传输复合体以及包括其的传输模组的制作方法

1.本发明涉及传输复合体以及包括其的传输模组，更加详细地涉及包括颜色以及透明度中的至少一个被调整的保护片的传输复合体。


背景技术：

2.光刻工艺是在基板上形成金属图案的工艺。光刻工艺用于制造包括集成电路、高集成电路等的半导体以及包括半导体的显示装置等。
3.为了形成金属图案，使用掩模条等金属条，金属条可以以层叠的状态进行搬运。在搬运时，可以在层叠的金属条之间提供保护片。保护片需要使杂质的产生最小化的同时保护金属条的功能。


技术实现要素：

4.本发明的目的在于提供一种传输复合体，该传输复合体包括金属条以及与金属条容易分离且杂质的产生得到改善的保护片。
5.本发明的目的在于提供一种传输模组，该传输模组包括多个传输复合体，该传输复合体包括金属条以及与金属条容易分离且杂质的产生得到改善的保护片。
6.一实施例提供一种传输复合体，其包括：金属条，包括在一方向上隔开的一面以及另一面；第一保护片，与所述一面相邻；以及第二保护片，与所述另一面相邻，所述第一保护片以及所述第二保护片分别在380nm以上且800nm以下的波长区域中透光率为0％以上且50％以下，并在380nm以上且800nm以下的波长区域中各自的吸光度为不足95％。
7.可以是，所述第一保护片以及所述第二保护片分别包括聚丙烯、聚苯乙烯以及聚乙烯中的至少一种。
8.可以是，所述第一保护片以及所述第二保护片中的至少一个包括无光涂层。
9.可以是，所述第一保护片包括在所述一方向上隔开的第一面以及第二面，所述第一面以及所述第二面中的至少一个被无光涂层。
10.可以是，所述第一保护片以及所述第二保护片分别反射400nm以上且800nm以下、570nm以上且620nm以下或者380nm以上且500nm以下波长的光。
11.可以是，所述第一保护片以及所述第二保护片各自包括防静电剂。
12.可以是，所述第一保护片以及所述第二保护片各自的厚度为100μm以上且500μm以下。
13.可以是，所述第一保护片与所述第二保护片整面重叠，所述第一保护片以及所述第二保护片分别包括：重叠部，与所述金属条重叠；以及非重叠部，配置在所述重叠部的外围且与所述金属条不重叠。
14.可以是，所述金属条是用于光刻工艺的掩模条，在平面上所述第一保护片以及所述第二保护片各自的面积大于所述掩模条的面积。
15.可以是，在平面上所述第一保护片、所述第二保护片以及所述金属条各自是包括
两个长边以及两个短边的四边形形状，所述第一保护片以及所述第二保护片各自的长边长度比所述金属条的长边长度长20mm以上，所述第一保护片以及所述第二保护片各自的短边长度比所述金属条的短边长度长10mm以上。
16.可以是，所述金属条是镍以及铁的合金。
17.一实施例提供一种传输模组，其包括：多个金属条，在一方向上层叠；以及两个以上的保护片，配置在所述金属条之间，所述保护片分别在380nm以上且800nm以下的波长区域中透光率为0％以上且50％以下，并在380nm以上且800nm以下的波长区域中吸光度为不足95％。
18.可以是，所述传输模组包括相邻的第一传输复合体以及第二传输复合体，所述第一传输复合体以及所述第二传输复合体分别包括：所述多个金属条中的任一个金属条；以及与所述任一个金属条的上面以及下面分别相邻配置的第一保护片以及第二保护片。
19.可以是，所述保护片各自包括聚丙烯、聚苯乙烯以及聚乙烯中的至少一种。
20.可以是，所述保护片各自包括在所述一方向上隔开的第一面以及第二面，所述第一面以及所述第二面中的至少一个被无光涂层。
21.可以是，所述第一面被无光涂层，所述第一面以所述一方向为基准位于上侧。
22.可以是，所述保护片各自反射400nm以上且800nm以下、570nm以上且620nm以下或者380nm以上且500nm以下波长的光。
23.可以是，所述保护片各自包括防静电剂。
24.可以是，在与所述保护片接触的所述金属条的一面上平均杂质数是20个以下。
25.可以是，所述金属条包括依次层叠的第一金属条以及第二金属条，所述保护片分别配置在所述第一金属条的上方、所述第一金属条和所述第二金属条之间以及所述第二金属条下方。
26.(发明效果)
27.一实施例的传输复合体可以提供金属条以及与金属条容易分离且杂质的产生得到改善的保护片。
28.另外，一实施例可以提供一种传输模组，该传输模组包括多个传输复合体，该传输复合体包括金属条以及与金属条容易分离且杂质的产生得到改善的保护片。
附图说明
29.图1是示出一实施例的传输复合体的分解立体图。
30.图2是示出一实施例的传输复合体的分解立体图。
31.图3是示出与图1的i
‑
i'线相对应的部分的截面图。
32.图4是示出一实施例的传输复合体的截面图。
33.图5是示出一实施例的传输模组的分解立体图。
34.图6是示出金属条中含有的杂质数的图表。
35.(附图标记说明)
36.ps：保护片
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
md：金属条
37.tc：传输复合体
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
tm：传输模组
具体实施方式
38.本发明可以施加各种变形，可以具有各种形式，将特定实施例在附图中进行例示并在本文中进行详细说明。但是，其并不是要将本发明限定为特定的公开形式，应理解为包括包括在本发明的构思以及技术范围中的所有变形、等同物乃至替代物。
39.在本说明书中，在提及某构成要件(或者区域、层、部分等)“在”其它构成要件“上”、“连接”或者“结合”于其它构成要件的情况下，其意指可以直接配置/连接/结合于其它构成要件上或者也可以在它们之间配置有第三构成要件。
40.相同的附图标记指称相同的构成要件。另外，在附图中，构成要件的厚度、比例以及尺寸为了技术内容的有效说明而放大。
[0041]“及/或”将关联的结构能够定义的一个以上的组合全部包括。
[0042]
第一、第二等用语可以用于说明各种构成要件，但是上述构成要件不应被上述用语限定。上述用语仅以将一个构成要件区分于其它构成要件的目的使用。例如，在不脱离本发明的权利范围的同时，第一构成要件可以命名为第二构成要件，类似地第二构成要件也可以命名为第一构成要件。除非在文脉上明确不同地表示，否则单数的表述包括复数的表述。
[0043]
另外，“之下”、“下侧”、“之上”、“上侧”等用语为了说明图中示出的结构的关联关系而使用。上述用语是相对性概念，以在附图中标示的方向为基准进行说明。
[0044]
除非不同地定义，否则在本说明书中使用的所有用语(包括技术用语以及科学用语)具有与由本发明所属技术领域的本领域技术人员通常理解的含义相同的含义。另外，在通常使用的字典中所定义的用语之类的用语应该解释为具有与在关联技术的脉络中含义一致的含义，只要没有解释为理想化或过于形式化的含义，则在此明示地定义。
[0045]
应理解为“包括”或“具有”等用语是要指定说明书中记载的特征、数字、步骤、动作、构成要件、部件或这些组合的存在，并不预先排除一个或其以上的其它特征或数字、步骤、动作、构成要件、部件或这些组合的存在或附加可能性。
[0046]
以下，参考附图说明根据本发明的一实施例的传输复合体以及包括其的传输模组。
[0047]
图1是示出一实施例的传输复合体tc的分解立体图。图2是示出一实施例的传输复合体tc的分解立体图。图3是示出容纳在托盘ra中的传输复合体tc的截面图，示出与图1的i
‑
i'线相对应的部分。图4是示出一实施例的传输复合体tc的截面图。图5是示出一实施例的传输模组tm的分解立体图。
[0048]
参照图1，一实施例的传输复合体tc可以通过托盘ra搬运。托盘ra可以容纳传输复合体tc。托盘ra可以是为了搬运传输复合体tc而使用的工具。但是，其是例示性的，传输复合体tc也可以通过其他装置或者工具搬运。图1中示出一个传输复合体tc，但可以在托盘ra容纳多个传输复合体。例如，可以在托盘ra容纳20个传输复合体tc。20个传输复合体tc可以以层叠的状态进行搬运。
[0049]
一实施例的传输复合体tc可以包括金属条md以及保护片ps1、ps2。保护片ps1、ps2是两个以上的保护片，可以包括第一保护片ps1以及第二保护片ps2。一实施例的传输模组tm可以包括多个金属条以及分别配置在金属条之间的两个以上的保护片。针对传输模组tm，在后面参照图5进行详细说明。
[0050]
金属条md可以包括在一方向上隔开的一面md
‑
f1(图4)以及另一面md
‑
f2(图4)。一面md
‑
f1以及另一面md
‑
f2可以以第三方向轴dr3所延伸的方向为基准隔开。金属条md的一面md
‑
f1以及另一面md
‑
f2可以分别是金属条md的上面(或者前面)以及下面(或者背面)。
[0051]
保护片ps1、ps2可以与金属条md的一面md
‑
f1以及另一面md
‑
f2相邻配置。第一保护片ps1以及第二保护片ps2可以分别与金属条md的一面md
‑
f1以及另一面md
‑
f2相邻配置。例如，第一保护片ps1可以与金属条md的一面md
‑
f1，即上面相邻配置。第二保护片ps2可以与金属条md的另一面md
‑
f2，即下面相邻配置。保护片ps1、ps2可以分别与金属条md相邻配置，从而在搬运金属条md时保护金属条md。
[0052]
传输复合体tc可以包括在彼此相对的第一保护片ps1和第二保护片ps2之间提供的金属条md。可以是，在第一保护片ps1下方提供金属条md，在金属条md下方提供第二保护片ps2。传输复合体tc可以依次层叠有第一保护片ps1、金属条md以及第二保护片ps2。
[0053]
第一保护片ps1以及第二保护片ps2可以不透明。根据一实施例，在380nm以上且800nm以下的波长区域中，第一保护片ps1以及第二保护片ps2各自的透光率可以是0％以上且50％以下。可以是，在380nm以上且800nm以下的波长区域中，透光率越接近0％，非透明性越增加。
[0054]
在380nm以上且800nm以下的波长区域中，第一保护片ps1以及第二保护片ps2各自的吸光度可以不足95％。在380nm以上且800nm以下的波长区域中，吸光度为95％以上的物体可以显现为黑色。在380nm以上且800nm以下的波长区域中，当第一保护片ps1以及第二保护片ps2各自的吸光度不足95％时，第一保护片ps1以及第二保护片ps2的颜色可以分别不是黑色。第一保护片ps1以及第二保护片ps2可以分别显示除黑色之外的其他颜色。例如，第一保护片ps1以及第二保护片ps2可以分别是白色。作为其他例，第一保护片ps1以及第二保护片ps2可以分别是黄色。与此不同，第一保护片ps1和第二保护片ps2的颜色可以彼此不同。第一保护片ps1可以是白色，第二保护片ps2可以是黄色。但是，其是例示性的，第一保护片ps1以及第二保护片ps2的颜色不限于此。
[0055]
例如，在380nm以上且800nm以下的波长区域中，第一保护片ps1的透光率可以是0％，第一保护片ps1的吸光度可以不足95％。在380nm以上且800nm以下的波长区域中，第二保护片ps2的透光率可以是0％，第二保护片ps2的吸光度可以不足95％。
[0056]
根据一实施例，第一保护片ps1以及第二保护片ps2可以分别反射400nm以上且800nm以下、570nm以上且620nm以下或者425nm以上且495nm以下波长的光。例如，第一保护片ps1以及第二保护片ps2可以分别反射400nm以上且800nm以下波长的光。将400nm以上且800nm以下波长的光大部分反射的物体可以显现为白色。或者，第一保护片ps1以及第二保护片ps2可以分别反射570nm以上且620nm以下波长的光。与此不同，第一保护片ps1以及第二保护片ps2可以分别反射425nm以上且495nm以下波长的光。
[0057]
例如，在380nm以上且800nm以下的波长区域中，若第一保护片ps1的透光率为0％，第一保护片ps1将400nm以上且800nm以下波长的光大部分反射，则第一保护片ps1可以是不透明的白色的保护片。在380nm以上且800nm以下的波长区域中，若第一保护片ps1的透光率为0％，第一保护片ps1反射590nm以上且620nm以下波长的光，则第一保护片ps1可以是不透明的橘黄色的保护片。在380nm以上且800nm以下的波长区域中，若第一保护片ps1的透光率为0％，第一保护片ps1反射570nm以上且590nm以下波长的光，则第一保护片ps1可以是不透
明的黄色的保护片。在380nm以上且800nm以下的波长区域中，若第一保护片ps1的透光率为0％，第一保护片ps1反射450nm以上且500nm以下波长的光，则第一保护片ps1可以是不透明的蓝色的保护片。在380nm以上且800nm以下的波长区域中，若第一保护片ps1的透光率为0％，第一保护片ps1反射420nm以上且450nm以下波长的光，则第一保护片ps1可以是不透明的藏青色的保护片。但是，其是例示性的，实施例不限于此。
[0058]
在380nm以上且800nm以下的波长区域中，若第一保护片ps1以及第二保护片ps2各自的透光率为0％以上且50％以下，则可以容易分离金属条md和保护片ps1、ps2。在搬运金属条md时，为了保护金属条md，可以提供保护片ps1、ps2。在搬运金属条md之后，为了从金属条md分离保护片ps1、ps2，可以使用吸附装置。吸附装置可以通过摄像机识别金属条md以及保护片ps1、ps2，从而分别分离金属条md和保护片ps1、ps2。当保护片ps1、ps2的透光率超过50％时，吸附装置的摄像机可能无法识别与金属条md相邻配置的保护片ps1、ps2。当吸附装置的摄像机没能识别到保护片ps1、ps2时，保护片ps1、ps2从金属条md没被分离，保护片ps1、ps2可能以与金属条md相邻配置的状态残留。
[0059]
一实施例的包括在传输复合体tc中的保护片ps1、ps2在380nm以上且800nm以下的波长区域中透光率为0％以上且50％以下，可以改善吸附装置的摄像机对保护片ps1、ps2的识别率。另外，在380nm以上且800nm以下的波长区域中，一实施例的保护片ps1、ps2的吸光度不足95％，从而保护片ps1、ps2的颜色可以是除黑色之外的颜色。不是黑色的保护片ps1、ps2可以容易被吸附装置的摄像机识别。由此，可以从金属条md容易分离保护片ps1、ps2。
[0060]
另一方面，第一保护片ps1以及第二保护片ps2可以分别包括聚丙烯(polypropylene)、聚苯乙烯(polystyrene)以及聚乙烯(polyethylene)中的至少一种。例如，第一保护片ps1以及第二保护片ps2可以分别包括聚丙烯。以往，在搬运金属条时使用含有纤维素(cellulose)的保护片，含有纤维素的保护片呈现纤维素引起的杂质产生率高。根据本发明的一实施例的保护片ps1、ps2分别不包含纤维素，从而可以降低因保护片ps1、ps2产生的杂质数。
[0061]
一实施例的第一保护片ps1以及第二保护片ps2可以分别包括防静电剂。防静电剂的种类不特别限定，例如保护片ps1、ps2可以分别包括导电性碳、导电性高分子、纳米金属或者表面活性剂等而作为防静电剂。导电性碳例如可以是碳黑。导电性高分子例如可以是聚苯胺(polyaniline)、聚吡咯(polypyrrole)或者聚噻吩(polythiophene)。纳米金属例如可以是ito(氧化铟锡；indium tin oxide)、ato(氧化锡锑；antimony doped tin oxide)或者银(ag)。表面活性剂可以是胺类表面活性剂、甘油类表面活性剂、酰胺类表面活性剂、铵盐、磺酸或者磷酸盐、磷酸或者磷酸盐、或者甜菜碱(betaine)类化合物。当保护片ps1、ps2包括防静电剂时，可以释放在金属条md中产生的静电。因此，在分离金属条md和第一保护片ps1以及第二保护片ps2时，可以防止保护片ps1、ps2粘在金属条md。
[0062]
在平面上，第一保护片ps1、第二保护片ps2以及金属条md各自可以是包括两个长边以及两个短边的四边形形状。金属条md可以是包括两个长边以及两个短边的四边形形状的掩模条。但是，其是例示性的，第一保护片ps1、第二保护片ps2以及金属条md的形状不限于此。另外，金属条md可以是包含镍(ni)以及铁(fe)的合金。例如，金属条md可以是包含镍以及铁的不锈钢(stainless steel)。
[0063]
图2中示出第一保护片ps1、第二保护片ps2以及金属条md各自的长边与第二方向
轴dr2所延伸的方向平行的情况。示出为第一保护片ps1、第二保护片ps2以及金属条md各自的短边与第一方向轴dr1所延伸的方向平行。
[0064]
根据一实施例，在平面上第一保护片ps1以及第二保护片ps2各自的面积可以大于金属条md的面积。第一保护片ps1以及第二保护片ps2各自的长边长度可以长于金属条md的长边长度。第一保护片ps1以及第二保护片ps2各自的短边长度可以长于金属条md的短边长度。第一保护片ps1的长边长度可以长于金属条md的长边长度。第一保护片ps1的短边长度可以长于金属条md的短边长度。第二保护片ps2的长边长度可以长于金属条md的长边长度。第二保护片ps2的短边长度可以长于金属条md的短边长度。
[0065]
参照图2，第二保护片ps2的长边长度可以比金属条md的长边长度长l1以上。第二保护片ps2的长边长度和金属条md的长边长度之差可以是l1。l1是从金属条md的短边的一地点到第二保护片ps2的短边的一地点为止的最短距离，l1可以与第二方向轴dr2所延伸的方向平行。l1可以是10mm以上。第二保护片ps2的长边长度可以从金属条md的长边的两端点分别长出10mm以上。即，第二保护片ps2的长边长度可以比金属条md的长边长度长20mm以上。
[0066]
另外，第二保护片ps2的短边长度可以比金属条md的短边长度长l2以上。第二保护片ps2的短边长度和金属条md的短边长度之差可以是l2。l2是从金属条md的长边的一地点到第二保护片ps2的长边的一地点为止的最短距离，l2可以与第一方向轴dr1所延伸的方向平行。l1可以是5mm以上。第二保护片ps2的短边长度可以从金属条md的短边的两端点分别长出5mm以上。即，第二保护片ps2的短边长度可以比金属条md的短边长度长10mm以上。
[0067]
参照图3，第一保护片ps1可以与第二保护片ps2整面重叠。第一保护片ps1和第二保护片ps2可以分别包括与金属条md重叠的重叠部p1、p2以及与金属条md不重叠的非重叠部np1、np2。第一保护片ps1和第二保护片ps2的非重叠部np1、np2可以分别配置在重叠部p1、p2的外围。第一保护片ps1可以包括与金属条md重叠的第一重叠部p1以及与金属条md不重叠的第一非重叠部np1。第一非重叠部np1可以配置在第一重叠部p1的外围。第二保护片ps2可以包括与金属条md重叠的第二重叠部p2以及与金属条md不重叠的第二非重叠部np2。第二非重叠部np2可以配置在第二重叠部p2的外围。在平面上，第一保护片ps1的第一重叠部p1和第二保护片ps2的第二重叠部p2可以接触。
[0068]
如上所述，第一保护片ps1以及第二保护片ps2各自的面积大于金属条md的面积，第一保护片ps1的长边以及短边和第二保护片ps2的长边以及短边可以分别相邻。第一保护片ps1的长边和第二保护片ps2的长边可以接触。第一保护片ps1的短边和第二保护片ps2的短边可以接触。
[0069]
第一保护片ps1以及第二保护片ps2各自的厚度t1、t2可以是100μm以上且500μm以下。以第三方向轴dr3所延伸的方向为基准，第一保护片ps1的厚度t1可以是100μm以上且500μm以下。以第三方向轴dr3所延伸的方向为基准，第二保护片ps2的厚度t2可以是100μm以上且500μm以下。
[0070]
在一实施例的传输复合体tc中，第一保护片ps1以及第二保护片ps2中的至少一个可以包括无光涂层。第一保护片ps1以及第二保护片ps2可以分别包括以第三方向轴dr3所延伸的方向为基准彼此隔开的第一面以及第二面。包括在第一保护片ps1中的第一面ps1
‑
f1以及第二面ps1
‑
f2中的至少一个可以被无光涂层。包括在第二保护片ps2中的第一面以
及第二面中的至少一个可以被无光涂层。例如，可以是，第一保护片ps1以及第二保护片ps2中仅第一保护片ps1包括无光涂层ac，第一保护片ps1的第一面ps1
‑
f1被无光涂层。或者，可以是，第一保护片ps1和第二保护片ps2都包括无光涂层ac，第一保护片ps1的第一面ps1
‑
f1和第二保护片ps2的第一面分别被无光涂层。但是，其是例示性的，实施例不限于此。
[0071]
图4中示出为第一保护片ps1包括无光涂层ac。但是，实施例不限于此，第一保护片ps1以及第二保护片ps2可以分别包括无光涂层ac。
[0072]
第一保护片ps1示出为以第三方向轴dr3所延伸的方向为基准，被无光涂层的第一面ps1
‑
f1配置在上侧，第二面ps1
‑
f2配置在下侧。但是，实施例不限于此，可以是第一保护片ps1的第一面ps1
‑
f1以及第二面ps1
‑
f2都被无光涂层。无光涂层ac可以被前述的吸附装置的摄像机识别。第一保护片ps1以及第二保护片ps2各自的第一面以及第二面中被吸附装置的摄像机识别的面可以是被无光涂层的面。包括无光涂层的保护片可以改善对吸附装置的摄像机的识别率，由此，可以容易分离金属条和保护片。
[0073]
一实施例的传输复合体tc可以包括：金属条md，包括彼此隔开的一面md
‑
f1以及另一面md
‑
f2；第一保护片ps1，与金属条md的一面md
‑
f1相邻；以及第二保护片ps2，与金属条md的另一面md
‑
f2相邻。保护片ps1、ps2可以是为了搬运金属条md而提供。保护片ps1、ps2可以分别在380nm以上且800nm以下的波长区域中透光率是0％以上且50％以下。在380nm以上且800nm以下的波长区域中，保护片ps1、ps2各自的吸光度可以不足95％。由此，一实施例的包括在传输复合体tc中的保护片ps1、ps2可以改善对吸附装置的摄像机的识别率，可以容易分离金属条md和保护片ps1、ps2。另外，一实施例的保护片ps1、ps2包括聚丙烯，可以呈现改善的杂质产生率。
[0074]
以下，参照图5说明一实施例的传输模组tm。省略针对与参照图1至图4说明的传输复合体tc相同结构的详细说明。
[0075]
传输模组tm可以包括多个金属条md1、md2、
…
mdn以及配置在金属条md1、md2、
…
mdn之间的保护片ps1
‑
1、ps2
‑
1、ps1
‑
2、ps2
‑
2、
…
ps1
‑
n、ps2
‑
n。保护片ps1
‑
1、ps2
‑
1、ps1
‑
2、ps2
‑
2、
…
ps1
‑
n、ps2
‑
n可以是上述的第一保护片ps1以及第二保护片ps2中的任一个。
[0076]
传输模组tm可以包括多个传输复合体tc1、tc2、
…
tcn。多个传输复合体tc1、tc2、
…
tcn可以包括相邻的第一传输复合体tc1以及第二传输复合体tc2。第一传输复合体tc1可以包括第一金属条md1、第1
‑
1保护片ps1
‑
1以及第2
‑
1保护片ps2
‑
1。第二传输复合体tc2可以包括第二金属条md2、第1
‑
2保护片ps1
‑
2以及第2
‑
2保护片ps2
‑
2。第1
‑
1保护片ps1
‑
1以及第1
‑
2保护片ps1
‑
2可以与上述的第一保护片ps1(图1至图4)相同。第2
‑
1保护片ps2
‑
1以及第2
‑
2保护片ps2
‑
2可以与上述的第二保护片ps2(图1至图4)相同。虽未图示，传输模组tm可以容纳在前述的托盘ra中。
[0077]
可以在第一金属条md1的上方、第一金属条md1和第二金属条md2之间以及第二金属条md2下方配置保护片ps1
‑
1、ps2
‑
1、ps1
‑
2、ps2
‑
2。可以是，在第一金属条md1的上方配置第1
‑
1保护片ps1
‑
1，在第二金属条md2的下方配置第2
‑
2保护片ps2
‑
2。另外，可以在第一金属条md1和第二金属条md2之间配置第1
‑
2保护片ps1
‑
2以及第2
‑
1保护片ps2
‑
1。
[0078]
可以在第一金属条md1和第二金属条md2之间配置两张保护片ps1
‑
2、ps2
‑
1。第一金属条md1可以包括在第一传输复合体tc1中。第二金属条md2可以包括在第二传输复合体tc2中。包括在各个传输复合体tc1、tc2中的保护片ps1
‑
1、ps2
‑
1、ps1
‑
2、ps2
‑
2可以相邻配
置。包括在第一传输复合体tc1中的第2
‑
1保护片ps2
‑
1与包括在第二传输复合体tc2中的第1
‑
2保护片ps1
‑
2可以相邻配置。
[0079]
根据一实施例，第1
‑
1保护片ps1
‑
1以及第2
‑
1保护片ps2
‑
1中的至少一个可以包括无光涂层。第1
‑
2保护片ps1
‑
2以及第2
‑
2保护片ps2
‑
2中的至少一个可以包括无光涂层。以第三方向轴dr3所延伸的方向为基准，位于上侧的第1
‑
1保护片ps1
‑
1以及第1
‑
2保护片ps1
‑
2可以分别包括无光涂层。即，一实施例的包括在传输复合体tc1、tc2、
…
tcn各自中的两张保护片中的至少一个可以包括无光涂层。
[0080]
根据一实施例，保护片ps1
‑
1、ps2
‑
1、ps1
‑
2、ps2
‑
2、
…
ps1
‑
n、ps2
‑
n各自可以在380nm以上且800nm以下的波长区域中透光率为0％以上且50％以下。保护片ps1
‑
1、ps2
‑
1、ps1
‑
2、ps2
‑
2、
…
ps1
‑
n、ps2
‑
n各自可以在380nm以上且800nm以下的波长区域中吸光度不足95％。保护片ps1
‑
1、ps2
‑
1、ps1
‑
2、ps2
‑
2、
…
ps1
‑
n、ps2
‑
n各自的颜色可以不是黑色。
[0081]
保护片ps1
‑
1、ps2
‑
1、ps1
‑
2、ps2
‑
2、
…
ps1
‑
n、ps2
‑
n各自可以包括聚丙烯、聚苯乙烯以及聚乙烯中的至少一种。例如，保护片ps1
‑
1、ps2
‑
1、ps1
‑
2、ps2
‑
2、
…
ps1
‑
n、ps2
‑
n各自可以包括聚丙烯。
[0082]
在金属条md1、md2、
…
mdn的一面上，平均杂质数可以是20个以下。金属条md1、md2、
…
mdn的一面可以是与保护片ps1
‑
1、ps2
‑
1、ps1
‑
2、ps2
‑
2、
…
ps1
‑
n、ps2
‑
n接触的面。即，在金属条md1、md2、
…
mdn的表面上观测到的平均杂质数可以是20个以下。例如，在金属条md1、md2、
…
mdn的表面上观测到的平均杂质数可以是10个以下。
[0083]
另外，保护片ps1
‑
1、ps2
‑
1、ps1
‑
2、ps2
‑
2、
…
ps1
‑
n、ps2
‑
n各自可以包括防静电剂。包括防静电剂的保护片ps1
‑
1、ps2
‑
1、ps1
‑
2、ps2
‑
2、
…
ps1
‑
n、ps2
‑
n可以不粘在金属条md1、md2、
…
mdn。
[0084]
图6是示出在包括在传输模组中的金属条各自的表面观测到的杂质数的图表。传输模组包括依次层叠的20个传输复合体，图6的图表表示在20个金属条各自中测定的杂质数。比较例1的金属条是分别与包含纤维素的保护片层叠了的金属条，实施例1以及实施例2的金属条是分别与一实施例的保护片层叠了的金属条。实施例1的金属条是与反射380nm以上且450nm以下波长的光的保护片层叠了的金属条。实施例2的金属条是与反射400nm以上且800nm以下波长的光的保护片层叠了的金属条。即，实施例1的金属条是与紫色的保护片层叠了的金属条，实施例2的金属条是与白色的保护片层叠了的金属条。在实施例2中，对与白色的保护片层叠了的金属条的观测结果可以呈现为与对与黄色的保护片层叠了的金属条的观测结果相类似。反射570nm以上且590nm以下波长的光的保护片可以显现为黄色。
[0085]
参照图6的图表可知，比较例1的金属条分别在金属条表面中观测到的杂质数超过20个，杂质数的最大值接近80。与此相比可知，实施例1以及实施例2的金属条分别在金属条表面中观测到的杂质数大部分为20以下。
[0086]
比较例1的金属条在金属条表面中观测到的杂质数为平均45，实施例1以及实施例2的金属条在金属条表面中观测到的杂质数为平均3.5。由此，可确认到利用一实施例的保护片搬运的金属条各自表面中的杂质数减少。
[0087]
一实施例的传输复合体可以包括金属条、分别与金属条相邻配置的第一保护片以及第二保护片。第一保护片以及第二保护片分别在380nm以上且800nm以下的波长区域中透光率可以是0％以上且50％以下，在380nm以上且800nm以下的波长区域中吸光度可以不足
95％。由此，一实施例的第一保护片以及第二保护片可以分别从金属条容易被分离。另外，第一保护片以及第二保护片不包含纤维素，从而可以改善保护片引起的杂质产生率。
[0088]
一实施例的传输模组包括多个传输复合体，从而可以从金属条容易分离保护片，可以呈现保护片引起的杂质产生率得到改善的特性。
[0089]
以上，参照本发明的优选实施例进行了说明，但是只要是本技术领域的熟练的技术人员或者本技术领域中具有通常知识的人就能够理解可以在不脱离权利要求书中记载的本发明的构思以及技术领域的范围内对本发明进行各种修改以及变更。
[0090]
因此，本发明的技术范围不应被说明书的详细说明中记载的内容所限定，而应通过权利要求书来限定。