，能够更提高液体特性(尤其，流动性)，并且更能够改善省液性。并且，也能够形成厚度不均匀小的固化膜。
[0335]
氟系表面活性剂中的氟含有率优选为3～40质量％，更优选为5～30质量％，尤其优选为7～25质量％。氟含有率在该范围内的氟系表面活性剂在涂布膜的厚度的均匀性和省液性的观点而言有效，感光性树脂组合物中的溶解性也良好。
[0336]
作为氟系表面活性剂，可举出日本特开2014
‑
041318号公报的0060～0064段(对应的国际公开第2014/017669号的0060～0064段)等中所记载的表面活性剂、日本特开2011
‑
132503号公报的0117～0132段中所记载的表面活性剂，这些内容被编入本说明书中。作为氟系表面活性剂的市售品，例如可举出megaface f171、f172、f173、f176、f177、f141、f142、f143、f144、r30、f437、f475、f479、f482、f554、f780、exp、mfs
‑
330(以上为dic corporation制造)、fluorad fc430、fc431、fc171(以上为sumitomo 3mlimited制造)、surflon s
‑
382、sc
‑
101、sc
‑
103、sc
‑
104、sc
‑
105、sc
‑
1068、sc
‑
381、sc
‑
383、s
‑
393、kh
‑
40(以上为agc inc.制造)、polyfox pf636、pf656、pf6320、pf6520、pf7002(以上为omnova solutions inc.制造)等。
[0337]
并且，关于氟系表面活性剂，也优选使用具有氟化烷基或氟化亚烷基醚基的含有氟原子的乙烯基醚化合物与亲水性的乙烯基醚化合物的聚合物。这些氟系表面活性剂可举出日本特开2016
‑
216602号公报中所记载的氟系表面活性剂，该内容被编入本说明书中。
[0338]
氟系表面活性剂也能够使用嵌段聚合物。氟系表面活性剂也能够优选地使用含氟高分子化合物，该含氟高分子化合物含有：源自具有氟原子的(甲基)丙烯酸酯化合物的重复单元；及源自具有两个以上(优选5个以上)亚烷氧基(优选亚乙氧基、亚丙氧基)的(甲基)丙烯酸酯化合物的重复单元。并且，作为本发明中所使用的氟系表面活性剂，可例示日本特开2010
‑
032698号公报的0016～0037段中所记载的含氟表面活性剂或下述化合物。
[0339]
[化学式25]
[0340][0341]
上述化合物的重均分子量优选为3000～50000，例如为14000。上述化合物中，表示重复单元的比例的％为摩尔％。
[0342]
并且，氟系表面活性剂也能够使用在侧链上具有含烯属不饱和键的基团的含氟聚合物。作为具体例，可举出日本特开2010
‑
164965号公报的0050～0090段及0289～0295段中所记载的化合物、dic corporation制造的megaface rs
‑
101、rs
‑
102、rs
‑
718k、rs
‑
72
‑
k等。并且，氟系表面活性剂也能够使用日本特开2015
‑
117327号公报的0015～0158段中所记载的化合物。
[0343]
作为非离子系表面活性剂，可举出甘油、三羟甲基丙烷、三羟甲基乙烷及它们的乙氧基化物及丙氧基化物(例如，丙三醇丙氧基化物、丙三醇乙氧基化物等)、聚氧乙烯月桂基醚、聚氧乙烯硬脂基醚、聚氧乙烯油基醚、聚氧乙烯辛基苯基醚、聚氧乙烯壬基苯基醚、聚乙二醇二月桂酸酯、聚乙二醇二硬脂酸酯、脱水山梨糖醇脂肪酸酯、pluronic l10、l31、l61、l62、10r5、17r2、25r2(basf公司制造)、tetronic 304、701、704、901、904、150r1(basf公司制造)、solsperse 20000(japan lubrizol corporation制造)、ncw
‑
101、ncw
‑
1001、ncw
‑
1002(fujifilm wako pure chemical corporation制造)、pionin d
‑
6112、d
‑
6112
‑
w、d
‑
6315(takemoto oil&fat co.,ltd.制造)、olfin e1010、surfynol 104、400、440(nissin chemical co.,ltd.制造)等。
[0344]
作为硅系表面活性剂，例如可举出toray silicone dc3pa、toray silicone sh7pa、toray silicone dc11pa、toray silicone sh21pa、toray silicone sh28pa、toray silicone sh29pa、toray silicone sh30pa、toray silicone sh8400(以上为dow corning toray co.,ltd.制造)、tsf
‑
4440、tsf
‑
4300、tsf
‑
4445、tsf
‑
4460、tsf
‑
4452(以上为momentive performance materials inc.制造)、kp
‑
341、kf
‑
6001、kf
‑
6002(以上为shin
‑
etsu chemical co.,ltd.制造)、byk307、byk323、byk330(以上为byk
‑
chemie corporation制造)等。
[0345]
感光性树脂组合物的总固体成分中的表面活性剂的含量优选0.001质量％～5.0质量％，更优选0.005～3.0质量％。表面活性剂可以仅为1种，也可以是2种以上。2种以上的情况下，优选总量在上述范围内。
[0346]
＜＜抗氧化剂＞＞
[0347]
本发明的感光性树脂组合物能够含有抗氧化剂。作为抗氧化剂，可举出苯酚化合物、亚磷酸酯化合物、硫醚化合物等。作为苯酚化合物，能够使用作为苯酚系抗氧化剂已知的任意的苯酚化合物。作为优选的苯酚化合物，可举出受阻酚化合物。优选在与苯酚性羟基相邻的部位(邻位)具有取代基的化合物。作为前述取代基，优选碳原子数1～22的经取代或
未经取代的烷基。并且，抗氧化剂也优选在同一分子内具有苯酚基和亚磷酸酯基的化合物。并且，抗氧化剂也能够优选地使用磷系抗氧化剂。
[0348]
感光性树脂组合物的总固体成分中的抗氧化剂的含量优选为0.01～20质量％，更优选为0.3～15质量％。抗氧化剂可以仅使用1种，也可以使用2种以上。当使用2种以上时，优选总量在上述范围内。
[0349]
＜＜其他成分＞＞
[0350]
本发明的感光性树脂组合物可以根据需要含有增感剂、填料、热固化促进剂、塑化剂及其他助剂类(例如，导电性粒子、填充剂、消泡剂、阻燃剂、流平剂、剥离促进剂、香料、表面张力调节剂、链转移剂等)。通过适当地含有这些成分，能够调整膜的物理性质等性质。这些成分例如能够参考日本特开2012
‑
003225号公报的0183段以后(对应的美国专利申请公开第2013/0034812号说明书的0237段)的记载、日本特开2008
‑
250074号公报的0101～0104、0107～0109段等中的记载，且这些内容被编入本说明书中。并且，本发明的感光性树脂组合物可以根据需要含有潜在抗氧化剂。作为潜在抗氧化剂，可举出起到抗氧化剂的作用的部位被保护基保护的化合物，该化合物在100～250℃下进行加热，或者在酸/盐基催化剂的存在下在80～200℃下进行加热，由此保护基脱离而起到抗氧化剂的作用。作为潜在抗氧化剂，可举出国际公开第2014/021023号、国际公开第2017/030005号、日本特开2017
‑
008219号公报中所记载的化合物。作为潜在抗氧化剂的市售品，可举出adeka arkls gpa
‑
5001(adeka corporation制造)等。并且，如日本特开2018
‑
155881号公报中所记载，可以以改良耐候性的目的添加c.i.颜料黄129。
[0351]
为了调整所获得的固化膜的折射率，本发明的感光性树脂组合物可以含有金属氧化物。作为金属氧化物，可举出tio2、zro2、al2o3、sio2等。金属氧化物的一次粒径优选1～100nm，更优选3～70nm，进一步优选5～50nm。金属氧化物可以具有核
‑
壳结构。并且，该情况下，核部可以是中空状。
[0352]
本发明的感光性树脂组合物可以含有耐光性改良剂。作为耐光性改良剂，可举出日本特开2017
‑
198787号公报的0036～0037段中所记载的化合物、日本特开2017
‑
146350号公报的0029～0034段中所记载的化合物、日本特开2017
‑
129774号公报的0036～0037段、0049～0052段中所记载的化合物、日本特开2017
‑
129674号公报的0031～0034段、0058～0059段中所记载的化合物、日本特开2017
‑
122803号公报的0036～0037段、0051～0054段中所记载的化合物、国际公开第2017/164127号的0025～0039段中所记载的化合物、日本特开2017
‑
186546号公报的0034～0047段中所记载的化合物、日本特开2015
‑
025116号公报的0019～0041段中所记载的化合物、日本特开2012
‑
145604号公报的0101～0125段中所记载的化合物、日本特开2012
‑
103475号公报的0018～0021段中所记载的化合物、日本特开2011
‑
257591号公报的0015～0018段中所记载的化合物、日本特开2011
‑
191483号公报的0017～0021段中所记载的化合物、日本特开2011
‑
145668号公报的0108～0116段中所记载的化合物、日本特开2011
‑
253174号公报的0103～0153段中所记载的化合物等。
[0353]
本发明的感光性树脂组合物中，未与颜料等键合或配位的游离的金属的含量优选为100ppm以下，更优选为50ppm以下，进一步优选为10ppm以下，尤其优选实质上不含。根据该方式，能够期待颜料分散性的稳定化(抑制聚集)、伴随分散性的改善分光特性得以提高、固化性成分的稳定化、伴随金属原子
·
金属离子的溶出导电性变动得以抑制、显示特性的
提高等效果。并且，也可获得日本特开2012
‑
153796号公报、日本特开2000
‑
345085号公报、日本特开2005
‑
200560号公报、日本特开平08
‑
043620号公报、日本特开2004
‑
145078号公报、日本特开2014
‑
119487号公报、日本特开2010
‑
083997号公报、日本特开2017
‑
090930号公报、日本特开2018
‑
025612号公报、日本特开2018
‑
025797号公报、日本特开2017
‑
155228号公报、日本特开2018
‑
036521号公报等中所记载的效果。作为上述游离金属的种类，可举出na、k、ca、sc、ti、mn、cu、zn、fe、cr、co、mg、al、sn、zr、ga、ge、ag、au、pt、cs、ni、cd、pb、bi等。并且，本发明的感光性树脂组合物中，未与颜料等键合或配位的游离的卤素的含量优选为100ppm以下，更优选为50ppm以下，进一步优选为10ppm以下，尤其优选实质上不含。作为卤素，可举出f、cl、br、i及它们的阴离子。作为降低感光性树脂组合物中的游离的金属或卤素的方法，可举出利用离子交换水的清洗、过滤、超滤、利用离子交换树脂的纯化等方法。
[0354]
本发明的感光性树脂组合物也优选实质上不含对苯二甲酸酯。其中，“实质上不含”是指在感光性树脂组合物的总量中对苯二甲酸酯的含量为1000质量ppb以下，更优选为100质量ppb以下，尤其优选为零。
[0355]
本发明的感光性树脂组合物的含水率通常为3质量％以下，优选0.01～1.5质量％，更优选0.1～1.0质量％的范围。能够通过卡尔费休(karl fischer)法来测量含水率。
[0356]
关于本发明的感光性树脂组合物，能够以膜面状(平坦性等)的调整、膜厚的调整等为目的调整粘度来使用。粘度的值能够根据需要来适当选择，但是例如在25℃下优选0.3mpa
·
s～50mpa
·
s，更优选0.5mpa
·
s～20mpa
·
s。作为粘度的测量方法，例如能够使用toki sangyo co.,ltd.制造的粘度计re85l(转子：1
°
34
’×
r24，测量范围：0.6～1200mpa
·
s)，并在将温度调整为25℃的状态下进行测量。
[0357]
在将本发明的感光性树脂组合物用作应用于液晶显示装置中的滤色器的情况下，具备滤色器的液晶显示元件的电压保持率优选为70％以上，更优选为90％以上。能够适当组合用于获得高电压保持率的公知的方法，作为典型的方法可举出使用纯度高的原材料(例如，降低离子性杂质)、控制组合物中的酸性官能团量。电压保持率例如能够通过日本特开2011
‑
008004号公报的0243段、日本特开2012
‑
224847号公报的0123～0129段中所记载的方法等来进行测量。
[0358]
＜收容容器＞
[0359]
作为本发明的感光性树脂组合物的收容容器，并无特别限定，能够使用公知的收容容器。并且，作为收容容器，为了抑制杂质混入原材料或感光性树脂组合物中，也优选使用由6种6层的树脂构成容器内壁的多层瓶或将6种树脂作成7层结构的瓶。作为这种容器，例如可举出日本特开2015
‑
123351号公报中所记载的容器。并且，以防止金属从容器内壁溶出、提高感光性树脂组合物的保存稳定性或抑制成分变质等目的，也优选容器内壁制成玻璃制或不銹钢制等。
[0360]
＜感光性树脂组合物的制备方法＞
[0361]
本发明的感光性树脂组合物能够混合前述成分来制备。制备感光性树脂组合物时，可以将所有成分同时溶解和/或分散于溶剂中来制备感光性树脂组合物，也可以根据需要在将各成分适当地设为两个以上的溶液或分散液并在使用时(涂布时)混合这些来制备感光性树脂组合物。
[0362]
并且，制备感光性树脂组合物时，优选包括使颜料分散的制程。在使颜料分散的制
程中，作为用于颜料的分散的机械力，可举出压缩、压榨、冲击、剪切、气蚀等。作为这些制程的具体例，可举出珠磨、砂磨、辊磨、球磨、涂料搅拌、微射流、高速叶轮、混砂、喷射流混合、高压湿式微粒化、超声波分散等。并且，在砂磨(珠磨)下的颜料的粉碎中，优选以如下条件进行处理，该条件为通过使用直径小的微珠且提高微珠的填充率等来提高粉碎效率。并且，优选在粉碎处理后通过过滤、离心分离等来去除粗粒子。并且，关于使颜料分散的制程及分散机，能够优选地使用“分散技术大全、johokiko co.,ltd.发行，2005年7月15日”或“以围绕悬浮液(固体/液体分散体系)为中心的分散技术与工业上的实际应用综合资料集，经营开发中心出版部发行，1978年10月10日”、日本特开2015
‑
157893号公报的0022段中所记载的制程及分散机。并且，在使颜料分散的制程中，可以通过盐磨工序进行粒子的微细化处理。在盐磨工序中所使用的原材料、设备、处理条件等例如能够参考日本特开2015
‑
194521号公报、日本特开2012
‑
046629号公报的记载。
[0363]
制备感光性树脂组合物时，以去除异物或降低缺陷等为目的，优选通过过滤器过滤感光性树脂组合物。作为过滤器，只要是一直以来用于过滤用途等的过滤器，则能够无特别限制地使用。例如可举出使用聚四氟乙烯(ptfe)等氟树脂、尼龙(例如尼龙
‑
6、尼龙
‑
6,6)等聚酰胺树脂、聚乙烯、聚丙烯(pp)等聚烯烃树脂(包含高密度、超高分子量的聚烯烃树脂)等材料的过滤器。在这些材料之中，优选聚丙烯(包含高密度聚丙烯)及尼龙。
[0364]
过滤器的孔径优选0.01～7.0μm，更优选0.01～3.0μm，进一步优选0.05～0.5μm。只要过滤器的孔径在上述范围内，则能够更可靠地去除微细的异物。关于过滤器的孔径值，能够参考过滤器厂商的标称值。过滤器能够使用nihon pall ltd.(dfa4201niey等)、advantec toyo kaisha,ltd.、nihon entegris k.k.(formerly nippon micro squirrel co.,ltd.)及kitzmicrofilter corporation等所提供的各种过滤器。
[0365]
并且，作为过滤器，也优选使用纤维状的滤材。作为纤维状的滤材，例如可举出聚丙烯纤维、尼龙纤维、玻璃纤维等。作为市售品，可举出roki techno co.,ltd.制造的sbp型系列(sbp008等)、tpr型系列(tpr002、tpr005等)、shpx型系列(shpx003等)。
[0366]
在使用过滤器时，可以组合不同的过滤器(例如，第1过滤器和第2过滤器等)。此时，用各过滤器的过滤可以仅进行1次，也可以进行2次以上。并且，可以在上述范围内组合不同孔径的过滤器。并且，也可以如下进行：使用第1过滤器进行过滤时，仅对分散液进行过滤，混合其他成分之后，用第2过滤器进行过滤。
[0367]
＜固化膜＞
[0368]
本发明的固化膜为由上述的本发明的感光性树脂组合物获得的固化膜。本发明的固化膜能够优选地用作滤色器的着色像素。作为着色像素，优选青色像素。本发明的固化膜的膜厚能够根据目的适当调整。例如，膜厚优选20μm以下，更优选10μm以下，进一步优选5μm以下。膜厚的下限优选0.1μm以上，更优选0.2μm以上，进一步优选0.3μm以上。
[0369]
本发明的固化膜在膜的厚度方向上的波长400～530nm范围的光的平均透射率优选为70％以上，更优选为80％以上，进一步优选为85％以上。并且，膜的厚度方向上的波长400～530nm范围的光的透射率的最小值优选为40％以上，更优选为50％以上，进一步优选为60％以上。并且，膜的厚度方向上的波长610～700nm范围的光的平均透射率优选为30％以下，更优选为25％以下，进一步优选为20％以下。并且，膜的厚度方向上的波长610～700nm范围的光的透射率的最大值优选为40％以下，更优选为30％以下，进一步优选为25％
以下。
[0370]
本发明的固化膜在膜的厚度方向上的相对于波长400～700nm范围的光的透射光谱中，优选在波长400～530nm范围内存在透射率的峰值。并且，优选在波长540～600nm范围内存在透射率达到峰值的50％的波长(以下，将该波长也称为λ
t50
)。并且，优选在波长560～620nm范围内存在透射率达到峰值的20％的波长(以下，将该波长也称为λ
t20
)。λ
t50
优选存在于波长545～595nm范围内，更优选存在于波长550～590nm范围内。λ
t20
优选存在于波长565～615nm范围内，更优选存在于波长560～610nm范围内。并且，λ
t
20与λ
t50
之差(λ
t20
‑
λ
t50
)优选为5～80nm，更优选为7～50nm，进一步优选为10～30nm。
[0371]
＜滤色器＞
[0372]
接着，对本发明的滤色器进行说明。本发明的滤色器具有上述本发明的固化膜。更优选作为滤色器的像素具有本发明的固化膜。进一步优选作为滤色器的青色像素具有本发明的固化膜。本发明的滤色器能够用于ccd(电荷耦合器件)、cmos(互补型金属氧化膜半导体)等固体摄像元件、图像显示装置等。
[0373]
本发明的滤色器中本发明的固化膜的膜厚能够根据目的适当调整。膜厚优选20μm以下，更优选10μm以下，进一步优选5μm以下。膜厚的下限优选0.1μm以上，更优选0.2μm以上，进一步优选0.3μm以上。
[0374]
本发明的滤色器的像素的宽度优选为0.5～20.0μm。下限优选为1.0μm以上，更优选为2.0μm以上。上限优选为15.0μm以下，更优选为10.0μm以下。并且，像素的杨氏模量优选为0.5～20gpa，更优选为2.5～15gpa。
[0375]
本发明的滤色器中包括的各像素优选具有高平坦度。具体而言，像素的表面粗糙度ra优选为100nm以下，更优选为40nm以下，进一步优选为15nm以下。下限并无规定，但例如优选为0.1nm以上。关于像素的表面粗糙度，例如能够使用veeco公司制造的afm(原子力显微镜)dimension3100来进行测量。并且，像素上的水接触角能够适当设定为优选值，通常在50～110
°
的范围内。接触角例如能够使用接触角计cv
‑
dt
·
a型(kyowa interface science co.,ltd.制造)来进行测量。并且，优选像素的体积电阻值高。具体而言，像素的体积电阻值优选为109ω
·
cm以上，更优选为10
11
ω
·
cm以上。上限并无规定，例如，优选为10
14
ω
·
cm以下。像素的体积电阻值例如能够使用超高电阻计5410(advantest corporation制造)来进行测量。
[0376]
并且，本发明的滤色器中，可以在本发明的固化膜的表面设置保护层。通过设置保护层，能够赋予阻氧化、低反射化、亲水
·
疏水化、特定波长的光(紫外线、近红外线等)的遮蔽等各种功能。作为保护层的厚度，优选0.01～10μm，进一步优选0.1～5μm。作为保护层的形成方法，可举出涂布溶解于有机溶剂中的树脂组合物而形成的方法、化学气相沉积法、用粘合材料粘合已成型的树脂的方法等。作为构成保护层的成分，可举出(甲基)丙烯酸系树脂、烯
‑
硫醇树脂、聚碳酸酯树脂、聚醚树脂、聚芳酯树脂、聚砜树脂、聚醚砜树脂、聚苯树脂、聚亚芳基醚氧化膦树脂、聚酰亚胺树脂、聚酰胺酰亚胺树脂、聚烯烃树脂、环状烯烃树脂、聚酯树脂、苯乙烯树脂、多元醇树脂、聚偏二氯乙烯树脂、三聚氰胺树脂、聚氨酯树脂、芳纶(aramid)树脂、聚酰胺树脂、醇酸树脂、环氧树脂、改性硅酮树脂、氟树脂、聚碳酸酯树脂、聚丙烯腈树脂、纤维素树脂、si、c、w、al2o3、mo、sio2、si2n4等，也可以含有2种以上这些成分。例如，以阻氧化为目的的保护层的情况下，保护层优选含有多元醇树脂、sio2、si2n4。并且，以
低反射化为目的的保护层的情况下，优选保护层含有(甲基)丙烯酸系树脂、氟树脂。
[0377]
涂布树脂组合物形成保护层时，作为树脂组合物的涂布方法，能够使用旋涂法、浇铸法、网板印刷法、喷墨法等公知的方法。树脂组合物中所含的有机溶剂能够使用公知的有机溶剂(例如，丙二醇1
‑
单甲醚2
‑
乙酸酯、环戊酮、乳酸乙酯等)。利用化学气相沉积法来形成保护层时，作为化学气相沉积法，能够使用公知的化学气相沉积法(热化学气相沉积法、等离子体化学气相沉积法、光化学气相沉积法)。
[0378]
保护层可以根据需要而含有有机
·
无机微粒、特定波长(例如，紫外线、近红外线等)的吸收剂、折射率调节剂、抗氧化剂、粘附剂、表面活性剂等添加剂。作为有机
·
无机微粒的例子，例如，可举出高分子微粒(例如，硅酮树脂微粒、聚苯乙烯微粒、三聚氰胺树脂微粒)、氧化钛、氧化锌、氧化锆、氧化铟、氧化铝、氮化钛、氧氮化钛、氟化镁、中空二氧化硅、二氧化硅、碳酸钙、硫酸钡等。特定波长的吸收剂能够使用公知的吸收剂。作为紫外线吸收剂及近红外线吸收剂，可举出上述原材料。这些添加剂的含量能够进行适当调整，但相对于保护层的总质量优选0.1～70质量％，进一步优选1～60质量％。
[0379]
并且，作为保护层，也能够使用日本特开2017
‑
151176号公报的0073～0092段中记载的保护层。
[0380]
＜滤色器的制造方法＞
[0381]
接着，对滤色器的制造方法进行说明。本发明的滤色器能够经由如下工序来制造：使用上述的本发明的感光性树脂组合物在支撑体上形成着色组合物层的工序；及通过光微影法对感光性树脂组合物形成图案的工序。
[0382]
利用光微影法的图案形成优选包括如下工序：使用本发明的感光性树脂组合物在支撑体上形成感光性树脂组合物层的工序；以图案状曝光感光性树脂组合物层的工序；及显影去除感光性树脂组合物层的未曝光部来形成图案(像素)的工序。可以根据需要，设置对感光性树脂组合物层进行烘烤的工序(预烘烤工序)及对经显影的图案(像素)进行烘烤的工序(后烘烤工序)。
[0383]
在形成感光性树脂组合物层的工序中，使用本发明的感光性树脂组合物在支撑体上形成感光性树脂组合物层。作为支撑体，并无特别限制，能够根据用途而适当选择。例如可举出玻璃基板、硅基板等，优选为硅基板。并且，在基板上可以形成有电荷耦合器件(ccd)、互补金属氧化物半导体(cmos)、透明导电膜等。并且，有时也会在硅基板上形成隔离各像素的黑色矩阵。并且，在硅基板上也可以设置底涂层，该底涂层用于改善与上部层的密接性、防止物质的扩散或基板表面的平坦化。
[0384]
作为着色感光性组合物的涂布方法，能够使用公知的方法。例如，可列举滴液法(滴铸)；狭缝涂布法；喷雾法；辊涂法；旋转涂布法(spin coating)；流延涂布法；狭缝及旋转法；预湿法(例如日本特开2009
‑
145395号公报中所记载的方法)；喷墨法(例如按需方式、压电方式、热方式)、喷嘴喷射等吐出系印刷、柔版印刷、网版印刷、凹版印刷、反转套版印刷、金属掩模印刷法等各种印刷法；使用模具等的转印法；纳米压印法等。作为基于喷墨的适用方法并没有特别限定，例如可举出《可推广、使用的喷墨
‑
专利中出现的无限可能性
‑
、2005年2月发行、sumitbe techon research co.,ltd.》中示出的方法(尤其第115页～第133页)、或日本特开2003
‑
262716号公报、日本特开2003
‑
185831号公报、日本特开2003
‑
261827号公报、日本特开2012
‑
126830号公报、日本特开2006
‑
169325号公报等中所记载的
方法。并且，关于感光性树脂组合物的涂布方法，也能够使用国际公开第2017/030174号、国际公开第2017/018419号中所记载的方法，这些内容被编入本说明书中。
[0385]
对形成于支撑体上的感光性树脂组合物层可以进行干燥(预烘烤)。在通过低温制程制造固化膜时，也可以进行预烘烤。当进行预烘烤时，预烘烤温度优选150℃以下，更优选120℃以下，进一步优选110℃以下。下限例如能够设为50℃以上，也能够设为80℃以上。预烘烤时间优选10～300秒钟，更优选40～250秒钟，进一步优选80～220秒钟。预烘烤能够在加热板、烘箱等中进行。
[0386]
接着，以图案状曝光感光性树脂组合物层(曝光工序)。例如，使用步进曝光机或扫描曝光机等，隔着具有规定掩模图案的掩模，对感光性树脂组合物层进行曝光，由此能够以图案状进行曝光。由此，能够使曝光部分固化。
[0387]
作为能够在进行曝光时使用的放射线(光)，可举出g射线、i射线等。并且，也能够使用波长300nm以下的光(优选波长180～300nm的光)。作为波长300nm以下的光，可举出krf射线(波长248nm)、arf射线(波长193nm)等，优选krf射线(波长248nm)。并且，也能够利用300nm以上的波长长的光源。
[0388]
并且，在曝光时，可以连续照射光而进行曝光，也可以脉冲照射而进行曝光(脉冲曝光)。另外，脉冲曝光是指在短时间(例如毫秒等级以下)的周期内反复光的照射与暂停来进行曝光的方式的曝光方法。脉冲曝光时，脉冲宽度优选为100纳秒(ns)以下，更优选为50纳秒以下，进一步优选为30纳秒以下。脉冲宽度的下限并无特别限定，但是能够设为1飞秒(fs)以上，也能够设为10飞秒以上。频率优选为1khz以上，更优选为2khz以上，进一步优选为4khz以上。频率的上限优选为50khz以下，更优选为20khz以下，进一步优选为10khz以下。最大瞬间照度优选为50000000w/m2以上，更优选为100000000w/m2以上，进一步优选为200000000w/m2以上。并且，最大瞬间照度的上限优选为1000000000w/m2以下，更优选为800000000w/m2以下，进一步优选为500000000w/m2以下。另外，脉冲宽度是指在脉冲周期中照射光的时间。并且，频率是指每1秒钟的脉冲周期的次数。并且，最大瞬间照度是指在脉冲周期中照射光的时间内的平均照度。并且，脉冲周期是指将脉冲曝光中的光的照射与暂停设为1个周期的周期。
[0389]
照射量(曝光量)例如优选0.03～2.5j/cm2，更优选0.05～1.0j/cm2。关于曝光时的氧浓度，能够适当选择，除了在大气下进行曝光以外，例如可以在氧浓度为19体积％以下的低氧环境下(例如，15体积％、5体积％、实质上无氧等)进行曝光，也可以在氧浓度超过21体积％的高氧环境下(例如，22体积％、30体积％或50体积％等)进行曝光。并且，曝光照度能够适当设定，通常能够从1000w/m2～100000w/m2(例如，5000w/m2、15000w/m2或35000w/m2)的范围选择。氧浓度和曝光照度可以适当组合条件，例如能够设为氧浓度10体积％且照度10000w/m2、氧浓度35体积％且照度20000w/m2等。
[0390]
接着，显影去除感光性树脂组合物层的未曝光部来形成图案(像素)。感光性树脂组合物层的未曝光部的显影去除能够使用显影液来进行。由此，曝光工序中的未曝光部的感光性树脂组合物层溶出于显影液中，只残留经光固化的部分。显影液的温度例如优选20～30℃。显影时间优选20～180秒钟。并且，为了提高残渣去除性，可以重复多次每隔60秒钟甩掉显影液，进而供给新的显影液的工序。
[0391]
显影液可举出有机溶剂、碱性显影液等，优选地使用碱性显影液。作为碱性显影
液，优选用纯水稀释碱性剂的碱性水溶液(碱性显影液)。作为碱剂，例如可举出氨、乙胺、二乙胺、二甲基乙醇胺、二甘醇胺、二乙醇胺、羟基胺、乙二胺、四甲基氢氧化铵、四乙基氢氧化铵、四丙基氢氧化铵、四丁基氢氧化铵、乙基三甲基氢氧化铵、苄基三甲基氢氧化铵、二甲基双(2
‑
羟基乙基)氢氧化铵、胆碱、吡咯、哌啶、1,8
‑
二氮杂双环[5.4.0]
‑7‑
十一碳烯等有机碱性化合物或氢氧化钠、氢氧化钾、碳酸钠、碳酸氢钠、硅酸钠、偏硅酸钠等无机碱性化合物。从环境方面及安全方面而言，碱剂优选分子量较大的化合物。碱性水溶液的碱剂的浓度优选0.001～10质量％，更优选0.01～1质量％。并且，显影液可进一步含有表面活性剂。作为表面活性剂，可举出上述表面活性剂，优选非离子系表面活性剂。从方便移送或保管等观点而言，显影液可以暂时制造成浓缩液，在使用时稀释成所需要的浓度。稀释倍率并没有特别限定，例如能够设定在1.5～100倍的范围内。并且，也优选在显影后用纯水进行清洗(冲洗)。并且，优选通过一边旋转形成有显影后的感光性树脂组合物层的支撑体一边向显影后的感光性树脂组合物层供给冲洗液来进行冲洗。并且，也优选通过将使冲洗液喷出的喷嘴从支撑体的中心部向支撑体的周缘部移动而进行冲洗。此时，在从喷嘴的支撑体中心部向周缘部移动时，可以在逐渐降低喷嘴的移动速度的同时使其移动。通过以这种方式进行冲洗，能够抑制冲洗的面内偏差。并且，一边使喷嘴从支撑体中心部向周缘部移动一边逐渐降低支撑体的旋转速度也可以获得相同的效果。
[0392]
优选在显影之后，并实施干燥之后进行追加曝光处理和加热处理(后烘烤)。追加曝光处理和后烘烤为用于完全固化的显影后的固化处理。后烘烤时的加热温度例如优选100～240℃，更优选200～240℃。后烘烤能够以成为上述条件的方式使用加热板或对流式烘烤箱(热风循环式干燥机)、高频加热机等加热机构，对显影后的膜以连续式或间歇式进行。当进行追加曝光处理时，曝光中所使用的光优选为波长400nm以下的光。并且，追加曝光处理可以通过韩国公开专利第10
‑
2017
‑
0122130号公报中所记载的方法进行。
[0393]
＜固体摄像元件＞
[0394]
本发明的固体摄像元件具有上述的本发明的固化膜。作为固体摄像元件的优选的一个方式，可举出上述的本发明的固化膜为青色像素且还含有黄色像素及品红色像素的方式。
[0395]
作为本发明的固体摄像元件的结构，只要具备本发明的固化膜并且作为固体摄像元件而发挥发挥作用的结构，则并无特别限定，例如可举出如下结构。
[0396]
摄像元件的结构如下：在基板上具有由构成固体摄像元件(ccd(电荷耦合器件)影像传感器、cmos(互补型金属氧化膜半导体)影像传感器等)的受光区域的多个光电二极管及多晶硅等构成的传输电极，在光电二极体及传输电极上具有只有光电二极管的受光部开口的遮光膜，在遮光膜上具有以覆盖遮光膜整个表面及光电二极管受光部的方式形成的由氮化硅等构成的器件保护膜，在器件保护膜上具有滤色器。而且，可以是在器件保护膜上且在滤色器的下侧(靠近基板的一侧)具有聚光机构(例如，微透镜等。以下相同)的结构、在滤色器上具有聚光机构的结构等。并且，滤色器可具有如下结构：在通过隔壁例如以方格状隔开的空间嵌入有各着色像素的结构。优选此时的隔壁的折射率低于各着色像素的折射率。作为具有这种结构的撮像装置的例，可举出日本特开2012
‑
227478号公报、日本特开2014
‑
179577号公报、国际公开第2018/043654号、美国专利申请公开第2018/0040656号说明书中所记载的装置。具备本发明的固体摄像元件的摄像装置除了能够用作数码相机、具有摄像
功能的电子设备(移动电话等)之外，还能够用作车载摄像机、监视摄像机。
[0397]
＜图像显示装置＞
[0398]
本发明的图像显示装置具有上述的本发明的固化膜。作为图像显示装置，可举出液晶显示装置和有机电致发光显示装置等。关于图像显示装置的定义或各图像显示装置的详细内容，例如记载于《电子显示器器件(佐佐木昭夫著，kogyo chosakai publishing co.,ltd.1990年发行)》、《显示器器件(伊吹顺章著，sangyo tosho publishing co.,ltd.,1989年发行)》等。并且，关于液晶显示装置，例如记载于《下一代液晶显示器技术(内田龙男编辑，kogyo chosakai publishing co.,ltd.,1994年发行)》。对能够适用本发明的液晶显示装置并没有特别限制，例如能够适用于上述的《下一代液晶显示器技术》中所记载的各种方式的液晶显示装置。
[0399]
实施例
[0400]
以下，举出实施例对本发明进行进一步具体的说明。以下实施例所示的材料、使用量、比例、处理内容、处理工序等，只要不脱离本发明的宗旨，则能够适当变更。因此，本发明的范围并不限定于以下示出的具体例。
[0401]
＜重均分子量(mw)的测量＞
[0402]
按照以下的条件，通过凝胶渗透色谱法(gpc)测量了树脂的重均分子量(mw)。
[0403]
管柱的种类：将tosoh tskgel super hzm
‑
h、tosoh tskgel super hz4000及tosoh tskgel super hz2000连结而成的管柱
[0404]
展开溶剂：四氢呋喃
[0405]
管柱温度：40℃
[0406]
流量(样品注入量)：1.0μl(样品浓度0.1质量％)
[0407]
装置名：tosoh corporation制hlc
‑
8220gpc
[0408]
检测器：ri(折射率)检测器
[0409]
校准曲线基础树脂：聚苯乙烯树脂
[0410]
＜酸值的测量方法＞
[0411]
将测量样品溶解于四氢呋喃/水＝9/1(质量比)混合溶液中，利用电位滴定仪(产品名：at
‑
510、kyoto electronics manufacturing co.,ltd.制造)，将所获得的溶液在25℃下用0.1mol/l氢氧化钠水溶液进行了中和滴定。以滴定ph曲线的变曲点为滴定终点，通过以下式算出了酸值。
[0412]
a＝56.11
×
vs
×
0.1
×
f/w
[0413]
a：酸值(mgkoh/g)
[0414]
vs：滴定时所需的0.1mol/l氢氧化钠水溶液的使用量(ml)
[0415]
f：0.1mol/l氢氧化钠水溶液的滴定量
[0416]
w：测量样品的质量(g)(固体成分换算)
[0417]
＜胺值的测量方法＞
[0418]
将测量样品溶解于乙酸中，利用电位滴定仪(产品名：at
‑
510、kyoto electronics manufacturing co.,ltd.制造)，将所获得的溶液在25℃下用0.1mol/l高氯酸/乙酸溶液进行了中和滴定。以滴定ph曲线的变曲点为滴定终点，通过以下式计算了胺值。
[0419]
b＝56.11
×
vs
×
0.1
×
f/w
[0420]
b：胺值(mgkoh/g)
[0421]
vs：滴定时所需的0.1mol/l高氯酸/乙酸溶液的使用量(ml)
[0422]
f：0.1mol/l高氯酸/乙酸溶液的滴定量
[0423]
w：测量样品的质量(g)(固体成分换算)
[0424]
＜颜料的平均二次粒径的测量方法＞
[0425]
关于颜料的平均二次粒径，使用透射型电子显微镜(tem)从电子显微镜照片直接测量颜料的二次粒子的大小来进行了测量。具体而言，测量各个颜料的二次粒子的短轴径及长轴径，将平均作为其颜料的粒径。接着，针对100个颜料的每一个，以近似于所求出的粒径的立方体而求出每个颜料的体积，并且将体积平均粒径作为平均二次粒径。
[0426]
＜感光性树脂组合物的制备＞
[0427]
混合下述表中所记载的种类的着色剂、下述表中所记载的种类的分散剂及下述表中所记载的溶剂的一部分，加入直径0.3mm的氧化锆微珠230质量份，使用涂料搅拌器进行5小时的分散处理，通过过滤分离微珠，从而制造了固体成分20重量％的颜料分散液。
[0428]
接着，混合所获得的颜料分散液、下述表中所记载的种类的剩余溶剂、下述表中所记载的种类的后添树脂、下述表中所记载的种类的聚合性化合物、下述表中所记载的种类的光聚合引发剂及下述表中所记载的种类的紫外线吸收剂而制备了感光性树脂组合物。在下述表中示出感光性树脂组合物中的各成分的掺合量。各成分的数值为质量份。与此同时，示出了着色剂中的c.i.颜料蓝15:3(pb15:3)与c.i.颜料蓝15:4(pb15:4)的总含量(质量％)、感光性组合物的总固体成分中的紫外线吸收剂的含量(质量％)、相对于光聚合引发剂100质量份的紫外线吸收剂的含量(质量份)、相对于聚合性化合物100质量份的紫外线吸收剂的含量(质量份)。另外，下述表中所示的yellow组合物及magenta组合物为后述的混色评价用感光性树脂组合物。
[0429]
[表1]
[0430][0431]
[表2]
[0432]
[0433]
上述表中，以缩写记载的原料如下。
[0434]
(着色剂)
[0435]
pb15:3：c.i.颜料蓝15:3(平均二次粒径68nm)
[0436]
pb15:4：c.i.颜料蓝15:4(平均二次粒径71nm)
[0437]
pcal：下述结构的化合物(铝酞菁、平均二次粒径94nm)
[0438]
[化学式26]
[0439][0440]
py150：c.i.颜料黄150(平均二次粒径81nm)
[0441]
pg7：c.i.颜料绿7(平均二次粒径80nm)
[0442]
pr122：c.i.颜料红122(平均二次粒径67nm)
[0443]
(分散剂、后添树脂)
[0444]
p1：disperbyk
‑
2001(byk japan k.k.制造、酸值19mgkoh/g、胺值29mgkoh/g、丙烯酸系树脂)
[0445]
p2：efka px 4300(basf公司制造、胺值57mgkoh/g、丙烯酸系树脂)
[0446]
p3：下述结构的树脂(重均分子量＝10000、酸值31.5mgkoh/g、胺值0mgkoh/g、在主链上标记的数值表示重复单元的摩尔比。)
[0447]
[化学式27]
[0448][0449]
p4：下述结构的树脂(重均分子量＝24000、酸值52.5mgkoh/g、胺值0mgkoh/g、在主链上标记的数值表示重复单元的摩尔比，在侧链上标记的数值表示重复单元的数量。)
[0450]
[化学式28]
[0451][0452]
p5:下述结构的树脂(重均分子量＝21000、酸值36.0mgkoh/g、胺值47mgkoh/g、x＝48，y＝12，a/b/c/d/e＝36/4/35/1/24(摩尔比))
[0453]
[化学式29]
[0454][0455]
p6：下述结构的树脂(重均分子量＝12000、酸值195.4mgkoh/g、胺值0mgkoh/g、在主链上标记的数值表示重复单元的摩尔比。)
[0456]
[化学式30]
[0457][0458]
(聚合性化合物)
[0459]
m1：下述结构的化合物
[0460]
[化学式31]
[0461][0462]
m2：下述结构的化合物的混合物(左侧的化合物:右侧的化合物＝7:3(质量比))
[0463]
[化学式32]
[0464][0465]
m3：下述结构的化合物(l m n o p q＝12)
[0466]
[化学式33]
[0467][0468]
m4：下述结构的化合物
[0469]
[化学式34]
[0470][0471]
(光聚合引发剂)
[0472]
i1：下述结构的化合物(α
‑
氨基酮化合物)
[0473]
i2：下述结构的化合物(肟化合物)
[0474]
[化学式35]
[0475][0476]
(紫外线吸收剂)
[0477]
u1：下述结构的化合物(共轭二烯化合物)
[0478]
u2：下述结构的化合物(三嗪化合物)
[0479]
u3：下述结构的化合物(苯并三唑化合物)
[0480]
[化学式36]
[0481][0482]
(表面活性剂)
[0483]
w1：下述结构的化合物(氟系表面活性剂、重均分子量＝14000、表示重复单元的比例的％为摩尔％。)
[0484]
[化学式37]
[0485][0486]
(其他添加剂)
[0487]
x1：2,2
‑
双(羟甲基)
‑1‑
丁醇的1,2
‑
环氧
‑4‑
(2
‑
环氧乙烷基)环己烷加合物(下述结构的化合物、环氧化合物)
[0488]
[化学式38]
[0489][0490]
x2：下述结构的化合物(硅烷偶联剂)
[0491]
[化学式39]
[0492][0493]
(溶剂)
[0494]
s1：丙二醇单甲醚乙酸酯
[0495]
s2：丙二醇单甲醚
[0496]
＜评价＞
[0497]
(作为青色的分光特性的评价)
[0498]
通过旋涂法将感光性树脂组合物涂布于玻璃基板上，接着，使用加热板在100℃下进行120秒钟的加热处理(预烘烤)，接着通过i射线以1000mj/cm2的曝光量进行曝光，接着，在200℃下进行5分钟的加热，从而制作了厚度0.6μm的固化膜。关于所获得的固化膜，使用otsuka electronics co.,ltd制造的mcpd
‑
3000，对400～700nm范围的透光率(透射率)进行了测量。将400～530nm的透射率的平均值设为t1，将610～700nm的透射率的平均值设为t2，将50％透射率设为λ50时，通过以下基准判断了作为青色的分光特性。将满足所有以下3项的情况设为a，将仅满足2项的情况设为b，将仅满足1项的情况设为c，均不满足的情况设为d。
[0499]
·
t1为70％以上。
[0500]
·
t2为30％以下。
[0501]
·
λ50在540～590nm范围内。
[0502]
(耐光性的评价)
[0503]
通过旋涂法将感光性树脂组合物涂布于玻璃基板上，接着，使用加热板在100℃下进行120秒钟的加热处理(预烘烤)，接着通过i射线以1000mj/cm2的曝光量进行曝光，接着，在200℃下进行5分钟的加热，从而制作了厚度0.6μm的固化膜。关于所获得的固化膜，使用otsuka electronics co.,ltd制造的mcpd
‑
3000，测量了在波长400～700nm范围内的透光率(透射率)。接着，利用耐光试验机(super xenon weather meter sx75、suga test instruments co.,ltd.制造)，对上述中制作的固化膜经1000小时照射100000lux的光(总照射量为1亿lux
·
hr)。测量光照射之后的固化膜的透射率，通过以下基准评价了耐光性。
[0504]
a：光照射之后的固化膜在波长400～700nm的透射率的累计值为光照射之前的固化膜在波长400～700nm的透射率的累计值的97％以上。
[0505]
b：光照射之后的固化膜在波长400～700nm的透射率的累计值为光照射之前的固化膜在波长400～700nm的透射率的累计值的95％以上且小于97％。
[0506]
c：光照射之后的固化膜在波长400～700nm的透射率的累计值小于光照射之前的固化膜在波长400～700nm的透射率的累计值的95％。
[0507]
(矩形性的评价)
[0508]
将直径8英寸(1英寸＝25.4mm)的硅晶片在烘箱中在200℃下进行了30分钟的加热处理。接着，将底涂用光阻液(ct
‑
4000、fujifilm electronic materials co.,ltd.制造)涂布于该硅晶片上，以使干燥膜厚成为0.1μm，进而在220℃的烘箱中进行1小时的加热干燥来形成底涂层，从而获得了带有底涂层的硅晶片基板。
[0509]
将感光性树脂组合物涂布于在上述中制作的带有底涂层的硅晶片基板的底涂层上。接着，使用100℃的加热板进行了120秒钟的加热处理(预烘烤)。接着，使用i射线步进曝光装置fpa
‑
3000i5 (canon inc.制造)在365nm的波长下通过具有图案的掩模以500mj/cm2的曝光量进行了曝光。掩模使用了具有1.4μm
×
1.4μm的岛形图案的掩模。
[0510]
接着，将形成有经照射的涂布膜的基板载置于旋转
·
喷淋显影机(dw
‑
30型、chemitronics co.,ltd.制造)的水平转台上，使用碱性显影液(cd
‑
2060、fujifilm electronic materials co.,ltd.制造)在室温下进行了60秒钟的旋覆浸没显影。接着，以真空吸盘方式将旋覆浸没显影之后的基板固定于水平转台上，通过旋转装置使硅晶片以转速50rpm旋转的同时从其旋转中心的上方从喷嘴以喷淋状供给纯水而进行冲洗处理(23秒钟
×
2次)，接着进行旋转干燥，接着使用加热板在200℃下进行300秒钟的加热处理(后烘烤)，从而形成了固化膜的图案(像素)。
[0511]
切割所获得的固化膜的图案，使用扫描型电子显微镜(sem)放大20000倍来观察固化膜的图案的截面，通过以下基准评价了矩形性。
[0512]
a：固化膜的图案的基板侧(与基板接触的一侧)的表面的宽度为与基板相反的一侧的表面的宽度的90％以上且130％以下。
[0513]
b：固化膜的图案的基板侧(与基板接触的一侧)的表面的宽度为与基板相反的一侧的表面的宽度的80％以上且小于90％或超过130％且小于160％。
[0514]
c：固化膜的图案的基板侧(与基板接触的一侧)的表面的宽度小于与基板相反的一侧的表面的宽度的80％或为160％以上。或者，通过显影导致剥离而无法形成固化膜的图案。
[0515]
(缺陷的评价)
[0516]
将直径8英寸(1英寸＝25.4mm)的硅晶片在烘箱中在200℃下进行了30分钟的加热处理。接着，将底涂用光阻液(ct
‑
4000、fujifilm electronic materials co.,ltd.制造)涂布于该硅晶片上，以使干燥膜厚成为0.1μm，进而在220℃的烘箱中进行1小时的加热干燥来形成底涂层，从而获得了带有底涂层的硅晶片基板。
[0517]
将感光性树脂组合物涂布于在上述中制作的带有底涂层的硅晶片基板的底涂层上。接着，使用100℃的加热板进行了120秒钟的加热处理(预烘烤)。接着，使用i射线步进曝光装置fpa
‑
3000i5 (canon inc.制造)在365nm的波长下通过具有图案的掩模以500mj/cm2的曝光量进行了曝光。掩模使用能够以2.8μm
×
2.8μm的周期形成1.4μm
×
1.4μm的岛形图案，以11mm
×
11mm大小的镜头对晶片的除了外周3mm的整个区域进行了曝光。
[0518]
接着，将形成有经照射的涂布膜的基板载置于旋转
·
喷淋显影机(dw
‑
30型、chemitronics co.,ltd.制造)的水平转台上，使用碱性显影液(cd
‑
2060、fujifilm electronic materials co.,ltd.制造)在室温下进行了60秒钟的旋覆浸没显影。接着，以真空吸盘方式将旋覆浸没显影之后的基板固定于水平转台上，通过旋转装置使硅晶片以转
速50rpm旋转的同时从其旋转中心的上方从喷嘴以喷淋状供给纯水而进行冲洗处理(23秒钟
×
2次)，接着进行旋转干燥，接着使用加热板在200℃下进行300秒钟的加热处理(后烘烤)，从而形成了固化膜的图案(像素)。使用晶片缺陷评价装置(complus3、amat制造)检查了所获得的固化膜的图案的缺陷数。通过以下的基准进行了缺陷的评价。
[0519]
a：8英寸晶片内的总缺陷数≤30
[0520]
b：30＜8英寸晶片内的总缺陷数≤100
[0521]
c：100＜8英寸晶片内的总缺陷数
[0522]
(混色的评价)
[0523]
将感光性树脂组合物涂布于直径8英寸(1英寸＝25.4mm)的硅晶片上。接着，使用100℃的加热板进行了120秒钟的加热处理(预烘烤)。接着，使用i射线步进曝光装置fpa
‑
3000i5 (canon inc.制造)，在365nm的波长下以500mj/cm2的曝光量进行了曝光。掩模使用了具有2cm
×
2cm的岛形图案的掩模。接着，将形成有经照射的涂布膜的基板载置于旋转
·
喷淋显影机(dw
‑
30型、chemitronics co.,ltd.制造)的水平转台上，使用碱性显影液(cd
‑
2060、fujifilm electronic materials co.,ltd.制造)在室温下进行了60秒钟的旋覆浸没显影。接着，以真空吸盘方式将旋覆浸没显影之后的基板固定于水平转台上，通过旋转装置使硅晶片以转速50rpm旋转的同时从其旋转中心的上方从喷嘴以喷淋状供给纯水而进行冲洗处理(23秒钟
×
2次)，接着进行旋转干燥，接着使用加热板在200℃下进行300秒钟的加热处理(后烘烤)，从而形成了固化膜的图案。
[0524]
关于所获得的固化膜的图案，使用otsuka electronics co.,ltd.制造的mcpd
‑
3000，测量了在波长400～700nm范围内的透光率(透射率)。
[0525]
接着，将混色评价用感光性树脂组合物旋涂于在上述中制作的固化膜的图案上，使用100℃的加热板进行120秒钟的加热处理(预烘烤)，从而形成了厚度0.6μm的涂布膜。作为混色评价用感光性树脂组合物，使用了上述的yellow组合物及magenta组合物。
[0526]
接着，将形成有混色评价用感光性树脂组合物的涂布膜的基板载置于旋转
·
喷淋显影机(dw
‑
30型、chemitronics co.,ltd.制造)的水平转台上，使用碱性显影液(cd
‑
2060、fujifilm electronic materials co.,ltd.制造)在室温下进行了60秒钟的旋覆浸没显影，从而剥离了混色评价用感光性树脂组合物的涂布膜。接着，以真空吸盘方式将旋覆浸没显影之后的基板固定于水平转台上，通过旋转装置使硅晶片以转速50rpm旋转的同时从其旋转中心的上方从喷嘴以喷淋状供给纯水而进行冲洗处理(23秒钟
×
2次)，接着进行旋转干燥，并且进行了混色评价试验。
[0527]
关于混色评价试验后的固化膜的图案，使用otsuka electronics co.,ltd.制造的mcpd
‑
3000，测量波长400～700nm范围内的透光率(透射率)而求出透射率的累计值的变化量，通过以下基准评价了混色。
[0528]
a：透射率的累计值的变化量小于1％
[0529]
b：透射率的累计值的变化量为1％以上且小于1.5％
[0530]
c：透射率的累计值的变化量为1.5％以上
[0531]
[表3]
[0532][0533]
[表4]
[0534][0535]
[表5]
[0536][0537]
如上述表所示，实施例中，作为青色的分光特性、耐光性及混色的评价优异。
[0538]
(实施例100)
[0539]
通过旋涂法将cyan组合物涂布于硅晶片上，以使制膜之后的膜厚成为1.0μm。接着，使用加热板在100℃下加热了2分钟。接着，使用i射线步进曝光装置fpa
‑
3000i5 (canon inc.制造)，以1000mj/cm2的曝光量并隔着2μm见方的点图案的掩模进行了曝光。接着，使用氢氧化四甲铵(tmah)0.3质量％水溶液，在23℃下进行60秒钟的旋覆浸没式显影。之后，通过旋转
·
喷淋进行冲洗，进一步通过纯水进行了水洗。接着，使用加热板，在200℃下加热5分钟，由此对cyan组合物进行了图案化。同样地，依次对yellow组合物、magenta组合物进行了图案化，形成青色、黄色及洋红色的着色图案(拜耳图案)来制造了滤色器。
[0540]
作为cyan组合物，使用了实施例2的感光性树脂组合物。
[0541]
作为yellow组合物、magenta组合物，分别使用了上述的yellow组合物及magenta组合物。
[0542]
按照公知的方法将所获得的滤色器嵌入于固体摄像元件中。该固体摄像元件具有合适的图像识别能力。