技术特征：
1.一种包含金属氧化物材料的薄膜涂层，其中所述金属氧化物材料包含Ir以及金属M和M'，其中M和M'相同或不同并且为Ru、Rh、Pd、Os或Pt。
2.根据权利要求1所述的薄膜涂层，其中存在于所述金属氧化物材料中的氧与总金属物质Ir、M和M'的原子比在1:1至4:1的范围内并且包括端值。
3.根据权利要求1或权利要求2所述的薄膜涂层，其中Ir与总金属M和M'的原子比在20:1至1:20的范围内并且包括端值。
4.根据任一项前述权利要求所述的薄膜涂层，其中M和M'各自独立地为Ru、Rh或Pd。
5.根据权利要求4所述的薄膜涂层，其中M和M'各自独立地为Ru或Rh。
6.根据任一项前述权利要求所述的薄膜涂层，其中M和M'不同。
7.根据权利要求5所述的薄膜，其中M和M'为Ru。
8.根据权利要求5所述的薄膜，其中M和M'为Rh。
9.根据权利要求4所述的薄膜涂层，其中M和M'为Pd。
10.根据权利要求6所述的薄膜涂层，其中M为Rh并且M'为Ru。
11.一种包含金属氧化物材料的薄膜涂层，其中所述金属氧化物材料为Rha-1Oa，其中a在2至3的范围内并且包括端值。
12.一种包含金属氧化物材料的薄膜涂层，其中所述金属氧化物材料为RuOb，其中b在2至4的范围内并且包括端值。
13.一种包含金属氧化物材料的薄膜涂层，其中所述金属氧化物材料具有式(Ir1-x[MM’]x)nOn y，其中：
x在0.05至1的范围内并且包括端值；
n在1至2的范围内并且包括端值；
y在0至3的范围内并且包括端值；
M和M'相同或不同并且为Ru、Rh、Pd、Os或Pt；并且
其中当x为1时，M和M'相同。
14.根据权利要求13所述的薄膜涂层，其中n y不超过4。
15.根据权利要求13或权利要求14所述的薄膜涂层，其中x小于1。
16.根据权利要求15所述的薄膜涂层，其中x在0.05至0.95的范围内并且包括端值。
17.根据权利要求13或权利要求14所述的薄膜涂层，其中所述金属氧化物材料具有式(MM’)nOn y。
18.根据权利要求13至16中任一项所述的薄膜涂层，其中M和M'各自独立地为Ru、Rh或Pd。
19.根据权利要求13至18中任一项所述的薄膜涂层，其中M和M'各自独立地为Ru或Rh。
20.根据权利要求13至16、18或19中任一项所述的薄膜涂层，其中M和M'不同。
21.根据权利要求13至17中任一项所述的薄膜涂层，其中M和M'为Ru。
22.根据权利要求13至17中任一项所述的薄膜涂层，其中M和M'为Rh。
23.根据权利要求13至16中任一项所述的薄膜涂层，其中M和M'为Pd。
24.根据权利要求20所述的薄膜涂层，其中M为Ru并且M'为Rh。
25.根据任一项前述权利要求所述的薄膜涂层，其中所述薄膜涂层具有至少5mC/cm2的电荷存储容量。
26.根据权利要求25所述的薄膜涂层，其中所述薄膜涂层具有至少25mC/cm2的电荷存储容量。
27.根据任一项前述权利要求所述的薄膜涂层，其中所述薄膜涂层的表面由平均长宽比在0.25至1的范围内并且包括端值并且平均圆度在0.25至1的范围内并且包括端值的晶粒组成。
28.根据任一项前述权利要求所述的薄膜涂层，其中所述薄膜涂层具有在100nm至2000nm的范围内并且包括端值的厚度。
29.一种通过反应溅射来沉积如任一项前述权利要求所定义的薄膜涂层的方法，其中：
反应溅射期间的氧分压为至少20％。
30.根据权利要求29所述的方法，其中溅射气体还包含氮气。
31.根据权利要求30所述的方法，其中所述氮气的分压在5％至30％的范围内并且包括端值。
32.根据权利要求29至31中任一项所述的方法，其中反应溅射期间的温度不超过750℃。
33.根据权利要求29至32中任一项所述的方法，其中反应溅射期间的压力在1mT至100mT的范围内并且包括端值。
34.根据权利要求29至33中任一项所述的方法，其中反应溅射期间的氧分压不超过90％。
35.一种包含金属氧化物材料的薄膜涂层，所述薄膜涂层可通过根据权利要求28至34中任一项所述的方法获得。
36.一种电极，所述电极包括根据权利要求1至28或35中任一项所述的薄膜涂层。
37.一种医疗装置，所述医疗装置包括根据权利要求36所述的电极。
38.根据权利要求37所述的医疗装置，其中所述医疗装置是生物可植入的。
39.根据权利要求38所述的医疗装置，其中所述医疗装置为皮层视觉假体、假肢、骶神经刺激器、脊髓刺激器、胃电刺激器、深部脑刺激器、迷走神经刺激器、电生理导管、耳蜗植入物、神经刺激器或心律管理装置。
40.根据权利要求39所述的医疗装置，其中所述医疗装置为神经刺激器。
41.根据权利要求39所述的医疗装置，其中所述医疗装置为心律管理装置。
42.根据权利要求37所述的医疗装置，其中所述医疗装置为诊断性的。
43.根据权利要求1至28或35中任一项所述的薄膜涂层在医疗装置中的用途。
44.根据权利要求36所述的电极在医疗装置中的用途。
45.根据权利要求43或权利要求44所述的用途，其中所述医疗装置为皮层视觉假体、假肢、骶神经刺激器、脊髓刺激器、胃电刺激器、深部脑刺激器、迷走神经刺激器、电生理导管、耳蜗植入物、神经刺激器或心律管理装置。
46.根据权利要求45所述的用途，其中所述医疗装置为神经刺激器。
47.根据权利要求45所述的用途，其中所述医疗装置为心律管理装置。
48.根据权利要求43或权利要求44所述的用途，其中所述医疗装置为诊断性的。
技术总结
本发明提供了一种包含金属氧化物材料的薄膜涂层，其中所述金属氧化物材料包含Ir以及金属M和M'，其中M和M'相同或不同并且为Ru、Rh、Pd、Os或Pt。
技术研发人员：S·阿米尼;J·D·赫廷格;G·泰勒;
受保护的技术使用者：庄信万丰股份有限公司;
技术研发日：2020.05.29
技术公布日：2021.12.03
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