一种波导结构中抑制菲涅耳反射的结构的制作方法

技术特征：
1.一种波导结构中抑制菲涅耳反射的结构，其特征在于，包括渐变区域、条形区域以及圆弧区域；所述条形区域一端连接所述渐变区域，另一端连接所述圆弧区域；其中，所述渐变区域用于连接波导；所述条形区域的边长大小分别数倍于波导宽度。2.根据权利要求1所述的波导结构中抑制菲涅耳反射的结构，其特征在于，；所述圆弧区域的直径大小与所述条形区域的边长大小为同一个量级。3.根据权利要求1所述的波导结构中抑制菲涅耳反射的结构，其特征在于，所述条形区域为正方形。4.根据权利要求1所述的波导结构中抑制菲涅耳反射的结构，其特征在于，所述条形区域为矩形。5.根据权利要求1所述的波导结构中抑制菲涅耳反射的结构，其特征在于，所述条形区域为四边以上的多边形。6.根据权利要求1所述的波导结构中抑制菲涅耳反射的结构，其特征在于，所述圆弧区域为半圆形。7.根据权利要求1所述的波导结构中抑制菲涅耳反射的结构，其特征在于，所述条形区域的边长大小与波导宽度之间的倍数根据抑制反射的需求设置。8.根据权利要求1所述的波导结构中抑制菲涅耳反射的结构，其特征在于，所述条形区域的边长大小与波导宽度之间的倍数为80倍或以上。9.根据权利要求1所述的波导结构中抑制菲涅耳反射的结构，其特征在于：所述渐变区域的宽度为波导宽度的2倍，所述渐变区域的长度为波导宽度的4倍；所述条形区域的边长大小与波导宽度之间的倍数为4倍以上。10.一种波导结构，其特征在于：其应用如权利要求1至9任一项所述的波导结构中抑制菲涅耳反射的结构抑制菲涅耳反射。

技术总结
本发明针对现有技术的局限性，提出了一种波导结构中抑制菲涅耳反射的结构，包括渐变区域、条形区域以及圆弧区域；所述条形区域一端连接所述渐变区域，另一端连接所述圆弧区域；其中，所述渐变区域用于连接波导；所述条形区域的边长大小分别数倍于波导宽度。相较于现有技术，本发明基本上不会受到工艺精度与误差的影响，更易于实现以及制造加工；在这种结构中，光难以从较大的条形区域耦合进入较小的波导中，因而能起到很好的菲涅耳反射抑制效果。因而能起到很好的菲涅耳反射抑制效果。因而能起到很好的菲涅耳反射抑制效果。


技术研发人员：邢泽宇 周晓祺
受保护的技术使用者：中山大学
技术研发日：2021.09.07
技术公布日：2021/12/2