一种负压扩散炉用石英管的制作方法

1.本实用新型涉及石英管的技术领域，特别是涉及一种负压扩散炉用石英管。


背景技术：

2.在光伏行业，高温扩散炉与其内的石英管配合使用主要用于对单晶硅片和多晶硅片进行掺杂，形成pn结，目前常规石英管设置在扩散炉的腔体内，通过加热扩散炉来加温，在扩散工艺过程中，待扩散的硅片置于石英管中央，扩散炉开始升温，对硅片进行掺杂，从而改变和控制半导体内杂质的类型、浓度和分布，以便建立起不同的电特性区域。在热扩散的过程中需要进行进气、排气以及温度的测量等，在管体的尾部设置有多个空心的管道用于气体的进入或者排出等，但管道在使用时需要进行密封和定位，由于管道较细，且需要插置进气装置，所以仅靠管道自身难以定位，于是在气管的外围设置有空心玻璃管结构的密闭封口，帮助其定位和密闭，密闭封口需要焊接在气管上，由于二者易碎且直径较小，所以需要在气管上增加一定的结构，帮助其焊接牢固。


技术实现要素：

3.本实用新型目的是要提供一种负压扩散炉用石英管，解决了负压扩散炉用石英管上气管难以定位和密闭困难的问题。
4.为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：
5.本实用新型提供了一种负压扩散炉用石英管，包括带有空腔的管体、开口设置的端部和密闭设置的尾部，所述尾部连接有气管，所述气管和所述管体的空腔相连通，所述气管上还设置有密闭封口，所述密闭封口为空心石英管结构，所述气管上设置有凸起，所述密闭封口设置在气管的外围，所述密闭封口的一端连接在所述凸起上，另一端与负压扩散炉的定位结构相匹配。
6.优选地，所述凸起为半圆形凸起。
7.优选地，所述凸起与所述气管为一体成型结构设置。
8.由于上述技术方案运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点：
9.本实用新型的一种负压扩散炉用石英管，包括带有空腔的管体、设置在空腔两端的端部和尾部，端部开口设置，尾部连接有多个气管，气管和空腔相连通，气管用于进、排气装置和测温装置的进入，气管上还设置有凸起，凸起上连接有密闭封口，密闭封口为空心石英管结构，一端连接在凸起上，另一端与负压扩散炉的定位结构相匹配，密闭封口的存在使得气管的定位变得简单，凸起的作用扩大石英管和密闭封口的接触面积，使得焊接更加牢固，另外凸起的设置使得焊接时填充的物质较少。
附图说明
10.后文将参照附图以示例性而非限制性的方式详细描述本实用新型的一些具体实施例。附图中相同的附图标记标示了相同或类似的部件或部分。本领域技术人员应该理解，
这些附图未必是按比例绘制的。附图中：
11.图1是本实用新型优选实施例的内部结构剖视图。
12.其中，附图标记说明如下：
13.1、管体；2、端部；3、尾部；4、气管；5、密闭封口；6、凸起。
具体实施方式
14.下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
15.在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
16.参照图1所示，本实用新型包括带有空腔的管体1和设置在管体1两侧的端部2和尾部3，尾部3连接有气管4，气管4和管体1的空腔相连通，气管4的作用一般是进气管、排气管和热电偶管的插入。端部2开口设置，在使用时，石英管固定在负压扩散炉内，端部2和尾部3在管体1的定位时起到巨大的作用。
17.气管4在使用时，需要进行定位和密封，由于气管4本身直径的限制，导致难以依靠自身进行定位，于是在气管4上增加一个密闭封口5，密闭封口5为空心的石英管结构，套设在气管4上，每个气管4上均设置有半圆形的凸起6，密封封口5一端固定在凸起6上，另一端在石英管在炉体内定位时与负压扩散炉内的定位结构相匹配。
18.凸起6与气管4为一体成型的结构，一般在烧制时，直接烧制而成。
19.凸起6的结构可以为半圆形，也可以圆弧形结构。
20.具体使用时，整体在放置在负压扩散炉中时，密闭封口可以与炉内的定位结构进行对接，使得单个的气管4均有定位实现气管4快速的定位，进而实现石英管的快速定位。
21.上述实施例只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本实用新型的内容并据以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围，凡根据本实用新型精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。


技术特征：
1.一种负压扩散炉用石英管，其特征在于，包括带有空腔的管体、开口设置的端部和密闭设置的尾部，所述尾部连接有气管，所述气管和所述管体的空腔相连通，所述气管上还设置有密闭封口，所述密闭封口为空心石英管结构，所述气管上设置有凸起，所述密闭封口设置在气管的外围，所述密闭封口的一端连接在所述凸起上，另一端与负压扩散炉的定位结构相匹配。2.根据权利要求1所述的一种负压扩散炉用石英管，其特征在于：所述凸起为圆弧形凸起。3.根据权利要求1所述的一种负压扩散炉用石英管，其特征在于：所述凸起与所述气管为一体成型结构设置。

技术总结
本实用新型涉及一种负压扩散炉用石英管，包括带有空腔的管体、开口设置的端部和密闭设置的尾部，所述尾部连接有气管，所述气管和所述管体的空腔相连通，所述气管上还设置有密闭封口，所述密闭封口为空心石英管结构，所述气管上设置有凸起，所述密闭封口设置在气管的外围，所述密闭封口的一端连接在所述凸起上，另一端与负压扩散炉的定位结构相匹配；密闭封口的存在使得气管的定位变得简单，凸起的作用扩大石英管和密闭封口的接触面积，使得焊接更加牢固，另外凸起的设置使得焊接时填充的物质较少。少。少。


技术研发人员：陈文
受保护的技术使用者：苏州安融石英有限公司
技术研发日：2021.04.23
技术公布日：2021/12/3