基于核酸适配体的柔性声表面波生物传感器及其制作方法与流程

技术特征：
1.一种基于核酸适配体的柔性声表面波生物传感器，其特征在于，包括衬底(1)，衬底表面设置有一层压电薄膜(2)，压电薄膜(2)的表面设置有叉指谐振器(4)和两个叉指换能器(3)，叉指谐振器(4)位于两个叉指换能器(3)之间，叉指谐振器(4)的表面设置有二氧化硅薄膜(5)，二氧化硅薄膜的表面附着有单层石墨烯(6)，核酸适配体(8)通过含有芳香环结构的链接分子(7)锚固在石墨烯的表面。2.根据权利要求1所述的一种基于核酸适配体的柔性声表面波生物传感器，其特征在于，所述衬底为柔性衬底(1)。3.根据权利要求2所述的一种基于核酸适配体的柔性声表面波生物传感器，其特征在于，所述柔性衬底为聚酰亚胺、聚乙烯醇或聚酯。4.根据权利要求1所述的一种基于核酸适配体的柔性声表面波生物传感器，其特征在于，所述压电薄膜(2)为氧化锌或氮化铝压电薄膜。5.根据权利要求1所述的一种基于核酸适配体的柔性声表面波生物传感器，其特征在于，所述叉指换能器(3)的指条宽度2～10微米，并与相邻两个指条的间距等宽，数量20～40对，间距为整数倍波长。6.根据权利要求1所述的一种基于核酸适配体的柔性声表面波生物传感器，其特征在于，所述二氧化硅薄膜(5)的厚度为300～500纳米。7.根据权利要求1所述的一种基于核酸适配体的柔性声表面波生物传感器，其特征在于，所述的含有芳香环结构的链接分子(7)为1
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芘丁酸n
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羟基琥珀酰亚胺酯。8.一种权利要求1
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7任一项所述的一种基于核酸适配体的柔性声表面波生物传感器的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1、在柔性衬底(1)的表面沉积压电薄膜(2)；步骤2、在压电薄膜的表面沉积一对叉指换能器(3)，同时在一对叉指换能器之间沉积叉指谐振器(4)；步骤3、在叉指谐振器的表面沉积二氧化硅薄膜(5)；步骤4、在二氧化硅薄膜(5)的表面附着单层石墨烯(6)；步骤5、核酸适配体(8)通过含有芳香环结构的链接分子(7)(1
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pyrenebutyric acid n
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hydroxysuccinimide ester，pase)锚固在石墨烯的表面，得到基于核酸适配体的柔性声表面波石墨烯生物传感器。9.根据权利要求8所述的一种基于核酸适配体的柔性声表面波石墨烯生物传感器的制备方法，其特征在于，步骤5中核酸适配体(8)通过5’端修饰的氨基基团与pase分子上的酯基集团发生缩合反应共价链接到单层石墨烯的表面，完成生物功能化修饰。10.根据权利要求8所述的一种基于核酸适配体的柔性声表面波石墨烯生物传感器的制备方法，其特征在于，步骤1和步骤3均采用磁控溅射工艺沉积压电薄膜和二氧化硅薄膜；步骤2采用电子束蒸发工艺沉积叉指换能器和叉指谐振器。

技术总结
本发明公开的基于核酸适配体的柔性声表面波生物传感器及其制作方法，包括聚酰亚胺柔性衬底，其上方溅射有一层氧化锌压电薄膜，氧化锌压电薄膜的上方蒸镀有一对叉指换能器，一对叉指换能器的中间区域蒸镀有叉指谐振器，叉指谐振器的上方溅射有一层二氧化硅薄膜，二氧化硅薄膜上附着有单层石墨烯，然后核酸适配体通过含有芳香环结构的链接分子锚固在石墨烯的表面，完成生物功能化修饰；其中一端的叉指换能器用于激发声表面波，另外一端的叉指换能器用于接收声表面波，少量待测液滴在中心位置处，随着待测液中生物目标分子浓度的变化，声表面波的谐振频率会发生相应的改变，能完成多种生物标记物的检测，柔性声表面波具有良好的生物相容性。生物相容性。生物相容性。


技术研发人员：王朝晖 白橙 郑腾飞 丛志伟
受保护的技术使用者：西安交通大学
技术研发日：2021.08.27
技术公布日：2021/12/2