油墨涂布装置及其控制装置、及喷墨头检查方法与流程

油墨涂布装置及其控制装置、及喷墨头检查方法
1.本技术主张基于2020年5月20日申请的日本专利申请第2020
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088087号的优先权。该日本技术的全部内容通过参考援用于本说明书中。
技术领域
2.本发明涉及一种使用了喷墨头的油墨涂布装置及其控制装置、及喷墨头检查方法。


背景技术：

3.已知有从具备多个喷嘴的喷墨头的各喷嘴朝向基板吐出油墨从而在基板上形成由油墨构成的图案的技术。在下述专利文献1中公开了一种检测喷墨头的喷嘴的不良的方法。
4.在专利文献1中公开的方法中，在描绘对象物上设定描绘检查图案的检查区域和形成实际描绘图案的实际描绘区域。从所有喷嘴吐出液滴从而在检查区域上形成检查图案。对该检查图案进行图像识别从而检测出喷嘴不良。
5.专利文献1：日本特开2003
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251243号公报
6.例如，一个喷墨头有时设置有1000个左右的喷嘴。在设置有如此多的喷嘴的情况下，想要按照每个喷嘴对从多个喷嘴分别吐出油墨而形成的检查图案进行图像识别来判定良好与否，需要耗费与描绘处理的时间相比无法忽视的时间。若在每一张基板上形成检查图案来进行图像识别，则每一张基板的处理时间会变长。


技术实现要素：

7.本发明的目的在于提供一种能够抑制检查喷嘴良好与否所需时间变长的油墨涂布装置及其控制装置、及喷墨头检查方法。
8.根据本发明的一观点，提供一种油墨涂布装置，其具有：
9.喷墨头，其设置有吐出油墨的多个喷嘴；
10.移动机构，将基板配置于与所述喷墨头的喷嘴相向的位置，并使所述喷墨头和所述基板中的一个相对于另一个移动；
11.摄像装置，拍摄所述基板的油墨滴落面；及
12.控制装置，控制所述喷墨头及所述移动机构，并且分析由所述摄像装置拍摄的图像，
13.所述控制装置进行如下处理：
14.描绘处理，一边使所述喷墨头相对于所述基板进行相对移动一边从所述多个喷嘴中的若干个喷嘴吐出油墨；
15.检查用吐出处理，选择预计在所述描绘处理中吐出油墨的喷嘴或在所述描绘处理中吐出了油墨的喷嘴中的至少一部分喷嘴作为检查对象的喷嘴，并从检查对象的喷嘴吐出油墨而不从未成为检查对象的喷嘴吐出油墨，从而使油墨滴落于所述基板的一部分区域；
及
16.判定处理，获取由所述摄像装置拍摄在所述检查用吐出处理中油墨滴落的区域的图像，并根据所获取的图像来判定有无喷嘴的动作不良。
17.根据本发明的另一观点，提供一种用于上述油墨涂布装置的控制装置。
18.根据本发明的又一观点，提供一种喷墨头检查方法，其中，
19.一边使喷墨头相对于基板进行相对移动一边从所述喷墨头的多个喷嘴中的一部分喷嘴吐出油墨，从而描绘出由油墨构成的图案，
20.在描绘所述图案之前、所述描绘的中途及描绘之后中的至少一个时期，选择预计在所述图案的描绘中吐出油墨的喷嘴或在所述图案的描绘中吐出了油墨的喷嘴中的至少一部分喷嘴作为检查对象的喷嘴，并从检查对象的喷嘴吐出油墨而不从未成为检查对象的喷嘴吐出油墨，从而在所述基板的一部分区域形成检查图案，
21.获取所述检查图案的图像，并根据所获取的图像来判定有无喷嘴的动作不良。
22.通过从所有喷嘴中选择检查对象的喷嘴并对检查对象的喷嘴进行检查，能够抑制检查时间变长。
附图说明
23.图1a是基于一实施例的油墨涂布装置的概略主视图，图1b是表示可动工作台、油墨吐出单元及摄像装置的俯视观察时的位置关系的图。
24.图2是表示通过油墨的吐出而形成于基板上的图案及喷墨头相对于基板进行相对移动的轨迹的图。
25.图3是表示通过油墨的吐出而形成于基板上的图案及摄像装置相对于基板进行相对移动的轨迹的图。
26.图4是表示进行油墨的涂布及喷墨头的检查的步骤的流程图。
27.图5是表示另一实施例中的通过油墨的吐出而形成于基板上的图案及喷墨头相对于基板进行相对移动的轨迹的图。
28.图6是表示图5所示的实施例中的通过油墨的吐出而形成于基板上的图案及摄像装置相对于基板进行相对移动的轨迹的图。
29.图7是表示进行基于图5及图6所示的实施例的油墨的涂布及喷墨头的检查的步骤的流程图。
30.图8是表示又一实施例中的通过油墨的吐出而形成于基板上的图案及喷墨头相对于基板进行相对移动的轨迹的图。
31.图9是表示进行基于图8所示的实施例的油墨的涂布及喷墨头的检查的步骤的流程图。
32.图10是表示又一实施例中的通过油墨的吐出而形成于基板上的图案及喷墨头相对于基板进行相对移动的轨迹的图。
33.图11是表示进行基于图10所示的实施例的油墨的涂布及喷墨头的检查的步骤的流程图。
34.图12是表示又一实施例中的通过油墨的吐出而形成于基板上的图案及喷墨头相对于基板进行相对移动的轨迹的图。
35.图中：10
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基座，11
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移动机构，11x
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x方向移动机构，11y
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y方向移动机构，12
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可动工作台，13
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支承部件，20
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基板，21
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扫程区域，22
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点，23
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检查图案的点，24
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检查图案，25
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检查区域，26
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膜，27
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仅配置有膜的区域，30
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油墨吐出单元，31
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喷墨头，32
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喷嘴，33
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固化用光源，40
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摄像装置，50
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控制装置，51
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存储部，52
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控制部。
具体实施方式
36.下面，参考图1a至图4对本发明的一实施例进行说明。
37.图1a是基于本实施例的油墨涂布装置的概略主视图。在基座10上，经由移动机构11支承有可动工作台12。定义x轴及y轴朝向水平方向且z轴朝向铅垂方向上方的xyz正交坐标系统。控制装置50控制移动机构11以使可动工作台12沿x方向及y方向这两个方向移动。作为移动机构11，例如可以使用包括x方向移动机构11x和y方向移动机构11y的xy载物台。x方向移动机构11x使y方向移动机构11y相对于基座10沿x方向移动，y方向移动机构11y使可动工作台12相对于基座10沿y方向移动。
38.在可动工作台12的上表面(保持面)上保持有作为油墨涂布对象的基板20。基板20例如通过真空卡盘而固定于可动工作台12上。移动机构11使保持于可动工作台12的基板20沿与xy面平行的方向移动。在可动工作台12的上方，例如通过门型的支承部件13支承有油墨吐出单元30及摄像装置40。油墨吐出单元30及摄像装置40被支承为相对于基座10能够升降。油墨吐出单元30具有与基板20相向的多个喷嘴。各喷嘴将光固化性(例如，紫外线固化性)的油墨液滴化后朝向基板20的表面吐出。油墨的吐出由控制装置50控制。
39.摄像装置40拍摄基板20的上表面(涂布油墨的表面)。摄像装置40拍摄基板20上表面中的位于摄像装置40的视场角范围内的区域。
40.在图1a中示出了使油墨吐出单元30及摄像装置40相对于基座10静止而使基板20沿x方向及y方向移动的结构，但是与此相反，也可以采用使基板20相对于基座10静止而使油墨吐出单元30及摄像装置40移动的结构。使油墨吐出单元30及摄像装置40静止而使基板20移动的结构及使基板20静止而使油墨吐出单元30及摄像装置40移动的结构均可以视为使油墨吐出单元30及摄像装置40相对于基板20相对移动的结构。
41.控制装置50包括存储部51及控制部52。在存储部51中存储有指定应涂布油墨的位置的信息(以下，称为涂布图案数据)。例如，涂布图案数据指定与基板20表面上的多个位置分别建立有对应关系的多个像素中的应使油墨滴落的像素。在本说明书中，有时将与涂布图案数据的多个像素分别对应的基板上的位置简称为“像素”。
42.控制部52根据该涂布图案数据来控制移动机构11及油墨吐出单元30，以使油墨滴落于基板20表面上的规定位置。由此，在基板20的表面上形成由油墨构成的点或膜。“点”是指：滴落于一个像素上的油墨未与滴落于其他像素上的油墨连续而孤立的图案。相对于此，“膜”是指：滴落于多个像素上的油墨彼此相连而连续的图案。
43.图1b是表示可动工作台12、油墨吐出单元30及摄像装置40的俯视观察时的位置关系的图。在可动工作台12的保持面上保持有基板20。在基板20的上方，支承有油墨吐出单元30及摄像装置40。油墨吐出单元30包括喷墨头31及固化用光源33。在喷墨头31的与基板20相向的表面上设置有多个喷嘴32。多个喷嘴32在x方向上等间隔排列。该间隔例如为相当于600dpi的分辨率的尺寸。另外，多个喷嘴32无需一定要配置于与x方向平行的一条直线上，
也可以配置于从与x方向平行的基线朝向y方向有规则地错开的位置上。例如，可以交错状配置。
44.固化用光源33分别配置于喷墨头31的y方向上的两侧，并且作为使附着于基板20上的油墨固化的固化装置而发挥作用。控制装置50控制移动机构11以使可动工作台12沿x方向及y方向移动。此外，控制装置50控制从喷墨头31的各喷嘴32的油墨的吐出。
45.一边使基板20沿y方向移动(换言之，一边使喷墨头31相对于基板20沿y方向相对移动)一边从喷墨头31吐出油墨，从而能够将油墨涂布于基板20上并使x方向上的分辨率例如成为600dpi。附着于基板20上的油墨被从位于基板20的移动方向的下游侧的固化用光源33放射出的光固化。将一边使基板20沿y方向移动一边从喷墨头31向基板20滴落油墨的动作称为“扫描动作”。
46.可以在一次扫描动作中使喷墨头31沿y方向至少往复一次。此时，通过使喷墨头31在去程和返程中相对于基板20沿x方向彼此错开喷嘴32的间距的1/2，能够使油墨以1200dpi的分辨率滴落于基板20上。通过将喷墨头31的错开量设为喷嘴32的间距的1/4并使喷墨头31往复移动两次，能够使油墨以2400dpi的分辨率滴落于基板20上。如此，即使在为了提高分辨率而使喷墨头31沿y轴的正方向及负方向移动多次的情况下，也将多次移动统称为一次扫描动作。
47.若一次扫描动作结束，则控制装置50使可动工作台12沿x方向移动。换言之，使喷墨头31相对于基板20沿x方向相对移动。将该动作称为“位移动作”。通过反复进行扫描动作和位移动作，能够将油墨涂布于基板20的整个区域上。使喷墨头31相对于基板20沿x方向移动的相对移动量设为与位于x方向上的两端的两个喷嘴32之间的距离大致相等即可。另外，在油墨的吐出中不使用两端附近的一部分喷嘴32时，相对移动量设为与实际使用的喷嘴32中的位于两端的喷嘴32之间的距离大致相等即可。
48.接着，参考图2～图4对油墨的涂布(描绘)及喷墨头的检查的步骤进行说明。
49.图2是表示通过油墨的吐出而形成于基板20上的图案及喷墨头31相对于基板20进行相对移动的轨迹的图。在图2中，用带箭头的折线示出喷墨头31相对于基板20进行相对移动的轨迹。
50.在以下说明的例子中，如图2所示，通过进行四次扫描动作来在基板20上形成油墨的实际描绘图案。所形成的实际描绘图案由多个点22构成。即，滴落于一个像素上的油墨未与滴落于其他像素上的油墨连续而孤立。由这样的多个点22构成的实际描绘图案例如用作电阻膜式触控面板的两张导电膜之间的短路防止用的绝缘点(dot spacer)。在图2所示的例子中，在一张基板20上拼接有四张触控面板。作为一例，在一张基板20上形成点22的分布彼此相同的四个实际描绘图案。四个实际描绘图案配置成两行两列的矩阵状。
51.在基板20的边缘附近，设置有不用作触控面板的空白区域。在该空白区域的一部分上确保有检查区域25。将基板20上的通过一次扫描动作能够涂布油墨的区域称为扫程(pass)区域21。定义沿x方向无间隙地排列的多个扫程区域21(在本实施例中为四个扫程区域21)。扫程区域21分别具有在y方向上较长的长方形的形状。检查区域25沿着基板20的与x方向平行的一个边缘而配置，并且与所有扫程区域21均局部重叠。
52.针对多个扫程区域21，朝向x轴的正方向依次进行扫描动作。在第1个扫描动作及第3个扫描动作中，使喷墨头31相对于基板20沿y轴的正方向移动，在第2个扫描动作及第4
个扫描动作中，使喷墨头31相对于基板20沿y轴的负方向移动。
53.在扫描动作中，根据存储于存储部51(图1a)中的涂布图案数据，在规定的时刻从规定的喷嘴32吐出油墨，由此能够描绘出被涂布图案数据定义的实际描绘图案。而且，在检查区域25形成由多个点23构成的检查图案24。关于检查图案24的形成方法，将在后面进行说明。
54.图3是表示通过油墨的吐出而形成于基板20上的图案及摄像装置40相对于基板20进行相对移动的轨迹的图。在图3中，用带箭头的直线示出摄像装置40相对于基板20进行相对移动的轨迹。
55.通过使摄像装置40相对于基板20沿着检查区域25而沿x方向移动，能够获取检查图案24的图像。构成检查图案24的多个点23在y方向上的偏差宽度小于摄像装置40的视场角内的区域的y方向上的尺寸。
56.图4是表示进行油墨的涂布及喷墨头的检查的步骤的流程图。图4所示的各步骤的处理通过控制装置50控制移动机构11、喷墨头31及摄像装置40来执行。
57.在进行最初的扫描动作之前，选择预计在最初的扫描动作中吐出油墨的喷嘴32作为检查对象的喷嘴32(步骤s01)。检查对象的喷嘴32的选择可以根据存储于存储部51(图1a)中的涂布图案数据来进行。
58.接着，一边使喷墨头31相对于基板20沿y轴的正方向相对移动一边从多个检查对象的所有喷嘴32吐出油墨，从而在检查区域25上形成由多个点23构成的检查图案24(图2)(步骤s02)。将形成检查图案24的处理称为检查用吐出处理。预先将检查图案24设定为，使分别从多个检查对象的喷嘴32吐出的油墨在基板20上并未彼此连续而成为孤立的点23。
59.检查用吐出处理之后进行第1次扫描动作，从而在扫程区域21形成点图案。另外，检查用吐出处理中的使喷墨头31相对于基板20沿y轴的正方向移动和扫描动作中的使喷墨头31相对于基板20沿y轴的正方向移动并不中断而连续进行。
60.若对所有扫程区域21的油墨的涂布尚未结束(步骤s04)，则进行使喷墨头31相对于基板20沿x方向移动的位移动作(步骤s05)。然后，进行沿y轴的负方向的扫描动作从而在扫程区域21形成点图案(步骤s06)。接着，选择在刚进行的扫描动作(第2次扫描动作)中吐出了油墨的喷嘴32作为检查对象的喷嘴32(步骤s07)。
61.扫描动作之后，从检查对象的所有喷嘴32向与对应于第2次扫描动作的扫程区域21重叠的检查区域25吐出油墨从而形成检查图案24(图2)(步骤s08)。若对所有扫程区域21的油墨的涂布尚未结束(步骤s09)，则进行沿x方向的位移动作(步骤s10)。然后，重复从步骤s01开始的处理。将反复进行扫描动作和位移动作来在基板20的上表面形成由油墨构成的实际描绘图案的处理称为“描绘处理”。
62.若在步骤s04或步骤s09中判定为已完成对所有扫程区域21的油墨的涂布，则使摄像装置40相对于基板20相对移动从而获取检查图案24的图像(步骤s11)。然后，进行根据所获取的图像判定有无喷嘴32的动作不良的判定处理(步骤s12)。
63.例如，控制装置50通过进行图像分析来测量检查图案24的各点23的中心位置、平面形状及大小。若这些测量结果在允许范围内，则表示形成了该点23的喷嘴32的动作正常。若喷嘴32的动作正常，则通过该喷嘴32形成的点23的平面形状成为大致圆形。对点23的平面形状的评价例如根据从几何学严格意义上圆形的偏离量来进行。其中，“偏离量”例如可
以定义为如下：用同心的两个圆周夹住了评价对象的图形的外周线时同心的两个圆周之间的间隔最小时的两个圆周的半径之差。将该两个圆的中心位置定义为点23的中心位置即可。将点23的大小例如定义为两个圆周的直径的平均值即可。
64.接着，对上述实施例的优异效果进行说明。
65.在上述实施例中，选择在扫描动作中实际使用的或预计使用的喷嘴32作为检查对象的喷嘴，并从检查对象的喷嘴32吐出油墨来形成检查图案24(图2及图3)。因此，与从所有喷嘴32喷出油墨来形成检查图案的情况相比，构成检查图案24的点23的个数变少。通过减少成为图像分析对象的点23的个数，能够缩短图像分析所需时间。其结果，能够缩短包括检查在内的油墨涂布处理所需时间。
66.并且，在上述实施例中，构成检查图案24的多个点23均在y方向上分布于比摄像装置40的视场角内的区域的y方向上的尺寸更窄的范围内。因此，无需使摄像装置40相对于基板20沿y方向移动，只需进行沿x方向的移动即可拍摄检查图案24的所有点23。因此，能够缩短拍摄检查图案24所需时间。
67.而且，在上述实施例中，每一次进行扫描动作(步骤s03、步骤s06)时，均进行检查用吐出处理(步骤s02、步骤s08)。即，分别对应于多个扫程区域21而形成检查图案24。若与某一个扫程区域21相对应的检查图案24的检查结果为正常，则可以类推对该扫程区域21的油墨的涂布处理正常进行。相反地，若与某一个扫程区域21相对应的检查图案24的检查结果为异常，则可以类推对该扫程区域21的油墨的涂布处理并未正常进行。
68.构成电阻膜式触控面板的绝缘点的多个点通常沿着纵横有规则地分布，且其间距足够大于像素间距。即，若从y方向观察了所形成的实际描绘图案，则很多点22彼此重叠，未配置有点22的像素的个数非常多于配置有点22的像素的个数。因此，在用于形成构成绝缘点的点22的一次扫描动作中使用的喷嘴32的个数非常少于设置于喷墨头31上的喷嘴32的总个数。此时，若将上述实施例适用于喷墨头31的检查上则其效果明显。
69.接着，对上述实施例的变形例进行说明。
70.在上述实施例中，在执行扫描动作之前或执行扫描动作之后，针对每一次扫描动作选择检查对象的喷嘴32(步骤s01、步骤s07)，但也可以在开始油墨的涂布处理之前预先针对多个扫程区域21(图2)分别选择检查对象的喷嘴32。
71.并且，在上述实施例中，针对奇数次的扫描动作(步骤s03)在执行扫描动作之前执行了检查用吐出处理(步骤s02)，而针对偶数次的扫描动作(步骤s06)则在执行扫描动作之后执行了检查用吐出处理(步骤s08)。与其相反，也可以针对奇数次的扫描动作在执行扫描动作之后进行检查用吐出处理，而针对偶数次的扫描动作在执行扫描动作之前执行检查用吐出处理。此时，检查图案会形成于沿着图2所示的基板20的上侧边缘的检查区域。
72.在上述实施例中，使构成检查图案24的多个点23(图2)的y方向上的位置存在偏差。在即使将多个点23形成于与x轴平行的一条直线上时相邻的点23也能够彼此不连续而确保孤立的状态时，可以将构成检查图案24的所有点23形成于与x轴平行的一条直线上。
73.并且，在上述实施例中，多个扫程区域21配置成在x方向上相邻的两个扫程区域21(图2)彼此相接，但是，也可以在x方向上未配置有点22(图2)的区域不配置扫程区域21。例如，在图2所示的例子中，可以使左数第2个扫程区域21和第3个扫程区域21隔着间隔配置。
74.并且，在上述实施例中，进行扫描动作时使喷墨头31相对于基板20移动的方向(y
方向)与多个喷嘴32等间距排列的方向(x方向)彼此正交。作为其他结构，也可以使喷墨头31的移动方向与多个喷嘴32的排列方向以除了直角以外的角度交叉。
75.接着，参考图5～图7对基于另一实施例的油墨涂布装置进行说明。以下，省略对与图1a～图4所示的实施例相同结构的说明。
76.图5是表示通过油墨的吐出而形成于基板20上的图案及喷墨头31相对于基板20进行相对移动的轨迹的图。在图5中，用带箭头的折线示出喷墨头31相对于基板20进行相对移动的轨迹。
77.在图1a～图4所示的实施例中，与多个扫程区域21分别对应的检查图案24(图2)均形成于沿着基板20的与x轴平行的一个边缘的检查区域25。相对于此，在图5～图7所示的实施例中，配置有分别沿着基板20的与x轴平行的两个边缘的两个检查区域25(图5)。针对沿x轴的正方向数第1个和第3个的扫程区域21，在沿着y轴的正方向侧(在图5中为上侧)的边缘的检查区域25上形成检查图案24，针对第2个和第4个扫程区域21，在沿着y轴的负方向侧(在图5中为下侧)的边缘的检查区域25上形成检查图案24。即，在扫描动作时的喷墨头31的移动方向下游侧的检查区域25上形成检查图案24。
78.图6是表示通过油墨的吐出而形成于基板20上的图案及摄像装置40相对于基板20进行相对移动的轨迹的图。在图6中，用带箭头的折线示出摄像装置40相对于基板20进行相对移动的轨迹。
79.在图1a～图4所示的实施例中，检查图案24的所有点23均分布于沿着基板20的与x轴平行的一个边缘的检查区域25中，因此只需使摄像装置40(图3)沿与x轴平行的方向移动即可拍摄所有点23。相对于此，在图5～图7所示的实施例中，两个检查区域25(图6)分别沿着基板20的与x轴平行的两个边缘而配置。因此，必须使摄像装置40(图6)分别沿着沿基板20的与x轴平行的一个边缘的检查区域25和沿另一个边缘的检查区域25移动。因此，在拍摄一个检查区域25之后且拍摄另一个检查区域25之前，需要使摄像装置40相对于基板20沿y方向相对移动。
80.图7是表示进行基于本实施例的油墨的涂布及喷墨头的检查的步骤的流程图。在图1a～图4所示的实施例中，按照检查对象的喷嘴32的选择(步骤s01)、检查用吐出处理(步骤s02)及扫描动作(步骤s03)的顺序执行。相对于此，在图5～图7所示的实施例中，如图7所示，按照扫描动作(步骤s03)、检查对象的喷嘴32的选择(步骤s01)及检查用吐出处理(步骤s02)的顺序执行。即，在扫描动作之后执行检查用吐出处理。
81.接着，对图5～图7所示的实施例的优异效果进行说明。
82.在本实施例中，与图1a～图4所示的实施例同样地，也能够缩短包括检查喷嘴32有无动作不良在内的油墨涂布处理所需时间。而且，在本实施例中，在进行一次扫描动作之后，使用在该扫描动作中吐出了油墨的喷嘴32来形成检查图案24(图5)。因此，即使在扫描动作的开始时刻正常动作但在扫描动作的中途出现了不良的情况下，也能够检测出喷嘴32的动作不良。
83.接着，参考图8及图9对基于又一实施例的油墨涂布装置进行说明。以下，省略对与图1a～图4所示的实施例相同结构的说明。
84.图8是表示通过油墨的吐出而形成于基板20上的图案及喷墨头31相对于基板20进行相对移动的轨迹的图。在图8中，用带箭头的折线示出喷墨头31相对于基板20进行相对移
动的轨迹。
85.在图1a～图4所示的实施例中，针对各个扫程区域21，均在与扫程区域21重叠的检查区域25中形成了检查图案24(图2)。相对于此，在本实施例中，在检查区域25中的与在最初的扫描动作中涂布油墨的扫程区域21(在图8中为最左侧的扫程区域21)重叠的范围中形成检查图案24，而在与其他扫程区域21重叠的范围中则不形成检查图案。该检查图案24通过选择预计在所有扫描动作中的至少一个扫描动作中吐出油墨的喷嘴32作为检查对象的喷嘴32并从检查对象的喷嘴32吐出油墨来形成。即，对应于全部扫描动作而形成一个检查图案24。
86.图9是表示进行基于本实施例的油墨的涂布及喷墨头的检查的步骤的流程图。首先，选择预计在所有扫描动作中的至少一个扫描动作中吐出油墨的喷嘴32作为检查对象的喷嘴32(步骤s21)。之后，对检查对象的喷嘴32执行检查用吐出处理(步骤s22)。具体而言，在图8的最左侧的扫程区域21与检查区域25重叠的区域上形成检查图案24。
87.在形成检查图案24之后，反复进行扫描动作和位移动作，从而进行对所有扫程区域21涂布油墨的描绘处理(步骤s23)。若描绘处理结束，则用摄像装置40拍摄检查图案24，并获取检查图案24的图像(步骤s24)。然后，根据所获取的图像来判定有无动作不良的喷嘴32(步骤s25)。
88.接着，对图8及图9所示的实施例的优异效果进行说明。
89.在图1a～图4所示的实施例中，每次进行扫描动作时形成检查图案24(图2)，并进行检查图案24的图像分析。在多个扫描动作中从同一个喷嘴32吐出油墨时，该喷嘴32在多个检查图案24均形成点23(图2)。并且对分别包含于多个检查图案24中的该点23进行图像分析。即，针对一个喷嘴32进行多次检查。
90.相对于此，在图8及图9所示的实施例中，针对在多个扫描动作中吐出了油墨的喷嘴32，在一个检查图案24上形成一个点23。因此，针对在对基板20涂布油墨的过程中吐出了油墨的多个喷嘴32分别进行一次检查，而不会对一个喷嘴32进行多次检查。因此，能够缩短检查时间。
91.接着，对图8及图9所示的实施例的变形例进行说明。
92.在图8及图9所示的实施例中，针对所有扫描动作进行了一次检查用吐出处理(步骤s22)。相对于此，也可以对所有扫描动作中的一部分的多个扫描动作进行一次检查用吐出处理。例如，在图8所示的例子中，可以对第1个和第2个扫描动作进行一次检查用吐出处理，而可以对第3个和第4个扫描动作进行一次检查用吐出处理。此时，只要在对应于第1个扫描动作的扫程区域21与检查区域25的重复区域及对应于第3个扫描动作的扫程区域21与检查区域25的重复区域上形成检查图案24即可。
93.接着，参考图10及图11对基于又一实施例的油墨涂布装置进行说明。以下，省略对与图8及图9所示的实施例相同结构的说明。
94.图10是表示通过油墨的吐出而形成于基板20上的图案及喷墨头31相对于基板20进行相对移动的轨迹的图。在图10中，用带箭头的折线示出喷墨头31相对于基板20进行相对移动的轨迹。
95.在图8及图9所示的实施例中，在对应于最初执行的扫描动作的扫程区域21(在图8中为左端的扫程区域21)与检查区域25的重复区域中形成检查图案24(图8)。相对于此，在
本实施例中，在对应于最后执行的扫描动作的扫程区域21(在图10中为右端的扫程区域21)与检查区域25的重复区域中形成检查图案24(图10)。
96.图11是表示进行基于本实施例的油墨的涂布及喷墨头的检查的步骤的流程图。在图8及图9所示的实施例中，如图9所示，在进行检查用吐出处理(步骤s22)之后，反复进行扫描动作和位移动作(步骤s23)。相对于此，在本实施例中，如图11所示，在反复进行扫描动作和位移动作(步骤s23)之后，进行检查对象的喷嘴32的选择(步骤s21)及检查用吐出处理(步骤s22)。另外，检查对象的喷嘴32的选择也可以在反复进行扫描动作和位移动作(步骤s23)之前进行。
97.接着，对图10及图11所示的实施例的优异效果进行说明。
98.在图10及图11所示的实施例中，与图8及图9所示的实施例同样地，也能够缩短检查时间。而且，在本实施例中，在所有扫描动作结束之后进行检查用吐出处理(步骤s22)。因此，在某一扫描动作的中途喷嘴32发生了异常的情况下，能够检测出该异常。若在检查图案24(图10)的检查(步骤s25)中并未发现异常，则能够类推对该基板20进行的油墨涂布处理正常。
99.接着，参考图12对基于又一实施例的油墨涂布装置进行说明。以下，省略对与图1a～图4所示的实施例相同结构的说明。
100.图12是表示通过油墨的吐出而形成于基板20上的图案及喷墨头31相对于基板20进行相对移动的轨迹的图。在图12中，用带箭头的折线示出喷墨头31相对于基板20进行相对移动的轨迹。
101.在图1a～图4所示的实施例中，在基板20上形成仅由多个点22(图2)构成的实际描绘图案。即，在基板20的上表面上，滴落于一个像素上的油墨未与滴落于其他像素上的油墨连续而孤立。相对于此，在本实施例中，除了形成多个点22以外，还形成油墨的膜26。膜26通过分别滴落于多个像素上的油墨相互连续而形成。为了形成膜26，通常在进行扫描动作时从通过配置膜26的区域的所有喷嘴32吐出油墨。
102.在一张基板20上形成多个点22和膜26时，若将吐出用于形成膜26的油墨的喷嘴32包含于检查对象中，则检查对象的喷嘴32的个数会明显增多。在本实施例中，将为了形成点22而吐出了油墨或预计要吐出油墨的喷嘴32作为检查对象，而不将仅为了形成膜26而吐出了油墨的喷嘴32作为检查对象。因此，在从y方向观察时仅配置有膜26而未配置有点22的区域27上不会形成检查图案24的点23。
103.接着，对本实施例的优异效果进行说明。
104.若将为了形成膜26而吐出了油墨的喷嘴32作为检查对象，则检查对象的喷嘴32的个数会变得过多。因此，有时无法得到与检查所有喷嘴32的方法相比能够缩短检查时间的有意义的效果。在图12所示的实施例中，将不进行用于形成点22的油墨的吐出而仅为了形成膜26而吐出了油墨的喷嘴32从检查对象中除外。因此，能够抑制检查对象的喷嘴32的个数变得过多。其结果，能够得到缩短检查时间的充分的效果。
105.另外，膜26是滴落于某一区域内的像素上的油墨相互连续而形成的。因此，即使一个喷嘴32的动作出现了不良，原本从出现了不良的喷嘴32吐出的油墨滴落的像素也会基于从其他正常的喷嘴32吐出的油墨的扩散而被填补。因此，在形成膜26时，有时允许一个或少数个喷嘴32的动作不良。因此，即使不对吐出用于形成膜26的油墨的喷嘴32进行检查，也能
够在一定程度上确保膜26的质量。
106.接着，对图12所示的实施例的变形例进行说明。
107.在图12所示的实施例中，将吐出用于形成多个点22的油墨作为了检查对象的喷嘴32的选择条件，并未将吐出用于形成膜26的油墨作为检查对象的喷嘴32的选择条件。根据膜26的形状或尺寸，有时优选与形成点22的喷嘴32同样地对形成膜26的喷嘴32中的至少一部分喷嘴进行检查。例如，在形成相当于一个像素的宽度的带状膜时，优选将吐出形成该膜的油墨的喷嘴32包含于检查对象中。
108.如此，在选择检查对象的喷嘴时，优选选择预计在描绘处理中吐出油墨的喷嘴或在描绘处理中吐出了油墨的喷嘴中的至少一部分喷嘴作为检查对象的喷嘴而并不着眼于点22。在选择检查对象的喷嘴32时，优选必须将用于形成点22的喷嘴32包含于检查对象中。针对不用于形成点22而用于形成膜26的喷嘴32，则优选根据膜26的形状或尺寸来确定是否将其包含于检查对象中。另外，也可以选择预计在描绘处理中吐出油墨的喷嘴或在描绘处理中吐出了油墨的喷嘴中的至少一部分喷嘴作为检查对象的喷嘴并且追加选择与描绘处理无关的喷嘴中的至少一部分喷嘴作为检查对象的喷嘴。
109.上述各实施例仅为示例，理所当然，在不同的实施例中示出的结构可以部分置换或组合。多个实施例中的基于相同结构的相同的作用效果不在每个实施例中逐一提及。而且，本发明并不仅限于上述实施例。例如，可以进行各种变更、改良、组合等，这对于本领域技术人员而言是显而易见的。