一种方便安装的光刻胶供应装置的制作方法

1.本实用新型涉及光刻胶技术领域，具体为一种方便安装的光刻胶供应装置。


背景技术：

2.光刻胶又称光致抗蚀剂，是指通过紫外光、电子束、离子束、x射线等的照射或辐射，其溶解度发生变化的耐蚀剂刻薄膜材料。由感光树脂、增感剂和溶剂3种主要成分组成的对光敏感的混合液体。在光刻工艺过程中，用作抗腐蚀涂层材料。半导体材料在表面加工时，若采用适当的有选择性的光刻胶，可在表面上得到所需的图像。光刻胶按其形成的图像分类有正性、负性两大类。在光刻胶工艺过程中，涂层曝光、显影后，曝光部分被溶解，未曝光部分留下来，该涂层材料为正性光刻胶。如果曝光部分被保留下来，而未曝光被溶解，该涂层材料为负性光刻胶。按曝光光源和辐射源的不同，又分为紫外光刻胶（包括紫外正、负性光刻胶）、深紫外光刻胶、x
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射线胶、电子束胶、离子束胶等。光刻胶主要应用于显示面板、集成电路和半导体分立器件等细微图形加工作业。光刻胶生产技术较为复杂，品种规格较多，在电子工业集成电路的制造中，对所使用光刻胶有严格的要求，光刻胶在生产的过程中需要持续的原料供应，光刻胶原料被放置在专门的容器内，并通过容器内的原料为光刻胶的生产进行持续的供应处理。
3.然而，现有的光刻胶供应原料容器的安装方式存在以下的问题：（1）现有的光刻胶原料容器的安装方式较为固定，当需要对容器进行清洁处理时，拆装不便；（2）供应原料容器的安装高度一定，无法根据需要对容器的高度进行调节，外接管道弯曲，容易导致供应原料容器的管道内部滞留，从而影响下料效果。为此，需要设计相应的技术方案解决存在的技术问题。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供一种方便安装的光刻胶供应装置，解决了现有的光刻胶原料容器的安装方式较为固定，当需要对容器进行清洁处理时，拆装不便，这一技术问题。
5.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种方便安装的光刻胶供应装置，包括垂直设置的提升架和安装于提升架上的原料供应容器，所述提升架的底部固定于地面且表面纵向开设有导向槽，所述导向槽内活动设置有滑块，所述滑块的中部穿插有螺杆，所述螺杆的下端与导向槽内壁活动连接且上端设置有驱动电机，所述驱动电机的动力输出端与螺杆相连接，所述滑块的外侧固定有对接板，所述对接板的两侧对称开设有两组卡口，所述卡口的外侧连通有锁紧口，所述锁紧口处安装有锁紧片，两组所述卡口内均穿插有挂杆，所述挂杆的外端固定连接有外环，所述外环固定于原料供应容器的外壁上，所述原料供应容器的下沿开设有安装口，所述安装口内开设有排液口，所述排液口处活动设置有排液管。
6.作为本实用新型的一种优选实施方式，所述锁紧片包括呈倾斜状固定的金属弹片
和固定于金属弹片内侧的插杆，所述挂杆的外侧开设有配合插杆使用的插口。
7.作为本实用新型的一种优选实施方式，所述排液管包括管体和固定于管体末端的球状接头，所述管体上安装有阀门，所述球状接头的内部开设有槽口，所述槽口与管体相连通。
8.作为本实用新型的一种优选实施方式，所述球状接头上设置有两组套环，两组所述套环分别为套环一和套环二。
9.作为本实用新型的一种优选实施方式，所述套环一安装于排液口处，所述套环二安装于排液口的内侧，所述套环一和套环二的规格均小于球状接头的直径。
10.与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：
11.1.本方案对光刻胶供应原料容器的高度进行了改进，对容器设计有可提升的设计方式，一方面可以有效的节约设备安装的空间，另一方面减小原料滞留在外接管道内，影响下料效果。
12.2.本方案对原料容器采用活动式的挂扣锁紧方式，当需要对原料容器进行拆装清洁时，方便将原料容器取下并进行清洁处理，操作简单，便于使用。
附图说明
13.图1为本实用新型的整体结构图；
14.图2为本实用新型所述所述滑块与外环的连接俯视图；
15.图3为本实用新型局部a结构图；
16.图4为本实用新型所述球状接头结构图。
17.图中:1、提升架；2、原料供应容器；3、导向槽；4、滑块；5、螺杆；6、驱动电机；7、对接板；8、卡口；9、锁紧口；10、挂杆；11、外环；12、安装口；13、排液口；14、排液管；15、金属弹片；16、插杆；17、插口；18、管体；19、球状接头；20、阀门；21、槽口；22、套环一；23、套环二。
具体实施方式
18.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
19.请参阅图1
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4，本实用新型提供一种技术方案：一种方便安装的光刻胶供应装置，包括垂直设置的提升架1和安装于提升架1上的原料供应容器2，提升架1的底部固定于地面且表面纵向开设有导向槽3，导向槽3内活动设置有滑块4，滑块4的中部穿插有螺杆5，螺杆5的下端与导向槽3内壁活动连接且上端设置有驱动电机6，驱动电机6的动力输出端与螺杆5相连接，滑块4的外侧固定有对接板7，对接板7的两侧对称开设有两组卡口8，卡口8的外侧连通有锁紧口9，锁紧口9处安装有锁紧片，两组卡口8内均穿插有挂杆10，挂杆10的外端固定连接有外环11，外环11固定于原料供应容器2的外壁上，原料供应容器2的下沿开设有安装口12，安装口12内开设有排液口13，排液口13处活动设置有排液管14。
20.进一步改进地，如图2所示：锁紧片包括呈倾斜状固定的金属弹片15和固定于金属弹片15内侧的插杆16，挂杆10的外侧开设有配合插杆16使用的插口17。
21.进一步改进地，如图3所示：排液管14包括管体18和固定于管体18末端的球状接头19，管体18上安装有阀门20，球状接头19的内部开设有槽口21，槽口21与管体18相连通，这样的设计方式便于在原料供应容器2在上下移动时，排液管14进行伴随性的角度调节，使得更好的下料。
22.进一步改进地，如图4所示：球状接头19上设置有两组套环，两组套环分别为套环一22和套环二23。
23.具体地，套环一22安装于排液口13处，套环二23安装于排液口13的内侧，套环一22和套环二23的规格均小于球状接头19的直径，这样的设计方式便于对球状接头19进行限位处理。
24.在使用时：本实用新型当需要对原料供应容器2进行安装时，将原料供应容器2上的挂杆10对应插入卡扣8内并通过锁紧片卡入锁紧口9内，使得插杆16对应卡入插口17内，从而达到对原料供应容器2锁紧安装的目的，当需要对原料供应容器2的高度进行调节时，可以通过驱动电机6带动螺杆5转动，螺杆5在转动的过程中滑块4顺着导向槽3进行上下调节移动，从而达到对原料供应容器2高度调节的目的，在调节的过程中排液管14的角度自适应调节。
25.最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。