一种铌酸锂衬底的波长可调谐的调制器及其制造方法与流程

技术特征：
1.一种铌酸锂衬底的波长可调谐的调制器，包括衬底晶片(1)、晶体载块(6)、光纤(7)、封装管壳(10)和排线限位机构，所述晶体载块(6)置于封装管壳(10)内，所述光纤(7)的一端和晶体载块(6)连接，另一端贯穿封装管壳(10)，所述衬底晶片(1)的上表面设置有铌酸锂薄膜基板(2)，且铌酸锂薄膜基板(2)上设置有光学波导(3)，所述铌酸锂薄膜基板(2)的上表面设置有缓冲层薄膜(4)，且缓冲层薄膜(4)的上表面设置有行波电极(5)，其特征在于：所述排线限位机构包括限位座(12)、弹簧(13)、抵块(14)和凸耳(15)，所述限位座(12)的侧表面设置有对称分布的凸耳(15)，且凸耳(15)固定于封装管壳(10)的内侧面，所述弹簧(13)的一端和限位座(12)的内侧面连接，另一端和抵块(14)连接，所述光纤(7)的一段置于限位座(12)内，并与抵块(14)相抵。2.根据权利要求1所述的一种铌酸锂衬底的波长可调谐的调制器，其特征在于：所述限位座(12)为“凹”型结构，所述凸耳(15)的表面开设有螺栓孔。3.根据权利要求1所述的一种铌酸锂衬底的波长可调谐的调制器，其特征在于：所述封装管壳(10)包括第一管壳单体(10
‑
1)、第二管壳单体(10
‑
2)，所述第一管壳单体(10
‑
1)的侧表面设置有对称分布的第一固定耳(16)，所述第二管壳单体(10
‑
2)的侧表面设置有对称分布的第二固定耳(17)，所述第一固定耳(16)和第二固定耳(17)通过螺丝固定，所述第一管壳单体(10
‑
1)和第二管壳单体(10
‑
2)上设置有导向组件。4.根据权利要求3所述的一种铌酸锂衬底的波长可调谐的调制器，其特征在于：所述导向组件包括导槽(18)、定位块(19)、定位槽(20)和导块(21)，所述第一管壳单体(10
‑
1)的底部设置有定位块(19)，且定位块(19)的底部开设有导槽(18)，所述第二管壳单体(10
‑
2)的顶部开设有和定位块(19)相匹配的定位槽(20)，且定位槽(20)的槽底设置有和导槽(18)相匹配的导块(21)。5.根据权利要求4所述的一种铌酸锂衬底的波长可调谐的调制器，其特征在于：所述导块(21)为柱形结构，所述导槽(18)为柱形槽。6.根据权利要求1所述的一种铌酸锂衬底的波长可调谐的调制器，其特征在于：所述光学波导(3)包括输入端直条波导(3
‑
1)、九十度弯曲波导(3
‑
2)、调制区波导(3
‑
3)和输出端直条波导(3
‑
4)，所述输入端直条波导(3
‑
1)和输出端直条波导(3
‑
4)分别置于铌酸锂薄膜基板(2)上，并通过九十度弯曲波导(3
‑
2)和调制区波导(3
‑
3)连接，所述调制区波导(3
‑
3)包括第一输入端y分支波导(3
‑3‑
1)、双臂直条波导(3
‑3‑
2)、第二输出端y分支波导(3
‑3‑
3)。7.根据权利要求1所述的一种铌酸锂衬底的波长可调谐的调制器，其特征在于：所述行波电极(5)位于封装管壳(10)的内部，且行波电极(5)包括输入端电极(5
‑
1)、过渡区电极(5
‑
2)、输出端电极(5
‑
3)、调制区电极(5
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5)，所述输入端电极(5
‑
1)和输出端电极(5
‑
3)分别置于铌酸锂薄膜基板(2)的左侧和右侧，且输入端电极(5
‑
1)和输出端电极(5
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3)通过过渡区电极(5
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2)、调制区电极(5
‑
5)连接。8.根据权利要求1所述的一种铌酸锂衬底的波长可调谐的调制器，其特征在于：还包括位于封装管壳(10)内部的微带电路陶瓷板(8)和匹配电阻陶瓷板(9)，所述封装管壳(10)的侧表面设置有射频连接器(11)。9.一种铌酸锂衬底的波长可调谐的调制器的制造方法，其特征在于：所述制造方法如下：
步骤一：将铌酸锂薄膜基板(2)设置在衬底晶片(1)上，通过衬底晶片(1)为铌酸锂薄膜基板(2)提供机械支撑；步骤二：将光学波导(3)制作在铌酸锂薄膜基板(2)中，采用局部掺杂、局部镀膜、脊形波导刻蚀工艺形成可以对光束进行局域性束缚的光学波导结构；步骤三：在铌酸锂薄膜基板(2)的上表面制作一层缓冲层薄膜(4)；步骤四：在缓冲层薄膜(4)的上表面左右两侧分别制作行波电极(5)；步骤五：将衬底晶片(1)、铌酸锂薄膜基板(2)、光学波导(3)、缓冲层薄膜(4)、行波电极(5)、晶体载块(6)、微带电路陶瓷板(8)、匹配电阻陶瓷板(9)封装在封装管壳(10)内，并在封装管壳(10)的侧表面设置射频连接器(11)。

技术总结
本发明公开了一种铌酸锂衬底的波长可调谐的调制器及其制造方法，包括衬底晶片、晶体载块、光纤、封装管壳和排线限位机构，所述晶体载块置于封装管壳内，所述光纤的一端和晶体载块连接，另一端贯穿封装管壳，所述衬底晶片的上表面设置有铌酸锂薄膜基板，且铌酸锂薄膜基板上设置有光学波导，所述铌酸锂薄膜基板的上表面设置有缓冲层薄膜；本发明的有益效果是：通过设计的排线限位机构，利用限位座、弹簧、抵块和凸耳的搭配，增加了光纤的排线限位效果，解决了传统中的光纤排线限位不便的问题；通过设计的导向组件，增加了第一管壳单体和第二管壳单体连接时的定位，使得第一管壳单体和第二管壳单体安装更高效，从而实现了封装管壳的快速拆装。速拆装。


技术研发人员：景卫 付星 赵禺 郑妍
受保护的技术使用者：景卫
技术研发日：2021.09.09
技术公布日：2021/12/3