1.本发明涉及一种测量方法以及检查装置。
背景技术：
：：2.例如专利文献1所公开的检查装置在传感器面板已被拆卸的状态下，传感器面板检查装置的校正(calibration)部一边对存在多个的第二电缆中的至少任一个供给信号部的交流信号，一边在校正信号部中调整与电流计对应的交流电源的电压及相位，以使电性连接于第一电缆的电流检测部的所述电流计的输出变为零。当电流计的输出变为零时，存储此时的所述交流电源的电压及相位。在传感器面板的检查时，基于所存储的电压及相位来使校正信号部的交流电源产生交流信号。3.现有技术文献4.专利文献5.专利文献1：日本专利特开2014‑238318号公报技术实现要素：6.发明所要解决的问题7.此外，专利文献1所公开的检查装置中，设有多个电流检测部(例如参照专利文献1的图1)。为了使由电流检测部检测的电流值成为准确的值，考虑对全部的电流检测部进行校准。然而，对多个电流检测部的全部进行校准耗费时间。8.本发明用于解决所述课题，其目的在于，简化检查装置中所含的多个电流检测部的校准工时。9.解决问题的技术手段10.本发明的一实施方式的测量方法对彼此隔离地设有多个第一电极与多个第二电极的检查对象物中的所述第一电极与所述第二电极之间的电极间阻抗进行测量，所述测量方法包括下述步骤：(a)对用于测量所述电极间阻抗的多个电流检测部中的一个电流检测部进行校准；(b)选定多个所述检查对象物中的一个来作为基准样本；(c)使用在所述(a)步骤中经校准的所述电流检测部即第一电流检测部，来测量所述基准样本的所述电极间阻抗即基准阻抗以作为第一基准阻抗；(d)使用多个所述电流检测部，并行地测量所述检查对象物的多个部位的所述电极间阻抗即对象物阻抗；以及(e)基于在所述(c)步骤中测量出的所述第一基准阻抗，对在所述(d)步骤中测量出的所述对象物阻抗进行修正，以算出修正后阻抗。11.根据所述方法，可使用检查装置中所含的多个电流检测部，来并行地测量检查对象物的多个部位的阻抗(对象物阻抗)。由此，可统一测量检查对象物中需要阻抗测量的大量部位中的多个部位的阻抗，因此可缩短测量时间。12.另外，根据所述方法，利用使用经校准的电流检测部(第一电流检测部)所测量出的基准样本的阻抗(第一基准阻抗)，对如上述那样测量出的多个部位的对象物阻抗进行修正。因而，根据所述方法，使用可检测准确的电流值的电流检测部来测量第一基准阻抗，因此可高精度地测量用于修正对象物阻抗的第一基准阻抗。13.另外，根据所述方法，可使用自大量的检查对象物中选定的检查对象物来作为基准样本。即，根据所述方法，不需要特意准备全部的测量部位的阻抗为已知的样本，因此可提供便利性优异的测量方法。14.因而，根据所述方法，可简化检查装置中所含的多个电流检测部的校准工时。15.优选的是，所述基准样本中，各所述第一电极与各所述第二电极未短路，且各所述第一电极及各所述第二电极未断线。16.根据所述方法，可自基准样本对象中排除具有极端阻抗值的检查对象物。由此，可选定具有适当阻抗值的检查对象物来作为基准样本，从而可利用适当的第一基准阻抗来修正对象物阻抗，因此可获得更准确的修正后阻抗。17.优选的是，所述的任一测量方法还包括下述步骤：(f)使用多个所述电流检测部，在与多个所述第一电极分别对应的第一配线中的检查对象物侧的端部、和与多个所述第二电极分别对应的第二配线中的检查对象物侧的端部开放的状态下，测量各所述第一配线及各所述第二配线之间的配线间阻抗以作为第二开放配线间阻抗；以及(g)使用多个所述电流检测部，测量所述基准阻抗以作为第二基准阻抗，在所述(e)步骤中，也基于在所述(f)步骤中测量出的所述第二开放配线间阻抗、及在所述(g)步骤中测量出的所述第二基准阻抗，来算出所述修正后阻抗。18.根据所述方法，对于使用多个电流检测部而测量出的对象物阻抗，进行所谓的开路(open)修正及负载(load)修正。由此，可获得更准确的修正后阻抗。19.进而优选的是，所述测量方法还包括下述步骤：(h)使用多个所述电流检测部，在多个所述第一配线中的检查对象物侧的端部、与多个所述第二配线中的检查对象侧的端部短路的状态下，测量各第一配线及各第二配线之间的所述配线间阻抗以作为第二短路配线间阻抗，在所述(e)步骤中，也基于在所述(h)步骤中测量出的所述第二短路配线间阻抗，来算出所述修正后阻抗。20.根据所述方法，对于使用多个电流检测部而测量出的对象物阻抗，不仅进行所述开路修正及负载修正，也进行所谓的短路(short)修正。由此，可获得更加准确的修正后阻抗。21.进而优选的是，所述测量方法包括下述步骤：(i)使用所述第一电流检测部，在多个所述第一配线中的检查对象物侧的端部、与多个所述第二配线中的检查对象侧的端部开放的状态下，测量各所述第一配线及各所述第二配线之间的所述配线间阻抗以作为第一开放配线间阻抗；(j)使用所述第一电流检测部，在多个所述第一配线中的检查对象物侧的端部、与多个所述第二配线中的检查对象侧的端部短路的状态下，测量各所述第一配线及各所述第二配线之间的所述配线间阻抗以作为第一短路配线间阻抗；以及(k)基于在所述(i)步骤中算出的所述第一开放配线间阻抗、与在所述(j)步骤中算出的所述第一短路配线间阻抗，对在所述(c)步骤中算出的所述第一基准阻抗进行修正，以算出修正后基准阻抗，在所述(e)步骤中，基于在所述(k)步骤中经修正的所述修正后基准阻抗，来对在所述(d)步骤中测量出的所述对象物阻抗进行修正。22.根据所述方法，对于使用第一电流检测部而测量出的第一基准阻抗，进行所谓的开路修正及短路修正。由此，可获得基准样本的更准确的修正后基准阻抗，因此可获得更加准确的修正后阻抗。23.另外，本发明的一实施方式的测量方法对彼此隔离地设有第一电极与第二电极的多个检查对象物中的所述第一电极与所述第二电极之间的电极间阻抗进行测量，所述测量方法包括下述步骤：(a)对用于测量所述电极间阻抗的多个电流检测部中的一个进行校准；(b)从多个所述检查对象物中选定多个基准样本；(c)使用在所述(a)步骤中经校准的所述电流检测部即第一电流检测部，来测量各所述基准样本的所述电极间阻抗即基准阻抗以作为第一基准阻抗；(d)使用多个所述电流检测部，并行地测量各所述检查对象物的所述电极间阻抗即对象物阻抗；以及(e)基于在所述(c)步骤中测量出的所述第一基准阻抗，对在所述(d)步骤中测量出的所述对象物阻抗进行修正，以算出修正后阻抗。24.根据所述方法，可使用检查装置中所含的多个电流检测部，来并行地测量各检查对象物的对象物阻抗。由此，可统一测量各检查对象物中的所需部位的阻抗，因此可缩短测量时间。25.另外，根据所述方法，利用使用经校准的电流检测部(第一电流检测部)而测量出的基准样本的第一基准阻抗，来对如上述那样测量出的各对象物阻抗进行修正。因而，根据所述方法，使用可检测准确电流值的电流检测部来测量第一基准阻抗，因此可高精度地测量用于修正检查对象物的阻抗(对象物阻抗)的第一基准阻抗。26.另外，根据所述方法，可使用自大量的检查对象物中选定的检查对象物来作为基准样本。即，根据所述方法，不需要特意准备阻抗为已知的样本，因此可提供便利性优异的测量方法。27.因而，根据所述方法，可简化检查装置中所含的多个电流检测部的校准工时。28.优选的是，各所述基准样本中，所述第一电极及所述第二电极未短路，且所述第一电极及所述第二电极未断线。29.根据所述方法，可自基准样本对象中排除具有极端阻抗值的检查对象物。由此，可选定具有适当阻抗值的检查对象物来作为基准样本，从而可利用适当的第一基准阻抗来修正对象物阻抗，因此可获得更准确的修正后阻抗。30.优选的是，所述的任一测量方法还包括下述步骤：(f)使用多个所述电流检测部，在连接于所述第一电极的第一配线中的检查对象物侧的端部、与连接于所述第二电极的第二配线中的检查对象侧的端部开放的状态下，测量所述第一配线及所述第二配线之间的配线间阻抗以作为第二开放配线间阻抗；以及(g)使用多个所述电流检测部，测量各所述基准阻抗以作为第二基准阻抗，在所述(e)步骤中，也基于在所述(f)步骤中测量出的所述第二开放配线间阻抗、及在所述(g)步骤中测量出的所述第二基准阻抗，来算出所述修正后阻抗。31.根据所述方法，对于使用多个电流检测部而测量出的对象物阻抗，进行所谓的开路修正及负载修正。由此，可获得更准确的修正后阻抗。32.进而优选的是，所述测量方法还包括下述步骤：(h)使用多个所述电流检测部，在所述第一配线中的检查对象物侧的端部、与所述第二配线中的检查对象物侧的端部短路的状态下，测量所述第一配线及所述第二配线之间的所述配线间阻抗以作为第二短路配线间阻抗，在所述(e)步骤中，也基于在所述(h)步骤中测量出的所述第二短路配线间阻抗，来算出所述修正后阻抗。33.根据所述方法，对于使用多个电流检测部而测量出的对象物阻抗，不仅进行所述开路修正及负载修正，也进行所谓的短路修正。由此，可获得更加准确的修正后阻抗。34.进而优选的是，所述测量方法包括下述步骤：(i)使用所述第一电流检测部，在所述第一配线中的检查对象物侧的端部、与所述第二配线中的检查对象物侧的端部开放的状态下，测量所述第一配线及所述第二配线之间的所述配线间阻抗以作为第一开放配线间阻抗；(j)使用所述第一电流检测部，在所述第一配线中的检查对象物侧的端部、与所述第二配线中的检查对象物侧的端部短路的状态下，测量所述第一配线及所述第二配线之间的配线间阻抗即第一短路配线间阻抗；以及(k)基于在所述(i)步骤中算出的所述第一开放配线间阻抗、与在所述(j)步骤中算出的第一短路配线间阻抗，对在所述(c)步骤中算出的所述第一基准阻抗进行修正，以算出修正后基准阻抗，在所述(e)步骤中，基于在所述(k)步骤中经修正的所述修正后基准阻抗，来对在所述(d)步骤中测量出的所述对象物阻抗进行修正。35.根据所述方法，对于使用第一电流检测部而测量出的基准样本的第一基准阻抗，进行所谓的开路修正及短路修正。由此，可获得基准样本的更准确的修正后基准阻抗，从而可获得更加准确的修正后阻抗。36.优选的是，在所述(k)步骤中，基于以zstd＝zo1×(zs1‑zx1)/(zx1‑zo1)表示的数式，来算出所述修正后基准阻抗zstd。其中，zstd为修正后基准阻抗，zo1为第一开放配线间阻抗，zs1为第一短路配线间阻抗，zx1为第一基准阻抗。37.根据所述方法，可使用适当的数式来获得修正后基准阻抗。38.进而优选的是，在所述(e)步骤中，基于以zdut＝zstd×[{(zo2‑zx2)×(zxm‑zs2)}/{(zx2‑zs2)×(zo2‑zxm)}]表示的数式来算出所述修正后阻抗zdut。其中，zdut为修正后阻抗，zo2为第二开放配线间阻抗，zx2为第二基准阻抗，zxm为对象物阻抗，zs2为第二短路配线间阻抗。[0039]根据所述方法，可使用适当的数式来获得检查对象物的修正后阻抗。[0040]优选的是，所述检查对象物为触摸屏(touchpanel)。[0041]根据所述方法，可准确地测量触摸屏所具有的各电极间的阻抗。[0042]另外，本发明的一实施方式的检查装置通过所述的任一种测量方法来算出检查对象物的修正后阻抗。[0043]根据所述结构，既可简化多个电流检测部的校准工时，又可获得准确的阻抗。[0044]发明的效果[0045]根据本发明的一个形态，既可简化检查装置中所含的多个电流检测部的校准工时，又可获得准确的阻抗值。附图说明[0046]图1是将本发明的实施方式的检查装置的示意图与作为检查对象物的触摸屏的示意图一同表示的图。[0047]图2是用于说明使用本实施方式的检查装置而进行的第一实施方式的阻抗测量方法的流程图。[0048]图3是用于说明图2的流程图的步骤s3的图。[0049]图4是用于说明图2的流程图的步骤s4的图。[0050]图5是用于说明图2的流程图的步骤s5的图。[0051]图6是用于说明图2的流程图的步骤s6的图。[0052]图7是用于说明图2的流程图的步骤s7的图。[0053]图8是用于说明图2的流程图的步骤s8的图。[0054]图9是用于说明图2的流程图的步骤s10的图。[0055]图10是用于说明式(1)的图，是表示已将基准面板连接于检查装置单元的状态的示意图。[0056]图11a是用于说明式(2)的图，是已将修正后基准阻抗的值为zstd的负载暂时连接于检查装置单元时的示意图。[0057]图11b是表示已将触摸屏连接于检查装置单元的状态的示意图。[0058]图12是用于说明第二实施方式的阻抗测量方法的流程图。[0059]图13是用于说明图12的流程图的步骤s27的图。[0060]图14是用于说明图12的流程图的步骤s28的图。[0061]图15是用于说明图12的流程图的步骤s30的图。具体实施方式[0062]以下，基于附图来说明本发明的一实施方式。再者，各图中标注有相同符号的结构表示相同的结构，省略其说明。[0063]〔第一实施方式〕[0064]图1是将本发明的实施方式的检查装置1的示意图与作为检查对象物的触摸屏50的示意图一同表示的图。再者，以下所说明的各图中，将标注为x的箭头所示的方向设为触摸屏50的x方向，将标注为y的箭头所示的方向设为触摸屏的y方向。以下，首先对作为检查装置1的测量对象的触摸屏50的结构进行说明，接下来对检查装置1的结构进行说明。[0065][触摸屏的概略结构][0066]图1中示意性地图示了触摸屏50的仅一部分。实施方式的触摸屏50是所谓的静电电容型触摸屏。触摸屏50包括在俯视时(自触摸屏的厚度方向观察时)分别沿着x方向延伸的多个第一透明电极51(51a、51b、51c、51d、…)与分别沿着y方向延伸的多个第二透明电极52(52a、52b、52c、52d、…)。再者，触摸屏50例如是平板设备(tabletdevice)的触摸屏，包括24根第一透明电极51及32根第二透明电极52。图1及以下所说明的各图中，仅图示了4根第一透明电极51及4根第二透明电极52。[0067]第一透明电极51及第二透明电极52是以在触摸屏50的厚度方向上隔开间隔，且俯视时彼此正交的方式而设。各透明电极51、52例如包含氧化铟锡(indiumtinoxide，ito)。在第一透明电极51及第二透明电极52的端部，连接有配线部53。各配线部53的一端连接于对应的透明电极51、透明电极52，另一方面，各配线部53的另一端延伸至触摸屏50的外缘部为止。各配线部53的另一端作为用于将配线部53连接至外部机器的触摸屏端子部54发挥功能。[0068]静电电容型触摸屏50中，在多个第一透明电极51的各个与多个第二透明电极52的各个之间的各点(point)p(p11～p44)处，在触摸屏50的厚度方向上形成一种电容器。当用户以手指等触摸触摸屏上的所需位置时，所述位置的静电电容发生变化。触摸屏50通过检测所述静电电容的变化，可检测用户触摸的位置。[0069][检查装置的结构][0070]检查装置1是用于对多个第一透明电极51的各个与多个第二透明电极52的各个之间(换言之，为图1中的各点p11～p44)的阻抗进行测量。例如，在包括24根第一透明电极51及32根第二透明电极52的触摸屏的情况下，测量768点的阻抗。检查装置1具有多个检查装置侧端子部6a，经由这些端子部6a来对触摸屏50的各电极51、52输出交流信号，或者对各透明电极51、透明电极52间的(即，各点p11～p44的)阻抗进行测量。本实施方式中，检查装置侧端子部6a经由扁平电缆60及连接基板70而与触摸屏端子部54电性连接。[0071]扁平电缆60包括彼此隔开微小的间隔而平行地配置的多个配线61与设在它们两端的连接器62、连接器63。连接器62、连接器63具有装置侧连接器62及基板侧连接器63。扁平电缆60中，多个配线61被可挠性的树脂构件覆盖。[0072]扁平电缆60中，装置侧连接器62与检查装置1的连接器6连接，另一方面，基板侧连接器63与连接基板连接器72连接。由此，扁平电缆60的各配线61的一端侧连接于检查装置1的各端子部6a，另一方面，扁平电缆60的各配线61的另一端侧连接于连接基板70的各端子部。[0073]连接基板70例如是使用玻璃环氧基板而构成。连接基板70包括：多个配线71；连接基板连接器72，设在扁平电缆60侧；以及连接基板端子部73，以成为与触摸屏端子部54的各端子对应的间隔的方式而形成。[0074]连接基板70中，连接基板连接器72与扁平电缆60的基板侧连接器63连接，另一方面，连接基板端子部73经由异向导电构件75而连接于触摸屏端子部54。作为一例，异向导电构件75例如包含异向导电橡胶片，其构成为，当沿其厚度方向按压时，按压方向的电阻值变低。当利用异向导电构件75来覆盖触摸屏端子部54的露出部，并在其上设置连接基板端子部73而朝触摸屏50侧按压时，连接基板端子部73经由异向导电构件75而连接于触摸屏端子部54。由此，扁平电缆60与触摸屏50经由连接基板70及异向导电构件75而电性连接。[0075][检查装置的结构][0076]参照图1，检查装置1包括信号产生器2、电压检测部3、多个电流检测部4(4a、4b、4c、4d)、多个切换开关5(5a～5k)、检查装置连接器6、控制部7以及运算部8。多个电流检测部4具有一个第一电流检测部4a与多个第二电流检测部4b、4c、4d。再者，例如作为一例，检查装置1具有与第二透明电极52为相同数量的电流检测部4。图1中，仅图示了与所图示的第二透明电极52为相同数量的电流检测部4。[0077]信号产生器2经由扁平电缆60及连接基板70向第一透明电极51及第二透明电极52输出交流信号。信号产生器2的其中一侧的端子与切换开关5a、切换开关5b、切换开关5c、切换开关5d连接，另一侧的端子接地。[0078]电压检测部3经由扁平电缆60及连接基板70来检测第一透明电极51及第二透明电极52之间的交流电压。电压检测部3的其中一侧的端子与切换开关5a、切换开关5b、切换开关5c、切换开关5d连接，另一侧的端子接地。[0079]各电流检测部4经由扁平电缆60及连接基板70来检测流经第一透明电极51及第二透明电极52之间的交流电流。第一电流检测部4a的其中一侧的端子与切换开关5e、切换开关5g、切换开关5i、切换开关5k连接，另一侧的端子接地。第二电流检测部4b的其中一侧的端子与切换开关5f连接，另一侧的端子接地。第二电流检测部4c的其中一侧的端子与切换开关5h连接，另一侧的端子接地。第二电流检测部4d的其中一侧的端子与切换开关5j连接，另一侧的端子接地。[0080]第一电流检测部4a在检查装置1出货之前进行校准。检查装置1的校准是对拆除了扁平电缆60及连接基板70的状态的检查装置1进行。在第一电流检测部4a的校准中，例如作为一例，在切换开关5a、切换开关5e为导通的状态且在与各切换开关5a、5e相连的配线间连接有标准电容器的状态下，对所述标准电容器的阻抗进行计测。并且，若所计测出的容量值与标准电容器的值的偏离为规定值以上，则进行第一电流检测部4a的调整，以使所述偏离小于规定值，由此，校准完成。另一方面，若所计测出的容量值与标准电容器的值的偏离小于规定值，则确认所计测出的容量值与标准电容器的值的偏离小于规定值，由此，校准完成。再者，第二电流检测部4b、第二电流检测部4c、第二电流检测部4d未经校准。[0081]切换开关5是用于切换所述信号产生器2、电压检测部3及电流检测部4与第一透明电极51及第二透明电极52的连接状态。切换开关5根据来自控制部7的指令信号而切换为导通状态或断开状态。[0082]具体而言，切换开关5a将信号产生器2及电压检测部3与第一透明电极51d的连接状态切换为导通或断开。切换开关5b将信号产生器2及电压检测部3与第一透明电极51c的连接状态切换为导通或断开。切换开关5c将信号产生器2及电压检测部3与第一透明电极51b的连接状态切换为导通或断开。切换开关5d将信号产生器2及电压检测部3与第一透明电极51a的连接状态切换为导通或断开。[0083]另外，切换开关5e将第一电流检测部4a与第二透明电极52a的连接状态切换为导通或断开。切换开关5f将第二电流检测部4b与第二透明电极52b的连接状态切换为导通或断开。切换开关5g将第一电流检测部4a与第二透明电极52b的连接状态切换为导通或断开。切换开关5h将第二电流检测部4c与第二透明电极52c的连接状态切换为导通或断开。切换开关5i将第一电流检测部4a与第二透明电极52c的连接状态切换为导通或断开。切换开关5j将第二电流检测部4d与第二透明电极52d的连接状态切换为导通或断开。切换开关5k将第一电流检测部4a与第二透明电极52d的连接状态切换为导通或断开。[0084]控制部7及运算部8包含硬件处理器(hardwareprocessor)(例如中央处理器(centralprocessingunit，cpu)、现场可编程门阵列(fieldprogrammablegatearray，fpga)等)以及非挥发性存储器等元件。例如，通过cpu自非挥发性存储器读出程序并予以执行，从而控制部7及运算部8如下文所说明那样运行。[0085]为了切换各切换开关5的连接状态，控制部7控制作为对象的切换开关5，以将切换开关5切换为导通或断开。[0086]运算部8基于由电压检测部3所检测出的电压值、及由电流检测部4所检测出的电流值，来测量各点p11～p44处的准确的阻抗值。对于所述运算部8对阻抗值的测量方法，详细将后述。[0087]再者，以下，将彼此电性连接的状态下的检查装置1、扁平电缆60及连接基板70称作检查装置单元10。所谓检查装置单元10，包括检查装置1、及用于将所述检查装置1连接至触摸屏50的连接部(本实施方式的情况下为扁平电缆60及连接基板70)。[0088][检查装置对阻抗的测量方法][0089]图2是用于说明使用实施方式的检查装置1而进行的第一实施方式的阻抗的测量方法的流程图。另外，图3至图9分别是用于说明图2中的步骤s3～步骤s8、步骤s10的各步骤的图。[0090]再者，在图2所示的流程图中，步骤s1是在检查装置1出货之前进行的步骤，步骤s2以后是利用检查装置1来进行触摸屏50的检查的阶段，换言之，是在检查装置1出货之后进行的步骤。例如作为一例，步骤s1是在检查装置1的制造者侧进行的作业，步骤s2以后是在检查装置1的用户侧进行的作业。然而，在步骤s1中进行的步骤也可在用户侧进行。[0091]首先，在步骤s1((a)步骤)中，进行第一电流检测部4a的校准。对于校准，例如作为一例，使用1pf、10pf、100pf、1000pf的标准电容器。在第一电流检测部4a的校准中，例如作为一例，在切换开关5a、切换开关5e为导通的状态且在与各切换开关5a、5e相连的配线间连接有标准电容器的状态下，对所述标准电容器的阻抗进行计测。并且，若所计测出的容量值与标准电容器的值的偏离为规定值以上，则进行第一电流检测部4a的调整，以使所述偏离小于规定值，由此，校准完成。另一方面，若所计测出的容量值与标准电容器的值的偏离小于规定值，则确认所计测出的容量值与标准电容器的值的偏离小于规定值，由此，校准完成。[0092]接下来，在步骤s2((b)步骤)中，自作为检查对象的触摸屏50中选定基准面板s。作为所述基准面板s，选定各点p11～p44的阻抗未大幅偏离标准的触摸屏50中的各点p11～p44的阻抗的面板。基准面板s的各点p11～p44处的准确的阻抗值不需要算出，只要确认与其他触摸屏50中的各点p11～p44的阻抗值无相对大的差异即可。作为基准面板s，优选为透明电极51、透明电极52未断线、第一透明电极51与第二透明电极52未短路。再者，进行步骤s1与步骤s2的顺序也可相反。[0093]继而，进行步骤s3至步骤s9。这些步骤s3至步骤s9是用于导出修正参数以便对作为检查对象物的触摸屏50的各点p11～p44的准确阻抗进行测量的步骤，所述修正参数用于对在后述的步骤s10中测量出的触摸屏50的各点p11～p44的阻抗进行修正。[0094]在步骤s3((i)步骤)中，参照图3，使用第一电流检测部4a来进行检查装置单元10处于开放状态时的阻抗测量(以下，也有时简称作z测量)。所谓处于开放状态的检查装置单元10，是指全部的连接基板端子部73开放的状态的检查装置单元10。具体而言，在步骤s3中的z测量中，仅使用已校准的电流检测部即第一电流检测部4a，来对可与第一透明电极51连接的第一配线11、第一配线12、第一配线13、第一配线14中的任一个、与可与第二透明电极52连接的第二配线15、第二配线16、第二配线17、第二配线18中的任一个之间的阻抗进行测量。例如作为一例，在步骤s3中，在切换开关5a、切换开关5b、切换开关5c、切换开关5d分别导通的状态下，依次对切换开关5e、切换开关5g、切换开关5i、切换开关5k进行切换，在全部的组合下分别测量阻抗。所述步骤s3中的测量值是作为修正参数的第一开放配线间阻抗zo1。[0095]再者，第一配线11～第一配线14及第二配线15～第二配线18是自扁平电缆60的检查装置1侧的端部遍及至连接基板70的连接基板端子部73的范围的配线。换言之，第一配线11～第一配线14及第二配线15～第二配线18是将检查装置1与触摸屏50相连的配线。[0096]接下来，在步骤s4((f)步骤)中，参照图4，使用全部的电流检测部4a～电流检测部4d，来进行检查装置单元10处于开放状态时的z测量。具体而言，在步骤s4中的z测量中，使用全部的电流检测部4a～电流检测部4d，来对第一配线11～第一配线14中的任一个、与第二配线15～第二配线18中的任一个之间的阻抗进行测量。例如作为一例，在步骤s4中，在切换开关5e、切换开关5f、切换开关5h、切换开关5j全部导通的状态下，切换开关5a、切换开关5b、切换开关5c、切换开关5d中的任一个导通。由此，并行地一次测量基于由电压检测部3所检测出的电压值与由第一电流检测部4a所检测出的电流值的阻抗、基于由电压检测部3所检测出的电压值与由第二电流检测部4b所检测出的电流值的阻抗、基于由电压检测部3所检测出的电压值与由第二电流检测部4c所检测出的电流值的阻抗、以及基于由电压检测部3所检测出的电压值与由第二电流检测部4d所检测出的电流值的阻抗。所述步骤s4中的测量值是作为修正参数的第二开放配线间阻抗zo2。[0097]接下来，在步骤s5((j)步骤)中，参照图5，使用第一电流检测部4a，来进行检查装置单元10处于短路状态时的z测量。所谓处于短路状态的检查装置单元10，是指全部的连接基板端子部73短路的状态的检查装置单元10。具体而言，在步骤s5中的z测量中，仅使用第一电流检测部4a，来对第一配线11～第一配线14中的任一个、与第二配线15～第二配线18中的任一个之间的阻抗进行测量。除了连接基板端子部73的状态(短路状态抑或是开放状态)不同以外，步骤s5中的z测量的具体顺序的一例与步骤s3相同，因此省略其说明。所述步骤s5中的测量值是作为修正参数的第一短路配线间阻抗zs1。[0098]接下来，在步骤s6((h)步骤)中，参照图6，使用全部的电流检测部4a、电流检测部4b、电流检测部4c、电流检测部4d，来进行检查装置单元10处于短路状态时的z测量。具体而言，在步骤s6中的z测量中，使用全部的电流检测部4a、电流检测部4b、电流检测部4c、电流检测部4d，对第一配线11～第一配线14中的任一个、与第二配线15～第二配线18中的任一个之间的阻抗进行测量。除了连接基板端子部73的状态(短路状态抑或是开放状态)不同以外，步骤s6中的z测量的具体顺序的一例与步骤s4相同，因此省略其说明。所述步骤s6中的测量值是作为修正参数的第二短路配线间阻抗zs2。[0099]接下来，在步骤s7((c)步骤)中，参照图7，使用第一电流检测部4a来进行基准面板s的各点p11～p44的z测量。具体而言，在步骤s7中，仅使用第一电流检测部4a，来对配线11～配线14中的任一个与配线15～配线18中的任一个之间的阻抗进行测量。除了是否在连接基板端子部73连接有基准面板s以外，步骤s7中的基准面板s的z测量的具体顺序的一例与步骤s3相同，因此省略其说明。所述步骤s7中的测量值是作为修正参数的第一基准阻抗zx1。再者，图7及图8中，为了与图9所示的触摸屏50区分，对基准面板s标注有影线。[0100]接下来，在步骤s8((g)步骤)中，参照图8，使用全部的电流检测部4a、电流检测部4b、电流检测部4c、电流检测部4d，来进行基准面板s的各点p11～p44的z测量。具体而言，在步骤s8中，使用全部的电流检测部4a、电流检测部4b、电流检测部4c、电流检测部4d，来对配线11～配线14中的任一个与配线15～配线18中的任一个之间的阻抗进行测量。除了是否在连接基板端子部73连接有基准面板s以外，步骤s8中的基准面板s的z测量的具体顺序的一例与步骤s4相同，因此省略其说明。所述步骤s8中的测量值是作为修正参数的第二基准阻抗zx2。[0101]接下来，在步骤s9((k)步骤)中，基于在步骤s3、步骤s5中求出的各修正参数(第一开放配线间阻抗zo1、第一短路配线间阻抗zs1)，对在步骤s7中求出的基准面板s的各点p11～p44的第一基准阻抗zx1进行修正。由此，算出基准面板s的各点p11～p44的修正后基准阻抗zstd。具体而言，在步骤s9中，基于以下的式(1)来算出作为修正参数的修正后基准阻抗zstd。[0102][数1][0103]zstd＝zo1×{(zs1‑zx1)/(zx1‑zo1)}…(1)[0104]如上所述，通过步骤s3至步骤s9来算出各修正参数及修正基准后阻抗后，在步骤s10及步骤s11中，进行触摸屏50的各点的z测量。[0105]再者，所述步骤s3至步骤s8的步骤并不限于此处所说明的内容，为任何顺序皆可。另外，所述步骤s9的步骤只要是至少进行了步骤s3、步骤s5、步骤s7之后即可。[0106]在步骤s10((d)步骤)中，参照图9，使用全部的电流检测部4a、电流检测部4b、电流检测部4c、电流检测部4d来进行触摸屏50的各点p11～p44的z测量。具体而言，在步骤s10中，使用全部的电流检测部4a、电流检测部4b、电流检测部4c、电流检测部4d来测量配线11～配线14中的任一个与配线15～配线18中的任一个之间的阻抗。[0107]除了取代基准面板s而连接触摸屏50以外，步骤s10中的z测量的具体顺序的一例与步骤s8的情况相同。[0108]具体而言，在步骤s10中，在切换开关5e、切换开关5f、切换开关5h、切换开关5j全部导通的状态下，切换开关5a、切换开关5b、切换开关5c、切换开关5d中的任一个导通。由此，并行地一次测量基于由电压检测部3所检测出的电压值与由第一电流检测部4a所检测出的电流值的阻抗、基于由电压检测部3所检测出的电压值与由第二电流检测部4b所检测出的电流值的阻抗、基于由电压检测部3所检测出的电压值与由第二电流检测部4c所检测出的电流值的阻抗、以及基于由电压检测部3所检测出的电压值与由第二电流检测部4d所检测出的电流值的阻抗。在所述步骤s10中测量出的阻抗是作为触摸屏50的各点p11～p44的对象物阻抗zxm而测量。[0109]继而，在步骤s11((e)步骤)中，基于在步骤s4、步骤s6、步骤s8中求出的各修正参数(第二开放配线间阻抗zo2、第二短路配线间阻抗zs2、第二基准阻抗zx2)、及在步骤s9中求出的修正后基准阻抗zstd，对在步骤s10中求出的触摸屏50的各点p11～p44的阻抗zxm进行修正，算出修正后阻抗zdut。具体而言，在步骤s11中，基于以下的式(2)来算出修正后阻抗zdut。[0110][数2][0111]zdut＝zstd×[{(zo2‑zx2)×(zxm‑zs2)}/{(zx2‑zs2)×(zo2‑zxm)}]…(2)[0112]例如作为一例，以上述方式算出的修正后阻抗zdut作为测量值显示在显示器。或者，将所述修正后阻抗zdut与规定的阈值进行比较，基于所述比较结果来判定触摸屏50是良品抑或是不良品，并将所述判定结果显示在显示器。[0113][关于式(1)的求法][0114]图10是用于说明所述式(1)的图，是表示将基准面板s连接于检查装置单元10的状态的示意图。[0115]当将连接检查装置1与基准面板s的扁平电缆60及连接基板70的残留阻抗建模为图10所示的f参数(a、b、c、d)所表示的线性电路时，使用电压检测部3及已校准的第一电流检测部4a而测量出的基准面板s的阻抗(即，在步骤s7中测量出的阻抗zx1)能够以下述式(3)来表示。[0116][数3][0117]zx1＝(av2 bi2)/(cv2 di2)…(3)[0118]其中，v2为输出电压，i2为输出电流。[0119]另外，在图10中的连接基板端子部73已开放的状态下，阻抗(即，在步骤s3中测量出的阻抗zo1)能够以下述式(4)来表示。[0120][数4][0121]zo1＝a/c…(4)[0122]另外，在图10中的连接基板端子部73已短路的状态下，阻抗(即，在步骤s5中测量出的第一短路配线间阻抗zs1)能够以下述式(5)来表示。[0123][数5][0124]zs1＝b/d…(5)[0125]另外，扁平电缆60及连接基板70为对称电路，因此以下的式(6)成立。[0126][数6][0127]a＝d…(6)[0128]另外，图10中的基准面板s的修正后基准阻抗zstd能够以下述式(7)来表示。[0129][数7][0130]zstd＝v2/i2…(7)[0131]若使用式(3)至式(7)来消除f参数a～f参数d，则可得到式(1)。[0132][关于式(2)的求法][0133]图11a是用于说明所述式(2)的图，是将修正后基准阻抗的值为zstd的负载连接于检查装置单元10时的示意图。另外，图11b是表示将触摸屏50连接于检查装置单元10的状态的示意图。[0134]在步骤s9中，通过对使用经校准的电流检测部即第一电流检测部4a而测量出的基准面板s的第一基准阻抗zx1进行修正，从而算出修正后基准阻抗zstd。若使用所述修正后基准阻抗zstd，则可对图11b所示的触摸屏50的阻抗的测量误差，具体而言，对使用未经校准的电流检测部即第二电流检测部4b、第二电流检测部4c、第二电流检测部4d而测量出的触摸屏50的z的测量误差进行修正。[0135]具体而言，参照图11a，当将修正后基准阻抗zstd的负载连接于连接基板端子部73时，若假定检查装置1中的z测量值为z1，则以下的式(8)成立。[0136][数8][0137]z1＝v1/i1、z2＝v2/i2、z1＝(av2 bi2)/(cv2 di2)＝(az2 b)/(cz2 d)…(8)[0138]其中，v1为输入电压，i1为输入电流，z1为输入阻抗，z2为输出阻抗。[0139]所述参数a、参数b、参数c、参数d可通过将以下的值适用于式(8)而消除。具体而言，通过将步骤s4中的测量值即第二开放配线间阻抗zo2、步骤s6中的测量值即第二短路配线间阻抗zs2、步骤s8中的测量值即第二基准阻抗zx2、步骤s10中的测量值即对象物阻抗zxm以及步骤s9中的测量值即修正后基准阻抗zstd适用于式(8)，可消除a～d，从而可算出式(2)。此处，第二开放配线间阻抗zo2、第二短路配线间阻抗zs2、第二基准阻抗zx2、及对象物阻抗zxm是由未经校准的电流检测部4b、电流检测部4c、电流检测部4d的测量结果得出的值。即，通过修正后基准阻抗zstd与未经校准的电流检测部4b、电流检测部4c、电流检测部4d的测量结果，可修正触摸屏50的z的测量误差。[0140]如上所述，根据第一实施方式的阻抗测量方法，可通过多个电流检测部4a、4b来一次同时测量多个点的阻抗，因此可使检查速度高速化。[0141]并且，根据第一实施方式，通过使用式(2)来对利用包含未进行校准的第二电流检测部4b、第二电流检测部4c、第二电流检测部4d的全部的电流检测部4a、电流检测部4b、电流检测部4c、电流检测部4d而测量出的阻抗进行修正，可进行准确的阻抗测量。换言之，即使不对全部的电流检测部4a、电流检测部4b、电流检测部4c、电流检测部4d进行校准，也能够进行准确的阻抗测量，因此既可维持检查装置1的性能，又可简化制品出货时通常所需的全部的电流检测部4a、电流检测部4b、电流检测部4c、电流检测部4d的校准作业。[0142][效果][0143]如上所述，根据使用第一实施方式的检查装置1的阻抗测量方法，可使用检查装置1中所含的多个电流检测部4a、4b、4c、4d，来并行地测量触摸屏50的多个点(例如p11、p21、p31、p41、…)的对象物阻抗zxm。由此，可统一测量触摸屏50中需要阻抗测量的大量部位中的多个部位的阻抗，因此可缩短测量时间。[0144]另外，根据所述测量方法，利用使用经校准的电流检测部(第一电流检测部4a)所测量出的基准面板s的第一基准阻抗zx1，对如上述那样测量出的多个部位的对象物阻抗zxm进行修正。因而，根据所述方法，使用可检测准确的电流值的第一电流检测部4a来测量第一基准阻抗zx1，因此可高精度地测量用于修正触摸屏50的对象物阻抗zxm的第一基准阻抗zx1。[0145]另外，根据所述测量方法，可使用自大量的触摸屏50中选定的面板来作为基准面板s。即，根据所述方法，不需要特意准备全部的测量部位的阻抗为已知的样本，因此可提供便利性优异的测量方法。[0146]因而，根据所述测量方法，既可简化检查装置1中所含的多个电流检测部4a、4b、4c、4d的校准工时，又可获得准确的阻抗值。[0147]另外，根据所述测量方法，自基准样本s的对象中排除具有极端阻抗值的触摸屏50。由此，可选定具有适当阻抗值的触摸屏50来作为基准样本s，从而可利用适当的第一基准阻抗zx1来修正对象物阻抗zxm，因此可获得更准确的修正后阻抗zdut。[0148]另外，根据所述测量方法，对于使用多个电流检测部4a、4b、4c、4d而测量出的对象物阻抗zxm，进行所谓的开路修正及负载修正。由此，可获得更准确的修正后阻抗zdut。[0149]另外，根据所述测量方法，对于使用多个电流检测部4a、4b、4c、4d而测量出的对象物阻抗zxm，不仅进行所述开路修正及负载修正，也进行所谓的短路修正。由此，可获得更准确的修正后阻抗zdut。[0150]另外，根据所述测量方法，对使用经校准的电流检测部(第一电流检测部4a)而测量出的基准面板s的第一基准阻抗zx1进行所谓的开路修正及短路修正。由此，可获得基准面板s的更准确的修正后基准阻抗zstd，因此可获得更准确的修正后阻抗zdut。[0151]另外，根据所述测量方法，可使用式(1)来获得适当的修正后基准阻抗zstd。可由包含扁平电缆60及连接基板70的阻抗的值即第一基准阻抗zx1，获得不含扁平电缆60及连接基板70的阻抗的值即修正后基准阻抗zstd。[0152]另外，根据所述测量方法，可使用式(2)来获得适当的修正后阻抗zdut。[0153]另外，根据所述测量方法，可准确地测量触摸屏50所具有的各电极51、52间的修正后阻抗zdut。[0154]另外，根据检查装置1，既可简化多个电流检测部4a、4b、4c、4d的校准工时，又可获得准确的修正后阻抗zdut。[0155]再者，与第一实施方式相关的说明是本测量方法及本检查装置可采取的形态的例示，并不意图限制所述形态。本测量方法及本检查装置除了第一实施方式以外，也可采取例如以下所示的所述实施方式的变形例、及将彼此不矛盾的至少二个变形例组合而成的形态。[0156]所述实施方式中，作为检查装置1的检查对象物，举触摸屏50为例进行了说明。然而，并不限于此，检查对象物只要具有彼此隔离的多个导电部即可。[0157]例如，检查装置1的检查对象物也可为集成电路(integratedcircuit，ic)。此时，ic的接脚(pin)相当于触摸屏50的触摸屏端子部54。检查装置1与插入至相当于连接基板端子部73的插座(socket)(省略图示)内的ic电性连接。由此，可测量ic的接脚间的阻抗。另外，检查装置1的检查对象物也可为微机电系统(microelectromechanicalsystem，mems)元件。mems元件的输入/输出端子相当于触摸屏50的触摸屏端子部54。检查装置1与mems元件电性连接。由此，可测量mems元件的阻抗。[0158][第二实施方式][0159]图12是用于说明由检查装置1所进行的阻抗测量方法且与所述测量方法不同的另一测量方法(第二实施方式的测量方法)的流程图。另外，图13至图15分别是用于说明图12中的各个步骤s27、28、30的图。[0160]根据第二实施方式的测量方法，可在多个触摸屏50中并行地测量多个触摸屏50各自的所需部位的阻抗，具体而言，为一个第一透明电极51x(省略图示)与一个第二透明电极51y(省略图示)相交的点(例如图1的p11)处的阻抗。以下，举并行地测量各触摸屏50的p11处的阻抗的示例来进行说明。再者，步骤s21及步骤s23～步骤s26与步骤s1及步骤s3～步骤s6同样，因此省略说明。另外，在区分说明各触摸屏50时，使用50a、50b、50c、50d来作为触摸屏50的符号。[0161]在步骤s22中，选定多个基准面板s1～sn。n只要是2以上的自然数即可，本实施方式中设为n＝4来进行说明。在基准面板s1中，选定所需部位(p11)来作为阻抗的测量对象。同样，在其他的基准面板s2～基准面板s4中，也选定p11来作为阻抗测量对象。作为基准面板s，选定p11处的阻抗未大幅偏离标准的触摸屏50的p11处的阻抗的面板。基准面板s的p11处的准确的阻抗不需要算出，只要确认与其他触摸屏50的p11处的阻抗无相对大的差异即可。作为基准面板s，优选为第一透明电极51x及第二透明电极51y中的至少任一个未断线、第一透明电极51x与第二透明电极51y未短路。[0162]在步骤s27中，使用第一电流检测部4a来测量各基准面板s1～s4的点p11处的第一基准阻抗zx1。[0163]在步骤s27中，参照图13，首先，将检查装置1侧的各第一配线11～18连接至各基准面板s1～s4的配线53a、配线53b。具体而言，例如，如图13所示，第一配线14及第二配线15分别连接于基准面板s1的配线53a及配线53b，第一配线13及第二配线16分别连接于基准面板s2的配线53a及配线53b，第一配线12及第二配线17分别连接于基准面板s3的配线53a及配线53b，第一配线11及第二配线18分别连接于基准面板s4的配线53d及配线53e。由此，四个基准面板s1～s4与检查装置1适当地连接。再者，在图13及图14中，为了与图15所示的触摸屏50a～触摸屏50d区分，对基准面板s1～基准面板s4标注有影线。另外，图13至图15中，仅示意性地图示了在第二实施方式的阻抗测量方法中进行阻抗测量的部位(p11)、及连接于p11的配线53a、配线53b，对于除此以外的部分省略了图示。[0164]在此状态下，通过将切换开关5d及切换开关5e导通且将其他切换开关5设为断开，从而测量基准面板s1的点p11处的第一基准阻抗zx1。另外，通过将切换开关5c及切换开关5g导通且将其他切换开关设为断开，从而测量基准面板s2的点p11处的第一基准阻抗zx1。另外，通过将切换开关5b及切换开关5i导通且将其他切换开关设为断开，从而测量基准面板s3的点p11处的第一基准阻抗zx1。另外，通过将切换开关5a及切换开关5k导通且将其他切换开关5设为断开，从而测量基准面板s4的点p11处的第一基准阻抗zx1。由此，使用第一电流检测部4a来测量各基准面板s1～s4的p11处的第一基准阻抗zx1。[0165]在步骤s28中，参照图14，使用全部的电流检测部4a、电流检测部4b、电流检测部4c、电流检测部4d来测量各基准面板s1～s4的p11处的第二基准阻抗zx2。[0166]实施步骤28中的阻抗测量时的、配线11～配线18与各基准面板s1～s4的配线53a、配线53b的连接状态与步骤27的情况相同。具体而言，第一配线14及第二配线15分别连接于基准面板s1的配线53a及配线53b，第一配线13及第二配线16分别连接于基准面板s2的配线53a及配线53b，第一配线12及第二配线17分别连接于基准面板s3的配线53a及配线53b，第一配线11及第二配线18分别连接于基准面板s4的配线53d及配线53e。在此状态下，进行步骤s28中的阻抗测量。[0167]具体而言，通过将切换开关5d及切换开关5e导通且将其他切换开关5设为断开，从而测量基准面板s1的点p11处的阻抗。另外，通过将切换开关5c及切换开关5f导通且将其他切换开关5设为断开，从而测量基准面板s2的点p11处的阻抗。另外，通过将切换开关5b及切换开关5h导通且将其他切换开关5设为断开，从而测量基准面板s3的点p11处的阻抗。另外，通过将切换开关5a及切换开关5j导通且将其他切换开关5设为断开，从而测量基准面板s4的点p11处的阻抗。由此，使用全部的电流检测部4a、电流检测部4b、电流检测部4c、电流检测部4d来测量各基准面板s1～s4的p11处的阻抗。[0168]在步骤s29中，基于在步骤s23、步骤s25中求出的各修正参数(第一开放配线间阻抗zo1、第一短路配线间阻抗zs1)，对在步骤s27中求出的各基准面板s1～s4的p11处的阻抗进行修正。由此，算出各基准面板s1～s4的修正后基准阻抗zstd。在修正时，与步骤s9同样地使用式(1)。[0169]在步骤s30中，参照图15，使用全部的电流检测部4a、电流检测部4b、电流检测部4c、电流检测部4d，来测量各触摸屏50的p11处的阻抗。除了取代基准面板s而连接触摸屏50以外，步骤s30中的z测量的具体顺序的一例与步骤s28的情况相同，因此省略说明。[0170]继而，在步骤s31中，基于在步骤s24、步骤s26、步骤s28中求出的各修正参数(第二开放配线间阻抗zo2、第二短路配线间阻抗zs2、第二基准阻抗zx2)及在步骤s29中求出的修正后基准阻抗zstd，对在步骤s30中求出的各触摸屏50的p11处的阻抗进行修正，算出修正后阻抗zdut。由此，算出各触摸屏50的修正后阻抗zdut。在修正时，与步骤s11同样地使用式(2)。[0171][第二实施方式的效果][0172]如上所述，根据第二实施方式的阻抗测量方法，可使用检查装置1中所含的多个电流检测部4a、4b、4c、4d，来并行地测量多个触摸屏50a～50d的点p11处的对象物阻抗zxm。由此，可统一测量多个触摸屏50a～50d的对象物阻抗zxm，因此可缩短测量时间。[0173]另外，根据所述测量方法，利用使用经校准的电流检测部(第一电流检测部4a)而测量出的基准面板的第一基准阻抗zx1，对如上述那样测量出的各触摸屏50的对象物阻抗zxm进行修正。因而，根据所述方法，使用可检测准确的电流值的电流检测部4a来测量第一基准阻抗zx1，因此可高精度地测量用于修正触摸屏50的对象物阻抗zxm的第一基准阻抗zx1。[0174]另外，根据所述测量方法，可使用自大量的触摸屏50中选定的面板来作为基准面板s。即，根据所述方法，不需要特意准备阻抗为已知的样本，因此可提供便利性优异的测量方法。[0175]因而，根据所述方法，与第一实施方式的阻抗测量方法的情况同样，既可简化检查装置中所含的多个电流检测部4a、4b、4c、4d的校准工时，又可获得准确的阻抗值。[0176]再者，第二实施方式的阻抗测量方法中，举检查对象物为触摸屏50的示例进行了说明。然而，并不限于此，检查对象物也可为ic或mems元件。进而，检查对象物也可并非具有多个第一电极及多个第二电极，也可具有一个第一电极及一个第二电极。[0177]符号的说明[0178]1：检查装置[0179]4a：第一电流检测部(经校准的电流检测部)[0180]4b、4c、4d：第二电流检测部[0181]50、50a～50d：触摸屏(检查对象物)[0182]51、51a～51d：第一透明电极(第一电极)[0183]52、52a～52d：第二透明电极(第二电极)[0184]s、s1～sn：基准面板(基准样本)[0185]zdut：修正后阻抗[0186]zstd：修正后基准阻抗[0187]zxm：对象物阻抗[0188]zx1：第一基准阻抗[0189]zx2：第二基准阻抗[0190]zo1：第一开放配线间阻抗[0191]zo2：第二开放配线间阻抗[0192]zs1：第一短路配线间阻抗[0193]zs2：第二短路配线间阻抗当前第1页12当前第1页12
背景技术：
：：2.例如专利文献1所公开的检查装置在传感器面板已被拆卸的状态下，传感器面板检查装置的校正(calibration)部一边对存在多个的第二电缆中的至少任一个供给信号部的交流信号，一边在校正信号部中调整与电流计对应的交流电源的电压及相位，以使电性连接于第一电缆的电流检测部的所述电流计的输出变为零。当电流计的输出变为零时，存储此时的所述交流电源的电压及相位。在传感器面板的检查时，基于所存储的电压及相位来使校正信号部的交流电源产生交流信号。3.现有技术文献4.专利文献5.专利文献1：日本专利特开2014‑238318号公报技术实现要素：6.发明所要解决的问题7.此外，专利文献1所公开的检查装置中，设有多个电流检测部(例如参照专利文献1的图1)。为了使由电流检测部检测的电流值成为准确的值，考虑对全部的电流检测部进行校准。然而，对多个电流检测部的全部进行校准耗费时间。8.本发明用于解决所述课题，其目的在于，简化检查装置中所含的多个电流检测部的校准工时。9.解决问题的技术手段10.本发明的一实施方式的测量方法对彼此隔离地设有多个第一电极与多个第二电极的检查对象物中的所述第一电极与所述第二电极之间的电极间阻抗进行测量，所述测量方法包括下述步骤：(a)对用于测量所述电极间阻抗的多个电流检测部中的一个电流检测部进行校准；(b)选定多个所述检查对象物中的一个来作为基准样本；(c)使用在所述(a)步骤中经校准的所述电流检测部即第一电流检测部，来测量所述基准样本的所述电极间阻抗即基准阻抗以作为第一基准阻抗；(d)使用多个所述电流检测部，并行地测量所述检查对象物的多个部位的所述电极间阻抗即对象物阻抗；以及(e)基于在所述(c)步骤中测量出的所述第一基准阻抗，对在所述(d)步骤中测量出的所述对象物阻抗进行修正，以算出修正后阻抗。11.根据所述方法，可使用检查装置中所含的多个电流检测部，来并行地测量检查对象物的多个部位的阻抗(对象物阻抗)。由此，可统一测量检查对象物中需要阻抗测量的大量部位中的多个部位的阻抗，因此可缩短测量时间。12.另外，根据所述方法，利用使用经校准的电流检测部(第一电流检测部)所测量出的基准样本的阻抗(第一基准阻抗)，对如上述那样测量出的多个部位的对象物阻抗进行修正。因而，根据所述方法，使用可检测准确的电流值的电流检测部来测量第一基准阻抗，因此可高精度地测量用于修正对象物阻抗的第一基准阻抗。13.另外，根据所述方法，可使用自大量的检查对象物中选定的检查对象物来作为基准样本。即，根据所述方法，不需要特意准备全部的测量部位的阻抗为已知的样本，因此可提供便利性优异的测量方法。14.因而，根据所述方法，可简化检查装置中所含的多个电流检测部的校准工时。15.优选的是，所述基准样本中，各所述第一电极与各所述第二电极未短路，且各所述第一电极及各所述第二电极未断线。16.根据所述方法，可自基准样本对象中排除具有极端阻抗值的检查对象物。由此，可选定具有适当阻抗值的检查对象物来作为基准样本，从而可利用适当的第一基准阻抗来修正对象物阻抗，因此可获得更准确的修正后阻抗。17.优选的是，所述的任一测量方法还包括下述步骤：(f)使用多个所述电流检测部，在与多个所述第一电极分别对应的第一配线中的检查对象物侧的端部、和与多个所述第二电极分别对应的第二配线中的检查对象物侧的端部开放的状态下，测量各所述第一配线及各所述第二配线之间的配线间阻抗以作为第二开放配线间阻抗；以及(g)使用多个所述电流检测部，测量所述基准阻抗以作为第二基准阻抗，在所述(e)步骤中，也基于在所述(f)步骤中测量出的所述第二开放配线间阻抗、及在所述(g)步骤中测量出的所述第二基准阻抗，来算出所述修正后阻抗。18.根据所述方法，对于使用多个电流检测部而测量出的对象物阻抗，进行所谓的开路(open)修正及负载(load)修正。由此，可获得更准确的修正后阻抗。19.进而优选的是，所述测量方法还包括下述步骤：(h)使用多个所述电流检测部，在多个所述第一配线中的检查对象物侧的端部、与多个所述第二配线中的检查对象侧的端部短路的状态下，测量各第一配线及各第二配线之间的所述配线间阻抗以作为第二短路配线间阻抗，在所述(e)步骤中，也基于在所述(h)步骤中测量出的所述第二短路配线间阻抗，来算出所述修正后阻抗。20.根据所述方法，对于使用多个电流检测部而测量出的对象物阻抗，不仅进行所述开路修正及负载修正，也进行所谓的短路(short)修正。由此，可获得更加准确的修正后阻抗。21.进而优选的是，所述测量方法包括下述步骤：(i)使用所述第一电流检测部，在多个所述第一配线中的检查对象物侧的端部、与多个所述第二配线中的检查对象侧的端部开放的状态下，测量各所述第一配线及各所述第二配线之间的所述配线间阻抗以作为第一开放配线间阻抗；(j)使用所述第一电流检测部，在多个所述第一配线中的检查对象物侧的端部、与多个所述第二配线中的检查对象侧的端部短路的状态下，测量各所述第一配线及各所述第二配线之间的所述配线间阻抗以作为第一短路配线间阻抗；以及(k)基于在所述(i)步骤中算出的所述第一开放配线间阻抗、与在所述(j)步骤中算出的所述第一短路配线间阻抗，对在所述(c)步骤中算出的所述第一基准阻抗进行修正，以算出修正后基准阻抗，在所述(e)步骤中，基于在所述(k)步骤中经修正的所述修正后基准阻抗，来对在所述(d)步骤中测量出的所述对象物阻抗进行修正。22.根据所述方法，对于使用第一电流检测部而测量出的第一基准阻抗，进行所谓的开路修正及短路修正。由此，可获得基准样本的更准确的修正后基准阻抗，因此可获得更加准确的修正后阻抗。23.另外，本发明的一实施方式的测量方法对彼此隔离地设有第一电极与第二电极的多个检查对象物中的所述第一电极与所述第二电极之间的电极间阻抗进行测量，所述测量方法包括下述步骤：(a)对用于测量所述电极间阻抗的多个电流检测部中的一个进行校准；(b)从多个所述检查对象物中选定多个基准样本；(c)使用在所述(a)步骤中经校准的所述电流检测部即第一电流检测部，来测量各所述基准样本的所述电极间阻抗即基准阻抗以作为第一基准阻抗；(d)使用多个所述电流检测部，并行地测量各所述检查对象物的所述电极间阻抗即对象物阻抗；以及(e)基于在所述(c)步骤中测量出的所述第一基准阻抗，对在所述(d)步骤中测量出的所述对象物阻抗进行修正，以算出修正后阻抗。24.根据所述方法，可使用检查装置中所含的多个电流检测部，来并行地测量各检查对象物的对象物阻抗。由此，可统一测量各检查对象物中的所需部位的阻抗，因此可缩短测量时间。25.另外，根据所述方法，利用使用经校准的电流检测部(第一电流检测部)而测量出的基准样本的第一基准阻抗，来对如上述那样测量出的各对象物阻抗进行修正。因而，根据所述方法，使用可检测准确电流值的电流检测部来测量第一基准阻抗，因此可高精度地测量用于修正检查对象物的阻抗(对象物阻抗)的第一基准阻抗。26.另外，根据所述方法，可使用自大量的检查对象物中选定的检查对象物来作为基准样本。即，根据所述方法，不需要特意准备阻抗为已知的样本，因此可提供便利性优异的测量方法。27.因而，根据所述方法，可简化检查装置中所含的多个电流检测部的校准工时。28.优选的是，各所述基准样本中，所述第一电极及所述第二电极未短路，且所述第一电极及所述第二电极未断线。29.根据所述方法，可自基准样本对象中排除具有极端阻抗值的检查对象物。由此，可选定具有适当阻抗值的检查对象物来作为基准样本，从而可利用适当的第一基准阻抗来修正对象物阻抗，因此可获得更准确的修正后阻抗。30.优选的是，所述的任一测量方法还包括下述步骤：(f)使用多个所述电流检测部，在连接于所述第一电极的第一配线中的检查对象物侧的端部、与连接于所述第二电极的第二配线中的检查对象侧的端部开放的状态下，测量所述第一配线及所述第二配线之间的配线间阻抗以作为第二开放配线间阻抗；以及(g)使用多个所述电流检测部，测量各所述基准阻抗以作为第二基准阻抗，在所述(e)步骤中，也基于在所述(f)步骤中测量出的所述第二开放配线间阻抗、及在所述(g)步骤中测量出的所述第二基准阻抗，来算出所述修正后阻抗。31.根据所述方法，对于使用多个电流检测部而测量出的对象物阻抗，进行所谓的开路修正及负载修正。由此，可获得更准确的修正后阻抗。32.进而优选的是，所述测量方法还包括下述步骤：(h)使用多个所述电流检测部，在所述第一配线中的检查对象物侧的端部、与所述第二配线中的检查对象物侧的端部短路的状态下，测量所述第一配线及所述第二配线之间的所述配线间阻抗以作为第二短路配线间阻抗，在所述(e)步骤中，也基于在所述(h)步骤中测量出的所述第二短路配线间阻抗，来算出所述修正后阻抗。33.根据所述方法，对于使用多个电流检测部而测量出的对象物阻抗，不仅进行所述开路修正及负载修正，也进行所谓的短路修正。由此，可获得更加准确的修正后阻抗。34.进而优选的是，所述测量方法包括下述步骤：(i)使用所述第一电流检测部，在所述第一配线中的检查对象物侧的端部、与所述第二配线中的检查对象物侧的端部开放的状态下，测量所述第一配线及所述第二配线之间的所述配线间阻抗以作为第一开放配线间阻抗；(j)使用所述第一电流检测部，在所述第一配线中的检查对象物侧的端部、与所述第二配线中的检查对象物侧的端部短路的状态下，测量所述第一配线及所述第二配线之间的配线间阻抗即第一短路配线间阻抗；以及(k)基于在所述(i)步骤中算出的所述第一开放配线间阻抗、与在所述(j)步骤中算出的第一短路配线间阻抗，对在所述(c)步骤中算出的所述第一基准阻抗进行修正，以算出修正后基准阻抗，在所述(e)步骤中，基于在所述(k)步骤中经修正的所述修正后基准阻抗，来对在所述(d)步骤中测量出的所述对象物阻抗进行修正。35.根据所述方法，对于使用第一电流检测部而测量出的基准样本的第一基准阻抗，进行所谓的开路修正及短路修正。由此，可获得基准样本的更准确的修正后基准阻抗，从而可获得更加准确的修正后阻抗。36.优选的是，在所述(k)步骤中，基于以zstd＝zo1×(zs1‑zx1)/(zx1‑zo1)表示的数式，来算出所述修正后基准阻抗zstd。其中，zstd为修正后基准阻抗，zo1为第一开放配线间阻抗，zs1为第一短路配线间阻抗，zx1为第一基准阻抗。37.根据所述方法，可使用适当的数式来获得修正后基准阻抗。38.进而优选的是，在所述(e)步骤中，基于以zdut＝zstd×[{(zo2‑zx2)×(zxm‑zs2)}/{(zx2‑zs2)×(zo2‑zxm)}]表示的数式来算出所述修正后阻抗zdut。其中，zdut为修正后阻抗，zo2为第二开放配线间阻抗，zx2为第二基准阻抗，zxm为对象物阻抗，zs2为第二短路配线间阻抗。[0039]根据所述方法，可使用适当的数式来获得检查对象物的修正后阻抗。[0040]优选的是，所述检查对象物为触摸屏(touchpanel)。[0041]根据所述方法，可准确地测量触摸屏所具有的各电极间的阻抗。[0042]另外，本发明的一实施方式的检查装置通过所述的任一种测量方法来算出检查对象物的修正后阻抗。[0043]根据所述结构，既可简化多个电流检测部的校准工时，又可获得准确的阻抗。[0044]发明的效果[0045]根据本发明的一个形态，既可简化检查装置中所含的多个电流检测部的校准工时，又可获得准确的阻抗值。附图说明[0046]图1是将本发明的实施方式的检查装置的示意图与作为检查对象物的触摸屏的示意图一同表示的图。[0047]图2是用于说明使用本实施方式的检查装置而进行的第一实施方式的阻抗测量方法的流程图。[0048]图3是用于说明图2的流程图的步骤s3的图。[0049]图4是用于说明图2的流程图的步骤s4的图。[0050]图5是用于说明图2的流程图的步骤s5的图。[0051]图6是用于说明图2的流程图的步骤s6的图。[0052]图7是用于说明图2的流程图的步骤s7的图。[0053]图8是用于说明图2的流程图的步骤s8的图。[0054]图9是用于说明图2的流程图的步骤s10的图。[0055]图10是用于说明式(1)的图，是表示已将基准面板连接于检查装置单元的状态的示意图。[0056]图11a是用于说明式(2)的图，是已将修正后基准阻抗的值为zstd的负载暂时连接于检查装置单元时的示意图。[0057]图11b是表示已将触摸屏连接于检查装置单元的状态的示意图。[0058]图12是用于说明第二实施方式的阻抗测量方法的流程图。[0059]图13是用于说明图12的流程图的步骤s27的图。[0060]图14是用于说明图12的流程图的步骤s28的图。[0061]图15是用于说明图12的流程图的步骤s30的图。具体实施方式[0062]以下，基于附图来说明本发明的一实施方式。再者，各图中标注有相同符号的结构表示相同的结构，省略其说明。[0063]〔第一实施方式〕[0064]图1是将本发明的实施方式的检查装置1的示意图与作为检查对象物的触摸屏50的示意图一同表示的图。再者，以下所说明的各图中，将标注为x的箭头所示的方向设为触摸屏50的x方向，将标注为y的箭头所示的方向设为触摸屏的y方向。以下，首先对作为检查装置1的测量对象的触摸屏50的结构进行说明，接下来对检查装置1的结构进行说明。[0065][触摸屏的概略结构][0066]图1中示意性地图示了触摸屏50的仅一部分。实施方式的触摸屏50是所谓的静电电容型触摸屏。触摸屏50包括在俯视时(自触摸屏的厚度方向观察时)分别沿着x方向延伸的多个第一透明电极51(51a、51b、51c、51d、…)与分别沿着y方向延伸的多个第二透明电极52(52a、52b、52c、52d、…)。再者，触摸屏50例如是平板设备(tabletdevice)的触摸屏，包括24根第一透明电极51及32根第二透明电极52。图1及以下所说明的各图中，仅图示了4根第一透明电极51及4根第二透明电极52。[0067]第一透明电极51及第二透明电极52是以在触摸屏50的厚度方向上隔开间隔，且俯视时彼此正交的方式而设。各透明电极51、52例如包含氧化铟锡(indiumtinoxide，ito)。在第一透明电极51及第二透明电极52的端部，连接有配线部53。各配线部53的一端连接于对应的透明电极51、透明电极52，另一方面，各配线部53的另一端延伸至触摸屏50的外缘部为止。各配线部53的另一端作为用于将配线部53连接至外部机器的触摸屏端子部54发挥功能。[0068]静电电容型触摸屏50中，在多个第一透明电极51的各个与多个第二透明电极52的各个之间的各点(point)p(p11～p44)处，在触摸屏50的厚度方向上形成一种电容器。当用户以手指等触摸触摸屏上的所需位置时，所述位置的静电电容发生变化。触摸屏50通过检测所述静电电容的变化，可检测用户触摸的位置。[0069][检查装置的结构][0070]检查装置1是用于对多个第一透明电极51的各个与多个第二透明电极52的各个之间(换言之，为图1中的各点p11～p44)的阻抗进行测量。例如，在包括24根第一透明电极51及32根第二透明电极52的触摸屏的情况下，测量768点的阻抗。检查装置1具有多个检查装置侧端子部6a，经由这些端子部6a来对触摸屏50的各电极51、52输出交流信号，或者对各透明电极51、透明电极52间的(即，各点p11～p44的)阻抗进行测量。本实施方式中，检查装置侧端子部6a经由扁平电缆60及连接基板70而与触摸屏端子部54电性连接。[0071]扁平电缆60包括彼此隔开微小的间隔而平行地配置的多个配线61与设在它们两端的连接器62、连接器63。连接器62、连接器63具有装置侧连接器62及基板侧连接器63。扁平电缆60中，多个配线61被可挠性的树脂构件覆盖。[0072]扁平电缆60中，装置侧连接器62与检查装置1的连接器6连接，另一方面，基板侧连接器63与连接基板连接器72连接。由此，扁平电缆60的各配线61的一端侧连接于检查装置1的各端子部6a，另一方面，扁平电缆60的各配线61的另一端侧连接于连接基板70的各端子部。[0073]连接基板70例如是使用玻璃环氧基板而构成。连接基板70包括：多个配线71；连接基板连接器72，设在扁平电缆60侧；以及连接基板端子部73，以成为与触摸屏端子部54的各端子对应的间隔的方式而形成。[0074]连接基板70中，连接基板连接器72与扁平电缆60的基板侧连接器63连接，另一方面，连接基板端子部73经由异向导电构件75而连接于触摸屏端子部54。作为一例，异向导电构件75例如包含异向导电橡胶片，其构成为，当沿其厚度方向按压时，按压方向的电阻值变低。当利用异向导电构件75来覆盖触摸屏端子部54的露出部，并在其上设置连接基板端子部73而朝触摸屏50侧按压时，连接基板端子部73经由异向导电构件75而连接于触摸屏端子部54。由此，扁平电缆60与触摸屏50经由连接基板70及异向导电构件75而电性连接。[0075][检查装置的结构][0076]参照图1，检查装置1包括信号产生器2、电压检测部3、多个电流检测部4(4a、4b、4c、4d)、多个切换开关5(5a～5k)、检查装置连接器6、控制部7以及运算部8。多个电流检测部4具有一个第一电流检测部4a与多个第二电流检测部4b、4c、4d。再者，例如作为一例，检查装置1具有与第二透明电极52为相同数量的电流检测部4。图1中，仅图示了与所图示的第二透明电极52为相同数量的电流检测部4。[0077]信号产生器2经由扁平电缆60及连接基板70向第一透明电极51及第二透明电极52输出交流信号。信号产生器2的其中一侧的端子与切换开关5a、切换开关5b、切换开关5c、切换开关5d连接，另一侧的端子接地。[0078]电压检测部3经由扁平电缆60及连接基板70来检测第一透明电极51及第二透明电极52之间的交流电压。电压检测部3的其中一侧的端子与切换开关5a、切换开关5b、切换开关5c、切换开关5d连接，另一侧的端子接地。[0079]各电流检测部4经由扁平电缆60及连接基板70来检测流经第一透明电极51及第二透明电极52之间的交流电流。第一电流检测部4a的其中一侧的端子与切换开关5e、切换开关5g、切换开关5i、切换开关5k连接，另一侧的端子接地。第二电流检测部4b的其中一侧的端子与切换开关5f连接，另一侧的端子接地。第二电流检测部4c的其中一侧的端子与切换开关5h连接，另一侧的端子接地。第二电流检测部4d的其中一侧的端子与切换开关5j连接，另一侧的端子接地。[0080]第一电流检测部4a在检查装置1出货之前进行校准。检查装置1的校准是对拆除了扁平电缆60及连接基板70的状态的检查装置1进行。在第一电流检测部4a的校准中，例如作为一例，在切换开关5a、切换开关5e为导通的状态且在与各切换开关5a、5e相连的配线间连接有标准电容器的状态下，对所述标准电容器的阻抗进行计测。并且，若所计测出的容量值与标准电容器的值的偏离为规定值以上，则进行第一电流检测部4a的调整，以使所述偏离小于规定值，由此，校准完成。另一方面，若所计测出的容量值与标准电容器的值的偏离小于规定值，则确认所计测出的容量值与标准电容器的值的偏离小于规定值，由此，校准完成。再者，第二电流检测部4b、第二电流检测部4c、第二电流检测部4d未经校准。[0081]切换开关5是用于切换所述信号产生器2、电压检测部3及电流检测部4与第一透明电极51及第二透明电极52的连接状态。切换开关5根据来自控制部7的指令信号而切换为导通状态或断开状态。[0082]具体而言，切换开关5a将信号产生器2及电压检测部3与第一透明电极51d的连接状态切换为导通或断开。切换开关5b将信号产生器2及电压检测部3与第一透明电极51c的连接状态切换为导通或断开。切换开关5c将信号产生器2及电压检测部3与第一透明电极51b的连接状态切换为导通或断开。切换开关5d将信号产生器2及电压检测部3与第一透明电极51a的连接状态切换为导通或断开。[0083]另外，切换开关5e将第一电流检测部4a与第二透明电极52a的连接状态切换为导通或断开。切换开关5f将第二电流检测部4b与第二透明电极52b的连接状态切换为导通或断开。切换开关5g将第一电流检测部4a与第二透明电极52b的连接状态切换为导通或断开。切换开关5h将第二电流检测部4c与第二透明电极52c的连接状态切换为导通或断开。切换开关5i将第一电流检测部4a与第二透明电极52c的连接状态切换为导通或断开。切换开关5j将第二电流检测部4d与第二透明电极52d的连接状态切换为导通或断开。切换开关5k将第一电流检测部4a与第二透明电极52d的连接状态切换为导通或断开。[0084]控制部7及运算部8包含硬件处理器(hardwareprocessor)(例如中央处理器(centralprocessingunit，cpu)、现场可编程门阵列(fieldprogrammablegatearray，fpga)等)以及非挥发性存储器等元件。例如，通过cpu自非挥发性存储器读出程序并予以执行，从而控制部7及运算部8如下文所说明那样运行。[0085]为了切换各切换开关5的连接状态，控制部7控制作为对象的切换开关5，以将切换开关5切换为导通或断开。[0086]运算部8基于由电压检测部3所检测出的电压值、及由电流检测部4所检测出的电流值，来测量各点p11～p44处的准确的阻抗值。对于所述运算部8对阻抗值的测量方法，详细将后述。[0087]再者，以下，将彼此电性连接的状态下的检查装置1、扁平电缆60及连接基板70称作检查装置单元10。所谓检查装置单元10，包括检查装置1、及用于将所述检查装置1连接至触摸屏50的连接部(本实施方式的情况下为扁平电缆60及连接基板70)。[0088][检查装置对阻抗的测量方法][0089]图2是用于说明使用实施方式的检查装置1而进行的第一实施方式的阻抗的测量方法的流程图。另外，图3至图9分别是用于说明图2中的步骤s3～步骤s8、步骤s10的各步骤的图。[0090]再者，在图2所示的流程图中，步骤s1是在检查装置1出货之前进行的步骤，步骤s2以后是利用检查装置1来进行触摸屏50的检查的阶段，换言之，是在检查装置1出货之后进行的步骤。例如作为一例，步骤s1是在检查装置1的制造者侧进行的作业，步骤s2以后是在检查装置1的用户侧进行的作业。然而，在步骤s1中进行的步骤也可在用户侧进行。[0091]首先，在步骤s1((a)步骤)中，进行第一电流检测部4a的校准。对于校准，例如作为一例，使用1pf、10pf、100pf、1000pf的标准电容器。在第一电流检测部4a的校准中，例如作为一例，在切换开关5a、切换开关5e为导通的状态且在与各切换开关5a、5e相连的配线间连接有标准电容器的状态下，对所述标准电容器的阻抗进行计测。并且，若所计测出的容量值与标准电容器的值的偏离为规定值以上，则进行第一电流检测部4a的调整，以使所述偏离小于规定值，由此，校准完成。另一方面，若所计测出的容量值与标准电容器的值的偏离小于规定值，则确认所计测出的容量值与标准电容器的值的偏离小于规定值，由此，校准完成。[0092]接下来，在步骤s2((b)步骤)中，自作为检查对象的触摸屏50中选定基准面板s。作为所述基准面板s，选定各点p11～p44的阻抗未大幅偏离标准的触摸屏50中的各点p11～p44的阻抗的面板。基准面板s的各点p11～p44处的准确的阻抗值不需要算出，只要确认与其他触摸屏50中的各点p11～p44的阻抗值无相对大的差异即可。作为基准面板s，优选为透明电极51、透明电极52未断线、第一透明电极51与第二透明电极52未短路。再者，进行步骤s1与步骤s2的顺序也可相反。[0093]继而，进行步骤s3至步骤s9。这些步骤s3至步骤s9是用于导出修正参数以便对作为检查对象物的触摸屏50的各点p11～p44的准确阻抗进行测量的步骤，所述修正参数用于对在后述的步骤s10中测量出的触摸屏50的各点p11～p44的阻抗进行修正。[0094]在步骤s3((i)步骤)中，参照图3，使用第一电流检测部4a来进行检查装置单元10处于开放状态时的阻抗测量(以下，也有时简称作z测量)。所谓处于开放状态的检查装置单元10，是指全部的连接基板端子部73开放的状态的检查装置单元10。具体而言，在步骤s3中的z测量中，仅使用已校准的电流检测部即第一电流检测部4a，来对可与第一透明电极51连接的第一配线11、第一配线12、第一配线13、第一配线14中的任一个、与可与第二透明电极52连接的第二配线15、第二配线16、第二配线17、第二配线18中的任一个之间的阻抗进行测量。例如作为一例，在步骤s3中，在切换开关5a、切换开关5b、切换开关5c、切换开关5d分别导通的状态下，依次对切换开关5e、切换开关5g、切换开关5i、切换开关5k进行切换，在全部的组合下分别测量阻抗。所述步骤s3中的测量值是作为修正参数的第一开放配线间阻抗zo1。[0095]再者，第一配线11～第一配线14及第二配线15～第二配线18是自扁平电缆60的检查装置1侧的端部遍及至连接基板70的连接基板端子部73的范围的配线。换言之，第一配线11～第一配线14及第二配线15～第二配线18是将检查装置1与触摸屏50相连的配线。[0096]接下来，在步骤s4((f)步骤)中，参照图4，使用全部的电流检测部4a～电流检测部4d，来进行检查装置单元10处于开放状态时的z测量。具体而言，在步骤s4中的z测量中，使用全部的电流检测部4a～电流检测部4d，来对第一配线11～第一配线14中的任一个、与第二配线15～第二配线18中的任一个之间的阻抗进行测量。例如作为一例，在步骤s4中，在切换开关5e、切换开关5f、切换开关5h、切换开关5j全部导通的状态下，切换开关5a、切换开关5b、切换开关5c、切换开关5d中的任一个导通。由此，并行地一次测量基于由电压检测部3所检测出的电压值与由第一电流检测部4a所检测出的电流值的阻抗、基于由电压检测部3所检测出的电压值与由第二电流检测部4b所检测出的电流值的阻抗、基于由电压检测部3所检测出的电压值与由第二电流检测部4c所检测出的电流值的阻抗、以及基于由电压检测部3所检测出的电压值与由第二电流检测部4d所检测出的电流值的阻抗。所述步骤s4中的测量值是作为修正参数的第二开放配线间阻抗zo2。[0097]接下来，在步骤s5((j)步骤)中，参照图5，使用第一电流检测部4a，来进行检查装置单元10处于短路状态时的z测量。所谓处于短路状态的检查装置单元10，是指全部的连接基板端子部73短路的状态的检查装置单元10。具体而言，在步骤s5中的z测量中，仅使用第一电流检测部4a，来对第一配线11～第一配线14中的任一个、与第二配线15～第二配线18中的任一个之间的阻抗进行测量。除了连接基板端子部73的状态(短路状态抑或是开放状态)不同以外，步骤s5中的z测量的具体顺序的一例与步骤s3相同，因此省略其说明。所述步骤s5中的测量值是作为修正参数的第一短路配线间阻抗zs1。[0098]接下来，在步骤s6((h)步骤)中，参照图6，使用全部的电流检测部4a、电流检测部4b、电流检测部4c、电流检测部4d，来进行检查装置单元10处于短路状态时的z测量。具体而言，在步骤s6中的z测量中，使用全部的电流检测部4a、电流检测部4b、电流检测部4c、电流检测部4d，对第一配线11～第一配线14中的任一个、与第二配线15～第二配线18中的任一个之间的阻抗进行测量。除了连接基板端子部73的状态(短路状态抑或是开放状态)不同以外，步骤s6中的z测量的具体顺序的一例与步骤s4相同，因此省略其说明。所述步骤s6中的测量值是作为修正参数的第二短路配线间阻抗zs2。[0099]接下来，在步骤s7((c)步骤)中，参照图7，使用第一电流检测部4a来进行基准面板s的各点p11～p44的z测量。具体而言，在步骤s7中，仅使用第一电流检测部4a，来对配线11～配线14中的任一个与配线15～配线18中的任一个之间的阻抗进行测量。除了是否在连接基板端子部73连接有基准面板s以外，步骤s7中的基准面板s的z测量的具体顺序的一例与步骤s3相同，因此省略其说明。所述步骤s7中的测量值是作为修正参数的第一基准阻抗zx1。再者，图7及图8中，为了与图9所示的触摸屏50区分，对基准面板s标注有影线。[0100]接下来，在步骤s8((g)步骤)中，参照图8，使用全部的电流检测部4a、电流检测部4b、电流检测部4c、电流检测部4d，来进行基准面板s的各点p11～p44的z测量。具体而言，在步骤s8中，使用全部的电流检测部4a、电流检测部4b、电流检测部4c、电流检测部4d，来对配线11～配线14中的任一个与配线15～配线18中的任一个之间的阻抗进行测量。除了是否在连接基板端子部73连接有基准面板s以外，步骤s8中的基准面板s的z测量的具体顺序的一例与步骤s4相同，因此省略其说明。所述步骤s8中的测量值是作为修正参数的第二基准阻抗zx2。[0101]接下来，在步骤s9((k)步骤)中，基于在步骤s3、步骤s5中求出的各修正参数(第一开放配线间阻抗zo1、第一短路配线间阻抗zs1)，对在步骤s7中求出的基准面板s的各点p11～p44的第一基准阻抗zx1进行修正。由此，算出基准面板s的各点p11～p44的修正后基准阻抗zstd。具体而言，在步骤s9中，基于以下的式(1)来算出作为修正参数的修正后基准阻抗zstd。[0102][数1][0103]zstd＝zo1×{(zs1‑zx1)/(zx1‑zo1)}…(1)[0104]如上所述，通过步骤s3至步骤s9来算出各修正参数及修正基准后阻抗后，在步骤s10及步骤s11中，进行触摸屏50的各点的z测量。[0105]再者，所述步骤s3至步骤s8的步骤并不限于此处所说明的内容，为任何顺序皆可。另外，所述步骤s9的步骤只要是至少进行了步骤s3、步骤s5、步骤s7之后即可。[0106]在步骤s10((d)步骤)中，参照图9，使用全部的电流检测部4a、电流检测部4b、电流检测部4c、电流检测部4d来进行触摸屏50的各点p11～p44的z测量。具体而言，在步骤s10中，使用全部的电流检测部4a、电流检测部4b、电流检测部4c、电流检测部4d来测量配线11～配线14中的任一个与配线15～配线18中的任一个之间的阻抗。[0107]除了取代基准面板s而连接触摸屏50以外，步骤s10中的z测量的具体顺序的一例与步骤s8的情况相同。[0108]具体而言，在步骤s10中，在切换开关5e、切换开关5f、切换开关5h、切换开关5j全部导通的状态下，切换开关5a、切换开关5b、切换开关5c、切换开关5d中的任一个导通。由此，并行地一次测量基于由电压检测部3所检测出的电压值与由第一电流检测部4a所检测出的电流值的阻抗、基于由电压检测部3所检测出的电压值与由第二电流检测部4b所检测出的电流值的阻抗、基于由电压检测部3所检测出的电压值与由第二电流检测部4c所检测出的电流值的阻抗、以及基于由电压检测部3所检测出的电压值与由第二电流检测部4d所检测出的电流值的阻抗。在所述步骤s10中测量出的阻抗是作为触摸屏50的各点p11～p44的对象物阻抗zxm而测量。[0109]继而，在步骤s11((e)步骤)中，基于在步骤s4、步骤s6、步骤s8中求出的各修正参数(第二开放配线间阻抗zo2、第二短路配线间阻抗zs2、第二基准阻抗zx2)、及在步骤s9中求出的修正后基准阻抗zstd，对在步骤s10中求出的触摸屏50的各点p11～p44的阻抗zxm进行修正，算出修正后阻抗zdut。具体而言，在步骤s11中，基于以下的式(2)来算出修正后阻抗zdut。[0110][数2][0111]zdut＝zstd×[{(zo2‑zx2)×(zxm‑zs2)}/{(zx2‑zs2)×(zo2‑zxm)}]…(2)[0112]例如作为一例，以上述方式算出的修正后阻抗zdut作为测量值显示在显示器。或者，将所述修正后阻抗zdut与规定的阈值进行比较，基于所述比较结果来判定触摸屏50是良品抑或是不良品，并将所述判定结果显示在显示器。[0113][关于式(1)的求法][0114]图10是用于说明所述式(1)的图，是表示将基准面板s连接于检查装置单元10的状态的示意图。[0115]当将连接检查装置1与基准面板s的扁平电缆60及连接基板70的残留阻抗建模为图10所示的f参数(a、b、c、d)所表示的线性电路时，使用电压检测部3及已校准的第一电流检测部4a而测量出的基准面板s的阻抗(即，在步骤s7中测量出的阻抗zx1)能够以下述式(3)来表示。[0116][数3][0117]zx1＝(av2 bi2)/(cv2 di2)…(3)[0118]其中，v2为输出电压，i2为输出电流。[0119]另外，在图10中的连接基板端子部73已开放的状态下，阻抗(即，在步骤s3中测量出的阻抗zo1)能够以下述式(4)来表示。[0120][数4][0121]zo1＝a/c…(4)[0122]另外，在图10中的连接基板端子部73已短路的状态下，阻抗(即，在步骤s5中测量出的第一短路配线间阻抗zs1)能够以下述式(5)来表示。[0123][数5][0124]zs1＝b/d…(5)[0125]另外，扁平电缆60及连接基板70为对称电路，因此以下的式(6)成立。[0126][数6][0127]a＝d…(6)[0128]另外，图10中的基准面板s的修正后基准阻抗zstd能够以下述式(7)来表示。[0129][数7][0130]zstd＝v2/i2…(7)[0131]若使用式(3)至式(7)来消除f参数a～f参数d，则可得到式(1)。[0132][关于式(2)的求法][0133]图11a是用于说明所述式(2)的图，是将修正后基准阻抗的值为zstd的负载连接于检查装置单元10时的示意图。另外，图11b是表示将触摸屏50连接于检查装置单元10的状态的示意图。[0134]在步骤s9中，通过对使用经校准的电流检测部即第一电流检测部4a而测量出的基准面板s的第一基准阻抗zx1进行修正，从而算出修正后基准阻抗zstd。若使用所述修正后基准阻抗zstd，则可对图11b所示的触摸屏50的阻抗的测量误差，具体而言，对使用未经校准的电流检测部即第二电流检测部4b、第二电流检测部4c、第二电流检测部4d而测量出的触摸屏50的z的测量误差进行修正。[0135]具体而言，参照图11a，当将修正后基准阻抗zstd的负载连接于连接基板端子部73时，若假定检查装置1中的z测量值为z1，则以下的式(8)成立。[0136][数8][0137]z1＝v1/i1、z2＝v2/i2、z1＝(av2 bi2)/(cv2 di2)＝(az2 b)/(cz2 d)…(8)[0138]其中，v1为输入电压，i1为输入电流，z1为输入阻抗，z2为输出阻抗。[0139]所述参数a、参数b、参数c、参数d可通过将以下的值适用于式(8)而消除。具体而言，通过将步骤s4中的测量值即第二开放配线间阻抗zo2、步骤s6中的测量值即第二短路配线间阻抗zs2、步骤s8中的测量值即第二基准阻抗zx2、步骤s10中的测量值即对象物阻抗zxm以及步骤s9中的测量值即修正后基准阻抗zstd适用于式(8)，可消除a～d，从而可算出式(2)。此处，第二开放配线间阻抗zo2、第二短路配线间阻抗zs2、第二基准阻抗zx2、及对象物阻抗zxm是由未经校准的电流检测部4b、电流检测部4c、电流检测部4d的测量结果得出的值。即，通过修正后基准阻抗zstd与未经校准的电流检测部4b、电流检测部4c、电流检测部4d的测量结果，可修正触摸屏50的z的测量误差。[0140]如上所述，根据第一实施方式的阻抗测量方法，可通过多个电流检测部4a、4b来一次同时测量多个点的阻抗，因此可使检查速度高速化。[0141]并且，根据第一实施方式，通过使用式(2)来对利用包含未进行校准的第二电流检测部4b、第二电流检测部4c、第二电流检测部4d的全部的电流检测部4a、电流检测部4b、电流检测部4c、电流检测部4d而测量出的阻抗进行修正，可进行准确的阻抗测量。换言之，即使不对全部的电流检测部4a、电流检测部4b、电流检测部4c、电流检测部4d进行校准，也能够进行准确的阻抗测量，因此既可维持检查装置1的性能，又可简化制品出货时通常所需的全部的电流检测部4a、电流检测部4b、电流检测部4c、电流检测部4d的校准作业。[0142][效果][0143]如上所述，根据使用第一实施方式的检查装置1的阻抗测量方法，可使用检查装置1中所含的多个电流检测部4a、4b、4c、4d，来并行地测量触摸屏50的多个点(例如p11、p21、p31、p41、…)的对象物阻抗zxm。由此，可统一测量触摸屏50中需要阻抗测量的大量部位中的多个部位的阻抗，因此可缩短测量时间。[0144]另外，根据所述测量方法，利用使用经校准的电流检测部(第一电流检测部4a)所测量出的基准面板s的第一基准阻抗zx1，对如上述那样测量出的多个部位的对象物阻抗zxm进行修正。因而，根据所述方法，使用可检测准确的电流值的第一电流检测部4a来测量第一基准阻抗zx1，因此可高精度地测量用于修正触摸屏50的对象物阻抗zxm的第一基准阻抗zx1。[0145]另外，根据所述测量方法，可使用自大量的触摸屏50中选定的面板来作为基准面板s。即，根据所述方法，不需要特意准备全部的测量部位的阻抗为已知的样本，因此可提供便利性优异的测量方法。[0146]因而，根据所述测量方法，既可简化检查装置1中所含的多个电流检测部4a、4b、4c、4d的校准工时，又可获得准确的阻抗值。[0147]另外，根据所述测量方法，自基准样本s的对象中排除具有极端阻抗值的触摸屏50。由此，可选定具有适当阻抗值的触摸屏50来作为基准样本s，从而可利用适当的第一基准阻抗zx1来修正对象物阻抗zxm，因此可获得更准确的修正后阻抗zdut。[0148]另外，根据所述测量方法，对于使用多个电流检测部4a、4b、4c、4d而测量出的对象物阻抗zxm，进行所谓的开路修正及负载修正。由此，可获得更准确的修正后阻抗zdut。[0149]另外，根据所述测量方法，对于使用多个电流检测部4a、4b、4c、4d而测量出的对象物阻抗zxm，不仅进行所述开路修正及负载修正，也进行所谓的短路修正。由此，可获得更准确的修正后阻抗zdut。[0150]另外，根据所述测量方法，对使用经校准的电流检测部(第一电流检测部4a)而测量出的基准面板s的第一基准阻抗zx1进行所谓的开路修正及短路修正。由此，可获得基准面板s的更准确的修正后基准阻抗zstd，因此可获得更准确的修正后阻抗zdut。[0151]另外，根据所述测量方法，可使用式(1)来获得适当的修正后基准阻抗zstd。可由包含扁平电缆60及连接基板70的阻抗的值即第一基准阻抗zx1，获得不含扁平电缆60及连接基板70的阻抗的值即修正后基准阻抗zstd。[0152]另外，根据所述测量方法，可使用式(2)来获得适当的修正后阻抗zdut。[0153]另外，根据所述测量方法，可准确地测量触摸屏50所具有的各电极51、52间的修正后阻抗zdut。[0154]另外，根据检查装置1，既可简化多个电流检测部4a、4b、4c、4d的校准工时，又可获得准确的修正后阻抗zdut。[0155]再者，与第一实施方式相关的说明是本测量方法及本检查装置可采取的形态的例示，并不意图限制所述形态。本测量方法及本检查装置除了第一实施方式以外，也可采取例如以下所示的所述实施方式的变形例、及将彼此不矛盾的至少二个变形例组合而成的形态。[0156]所述实施方式中，作为检查装置1的检查对象物，举触摸屏50为例进行了说明。然而，并不限于此，检查对象物只要具有彼此隔离的多个导电部即可。[0157]例如，检查装置1的检查对象物也可为集成电路(integratedcircuit，ic)。此时，ic的接脚(pin)相当于触摸屏50的触摸屏端子部54。检查装置1与插入至相当于连接基板端子部73的插座(socket)(省略图示)内的ic电性连接。由此，可测量ic的接脚间的阻抗。另外，检查装置1的检查对象物也可为微机电系统(microelectromechanicalsystem，mems)元件。mems元件的输入/输出端子相当于触摸屏50的触摸屏端子部54。检查装置1与mems元件电性连接。由此，可测量mems元件的阻抗。[0158][第二实施方式][0159]图12是用于说明由检查装置1所进行的阻抗测量方法且与所述测量方法不同的另一测量方法(第二实施方式的测量方法)的流程图。另外，图13至图15分别是用于说明图12中的各个步骤s27、28、30的图。[0160]根据第二实施方式的测量方法，可在多个触摸屏50中并行地测量多个触摸屏50各自的所需部位的阻抗，具体而言，为一个第一透明电极51x(省略图示)与一个第二透明电极51y(省略图示)相交的点(例如图1的p11)处的阻抗。以下，举并行地测量各触摸屏50的p11处的阻抗的示例来进行说明。再者，步骤s21及步骤s23～步骤s26与步骤s1及步骤s3～步骤s6同样，因此省略说明。另外，在区分说明各触摸屏50时，使用50a、50b、50c、50d来作为触摸屏50的符号。[0161]在步骤s22中，选定多个基准面板s1～sn。n只要是2以上的自然数即可，本实施方式中设为n＝4来进行说明。在基准面板s1中，选定所需部位(p11)来作为阻抗的测量对象。同样，在其他的基准面板s2～基准面板s4中，也选定p11来作为阻抗测量对象。作为基准面板s，选定p11处的阻抗未大幅偏离标准的触摸屏50的p11处的阻抗的面板。基准面板s的p11处的准确的阻抗不需要算出，只要确认与其他触摸屏50的p11处的阻抗无相对大的差异即可。作为基准面板s，优选为第一透明电极51x及第二透明电极51y中的至少任一个未断线、第一透明电极51x与第二透明电极51y未短路。[0162]在步骤s27中，使用第一电流检测部4a来测量各基准面板s1～s4的点p11处的第一基准阻抗zx1。[0163]在步骤s27中，参照图13，首先，将检查装置1侧的各第一配线11～18连接至各基准面板s1～s4的配线53a、配线53b。具体而言，例如，如图13所示，第一配线14及第二配线15分别连接于基准面板s1的配线53a及配线53b，第一配线13及第二配线16分别连接于基准面板s2的配线53a及配线53b，第一配线12及第二配线17分别连接于基准面板s3的配线53a及配线53b，第一配线11及第二配线18分别连接于基准面板s4的配线53d及配线53e。由此，四个基准面板s1～s4与检查装置1适当地连接。再者，在图13及图14中，为了与图15所示的触摸屏50a～触摸屏50d区分，对基准面板s1～基准面板s4标注有影线。另外，图13至图15中，仅示意性地图示了在第二实施方式的阻抗测量方法中进行阻抗测量的部位(p11)、及连接于p11的配线53a、配线53b，对于除此以外的部分省略了图示。[0164]在此状态下，通过将切换开关5d及切换开关5e导通且将其他切换开关5设为断开，从而测量基准面板s1的点p11处的第一基准阻抗zx1。另外，通过将切换开关5c及切换开关5g导通且将其他切换开关设为断开，从而测量基准面板s2的点p11处的第一基准阻抗zx1。另外，通过将切换开关5b及切换开关5i导通且将其他切换开关设为断开，从而测量基准面板s3的点p11处的第一基准阻抗zx1。另外，通过将切换开关5a及切换开关5k导通且将其他切换开关5设为断开，从而测量基准面板s4的点p11处的第一基准阻抗zx1。由此，使用第一电流检测部4a来测量各基准面板s1～s4的p11处的第一基准阻抗zx1。[0165]在步骤s28中，参照图14，使用全部的电流检测部4a、电流检测部4b、电流检测部4c、电流检测部4d来测量各基准面板s1～s4的p11处的第二基准阻抗zx2。[0166]实施步骤28中的阻抗测量时的、配线11～配线18与各基准面板s1～s4的配线53a、配线53b的连接状态与步骤27的情况相同。具体而言，第一配线14及第二配线15分别连接于基准面板s1的配线53a及配线53b，第一配线13及第二配线16分别连接于基准面板s2的配线53a及配线53b，第一配线12及第二配线17分别连接于基准面板s3的配线53a及配线53b，第一配线11及第二配线18分别连接于基准面板s4的配线53d及配线53e。在此状态下，进行步骤s28中的阻抗测量。[0167]具体而言，通过将切换开关5d及切换开关5e导通且将其他切换开关5设为断开，从而测量基准面板s1的点p11处的阻抗。另外，通过将切换开关5c及切换开关5f导通且将其他切换开关5设为断开，从而测量基准面板s2的点p11处的阻抗。另外，通过将切换开关5b及切换开关5h导通且将其他切换开关5设为断开，从而测量基准面板s3的点p11处的阻抗。另外，通过将切换开关5a及切换开关5j导通且将其他切换开关5设为断开，从而测量基准面板s4的点p11处的阻抗。由此，使用全部的电流检测部4a、电流检测部4b、电流检测部4c、电流检测部4d来测量各基准面板s1～s4的p11处的阻抗。[0168]在步骤s29中，基于在步骤s23、步骤s25中求出的各修正参数(第一开放配线间阻抗zo1、第一短路配线间阻抗zs1)，对在步骤s27中求出的各基准面板s1～s4的p11处的阻抗进行修正。由此，算出各基准面板s1～s4的修正后基准阻抗zstd。在修正时，与步骤s9同样地使用式(1)。[0169]在步骤s30中，参照图15，使用全部的电流检测部4a、电流检测部4b、电流检测部4c、电流检测部4d，来测量各触摸屏50的p11处的阻抗。除了取代基准面板s而连接触摸屏50以外，步骤s30中的z测量的具体顺序的一例与步骤s28的情况相同，因此省略说明。[0170]继而，在步骤s31中，基于在步骤s24、步骤s26、步骤s28中求出的各修正参数(第二开放配线间阻抗zo2、第二短路配线间阻抗zs2、第二基准阻抗zx2)及在步骤s29中求出的修正后基准阻抗zstd，对在步骤s30中求出的各触摸屏50的p11处的阻抗进行修正，算出修正后阻抗zdut。由此，算出各触摸屏50的修正后阻抗zdut。在修正时，与步骤s11同样地使用式(2)。[0171][第二实施方式的效果][0172]如上所述，根据第二实施方式的阻抗测量方法，可使用检查装置1中所含的多个电流检测部4a、4b、4c、4d，来并行地测量多个触摸屏50a～50d的点p11处的对象物阻抗zxm。由此，可统一测量多个触摸屏50a～50d的对象物阻抗zxm，因此可缩短测量时间。[0173]另外，根据所述测量方法，利用使用经校准的电流检测部(第一电流检测部4a)而测量出的基准面板的第一基准阻抗zx1，对如上述那样测量出的各触摸屏50的对象物阻抗zxm进行修正。因而，根据所述方法，使用可检测准确的电流值的电流检测部4a来测量第一基准阻抗zx1，因此可高精度地测量用于修正触摸屏50的对象物阻抗zxm的第一基准阻抗zx1。[0174]另外，根据所述测量方法，可使用自大量的触摸屏50中选定的面板来作为基准面板s。即，根据所述方法，不需要特意准备阻抗为已知的样本，因此可提供便利性优异的测量方法。[0175]因而，根据所述方法，与第一实施方式的阻抗测量方法的情况同样，既可简化检查装置中所含的多个电流检测部4a、4b、4c、4d的校准工时，又可获得准确的阻抗值。[0176]再者，第二实施方式的阻抗测量方法中，举检查对象物为触摸屏50的示例进行了说明。然而，并不限于此，检查对象物也可为ic或mems元件。进而，检查对象物也可并非具有多个第一电极及多个第二电极，也可具有一个第一电极及一个第二电极。[0177]符号的说明[0178]1：检查装置[0179]4a：第一电流检测部(经校准的电流检测部)[0180]4b、4c、4d：第二电流检测部[0181]50、50a～50d：触摸屏(检查对象物)[0182]51、51a～51d：第一透明电极(第一电极)[0183]52、52a～52d：第二透明电极(第二电极)[0184]s、s1～sn：基准面板(基准样本)[0185]zdut：修正后阻抗[0186]zstd：修正后基准阻抗[0187]zxm：对象物阻抗[0188]zx1：第一基准阻抗[0189]zx2：第二基准阻抗[0190]zo1：第一开放配线间阻抗[0191]zo2：第二开放配线间阻抗[0192]zs1：第一短路配线间阻抗[0193]zs2：第二短路配线间阻抗当前第1页12当前第1页12
再多了解一些
本文用于企业家、创业者技术爱好者查询，结果仅供参考。
