电感器组合件、阻抗匹配网络及包括电感器组合件的系统的制作方法

技术特征：
1.一种电感器组合件(100)，其特征在于，包括：固定元件(102)，所述固定元件(102)具有中心芯(104)和支撑结构(106)，所述支撑结构(106)耦接到所述中心芯并从所述中心芯向外突出，所述支撑结构中的每个支撑结构具有外边缘(108)，所述外边缘(108)具有朝着所述中心芯延伸的凹陷(11)的凹口轮廓；以及螺旋电感器(112)，所述螺旋电感器(112)具有多个线匝，所述线匝位于所述至少两个支撑结构的所述凹陷中。2.根据权利要求1所述的电感器组合件(100)，其特征在于，所述支撑结构(106)通过气隙(308)绕所述中心芯(104)彼此间隔开。3.根据权利要求1所述的电感器组合件(100)，其特征在于，所述凹陷(110)中的每个凹陷展现出平行于所述固定元件(102)的纵长尺寸(320)的第一宽度(318)，对于所述凹陷中的每个凹陷，所述第一宽度是相同的，并且所述第一宽度对应于所述螺旋电感器(112)的所述线匝中的一个线匝的第二宽度(202)。4.根据权利要求1所述的电感器组合件(100)，其特征在于，所述支撑结构(106)包括：第一支撑结构(300)，所述第一支撑结构(300)具有朝着所述中心芯(104)延伸的第一组(310)所述凹陷(110)；以及第二支撑结构(304)，所述第二支撑结构(304)具有朝着所述中心芯(104)延伸的第二组(314)所述凹陷(110)，其中所述第二组凹陷中的单独凹陷相对于所述固定元件(102)的纵向尺寸(320)从所述第一组凹陷的单独凹陷偏移，以适应所述螺旋电感器(112)的所述线匝(114)。5.根据权利要求1所述的电感器组合件(100)，其特征在于，所述支撑结构(106)包括：第一支撑结构(300)；第二支撑结构(302)；第三支撑结构(304)；以及第四支撑结构(306)，其中所述第一支撑结构、所述第二支撑结构、所述第三支撑结构和所述第四支撑结构绕所述中心芯(104)等距地彼此间隔开，并且所述螺旋电感器(112)的所述线匝(114)位于所述第一支撑结构、所述第二支撑结构、所述第三支撑结构和所述第四支撑结构的所述凹陷(110)中。6.根据权利要求1所述的电感器组合件(100)，其特征在于，所述固定元件(102)由热稳定性大于两百摄氏度的热稳定材料形成。7.一种阻抗匹配网络(1100，1300)，其特征在于，包括：第一输入节点(1102，1302)；第一输出节点(1104，1304)；以及第一可变组件(1106，1310)和第一电感器组合件(1108，1312)，所述第一可变组件(1106，1310)和所述第一电感器组合件(1108，1312)串联耦接在所述第一输入节点与所述第一输出节点之间，所述第一可变组件的值能够调整以影响由所述阻抗匹配网络提供的阻抗变换，并且所述第一电感器组合件包括：固定元件(1110，1318)，所述固定元件(1110，1318)具有中心芯和支撑结构，所述支撑结构耦接到所述中心芯并从所述中心芯向外突出，所述支撑结构中的每个支撑结构具有外边缘，所述外边缘具有朝着所述中心芯延伸的凹陷的凹口轮廓；以及
螺旋电感器(1112，1320)，所述螺旋电感器(1112，1320)具有多个线匝，所述线匝位于所述支撑结构的所述凹陷中，所述螺旋电感器的输入端耦接到所述第一可变组件的输出，并且输出端耦接到所述第一输出节点。8.根据权利要求7所述的阻抗匹配网络(1300)，其特征在于，另外包括：第一中间节点(1334)，所述第一中间节点(1334)位于所述第一可变组件(1310)与所述第一电感器组合件(1312)之间；第二输入节点(1304)；第二输出节点(1308)；第二可变组件(1314)和第二电感器组合件(1316)，所述第二可变组件(1314)和所述第二电感器组合件(1316)串联耦接在所述第二输入节点与所述第二输出节点之间，所述第二可变组件的第二值能够调整以影响由所述阻抗匹配网络提供的阻抗变换，并且所述第二电感器组合件包括：第二固定元件(1322)，所述第二固定元件(1322)具有第二中心芯和第二支撑结构，所述第二支撑结构耦接到所述第二中心芯并从所述第二中心芯向外突出，所述第二支撑结构中的每个第二支撑结构具有第二外边缘，所述第二外边缘具有朝着所述第二中心芯延伸的凹陷的第二凹口轮廓；以及第二螺旋电感器(1324)，所述第二螺旋电感器(1324)具有多个第二线匝，所述第二线匝位于所述第二支撑结构的所述凹陷中，所述第二螺旋电感器的第二输入端耦接到所述第二可变组件的第二输出，并且第二输出端耦接到所述第二输出节点；第二中间节点(1336)，所述第二中间节点(1336)位于所述第二可变组件与所述第二电感器组合件之间；以及第三可变组件(1338)，所述第三可变组件(1338)耦接在所述第一中间节点与所述第二中间节点之间。9.一种耦接到被配置成容纳负载(1024，1224)的腔(1004，1204)的热增加系统(1000，1200)，其特征在于，所述热增加系统包括：射频(rf)信号源(1010，1210)，所述rf信号源(1010，1210)被配置成供应rf信号；传输路径(1034，1234)，所述传输路径(1034，1234)电耦接在所述rf信号源与定位在所述腔两端的第一电极(1016，1216)与第二电极(1018，1217)之间；以及阻抗匹配网络(1100，1300)，所述阻抗匹配网络(1100，1300)沿着所述传输路径电耦接，其中所述阻抗匹配网络包括：第一输入节点(1102，1302)；第一输出节点(1104，1304)；以及第一可变组件(1106，1310)和第一电感器组合件(1108，1312)，所述第一可变组件(1106，1310)和所述第一电感器组合件(1108，1312)串联耦接在所述第一输入节点与所述第一输出节点之间，所述第一可变组件的值能够调整以影响由所述阻抗匹配网络提供的阻抗变换，并且所述第一电感器组合件包括：固定元件(1110，1318)，所述固定元件(1110，1318)具有中心芯和支撑结构，所述支撑结构耦接到所述中心芯并从所述中心芯向外突出，所述支撑结构中的每个支撑结构具有外边缘，所述外边缘具有朝着所述中心芯延伸的凹陷的凹口轮廓；以及
螺旋电感器(1112，1320)，所述螺旋电感器(1112，1320)具有多个线匝，所述线匝位于所述支撑结构的所述凹陷中，所述螺旋电感器的输入端耦接到所述第一可变组件的输出，并且输出端耦接到所述第一输出节点。10.根据权利要求9所述的热增加系统(1000，1200)，其特征在于，所述支撑结构包括：第一支撑结构，所述第一支撑结构具有朝着所述中心芯延伸的第一组所述凹陷；以及第二支撑结构，所述第二支撑结构具有朝着所述中心芯延伸的第二组所述凹陷，其中所述第二组凹陷中的单独凹陷相对于所述螺旋电感器在纵向方向上从所述第一组凹陷中的单独凹陷偏移，以适应所述螺旋电感器的所述线匝。

技术总结
本公开涉及电感器组合件、阻抗匹配网络及包括电感器组合件的系统。一种电感器组合件(100)包括：固定元件(102)，具有中心芯(104)和支撑结构(106)，所述支撑结构(106)耦接到所述中心芯并从所述中心芯向外突出，所述支撑结构中的每个支撑结构具有外边缘(108)，所述外边缘(108)具有朝着所述中心芯延伸的凹陷(110)的凹口轮廓；以及螺旋电感器(112)，具有多个线匝，所述线匝位于所述至少两个支撑结构的所述凹陷中。所述支撑结构通过气隙(308)绕所述中心芯等距地彼此间隔开。所述电感器组合件可以并入阻抗匹配网络(1100)中，并且一个或多个阻抗匹配网络可以并入除霜系统(100)中。阻抗匹配网络可以是单端网络(1100)或双端网络(1300)。(1300)。(1300)。


技术研发人员：华奇 刘同贺 王昶阳
受保护的技术使用者：恩智浦美国有限公司
技术研发日：2020.05.22
技术公布日：2021/11/25