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通用型石英舟治具的制作方法

2021-11-25 10:19:00 来源:中国专利 TAG:


1.本实用新型涉及光伏技术领域,尤其涉及通用型石英舟治具。


背景技术:

2.半导体或光伏材料广泛应用于电子、新能源等行业,半导体和光伏材料通常都需要经过加工处理才能够应用到产品上。半导体或光伏材料的加工,通常是将片状材料送入炉中在一定温度和压力的条件下进行反应来实现,在对半导体或者光伏材料加工的过程中,通常采用一些装置来装载硅片,行业内通常把这种装载或者移动的装置称为舟、小舟或者花篮。传统的装载硅片的装置一种是适用于硅片直插,另一种是适用于硅片斜插,因此缺少一种可兼容硅片直插和硅片斜插的装置,其通用性较差。


技术实现要素:

3.为了解决上述的技术问题,本实用新型提供一种通用型石英舟治具,包括顶齿组件,所述顶齿组件包括多组顶齿,所述顶齿组件为多组顶齿的固设组合体,每个所述顶齿上设置有用于承托硅片的放置腔;
4.还包括导插件,每个所述放置腔内设置有导插件,所述导插件被配置为能够兼容硅片直插和硅片斜插。
5.采用以上技术方案,所述导插件包括第一抵接部和第二抵接部,所述第一抵接部的一端连接第二抵接部,所述第二抵接部与所述第一抵接部的夹角为钝角。
6.采用以上技术方案,所述第二抵接部与所述第一抵接部的夹角为120
°‑
150
°

7.采用以上技术方案,所述第一抵接部水平设置于放置腔内。
8.采用以上技术方案,所述第一抵接部具有用于硅片直插时抵接硅片的第一抵接面,所述第二抵接部具有用于硅片斜插时抵接硅片的第二抵接面。
9.采用以上技术方案,所述导插件为软质材料或硬质材料的导插件。
10.采用以上技术方案,顶齿组件包括连接销,多组顶齿通过连接销组装成顶齿组件。
11.采用以上技术方案,还包括支撑组件,所述支撑组件包括顶齿安装件,所述顶齿安装件上设置有插腔,所述顶齿组件插入到顶齿安装件内。
12.采用以上技术方案,支撑组件包括连接件,在所述顶齿安装件的至少一侧设置有连接件,所述连接销锁固在连接件上。
13.采用以上技术方案,所述支撑组件包括支撑件,所述支撑件上设置有顶齿安装件。
14.本实用新型的有益效果:本实用新型在顶齿的放置腔内设置导插件,导插件被配置为能够兼容硅片直插和硅片斜插,解决了现有技术装载硅片的装置无法兼容硅片直插和硅片斜插的缺点,通用性高,方便实用。
附图说明
15.图1是本实用新型的结构示意图。
16.图2是图1上a部的局部放大示意图。
17.图3是图1上b部的局部放大示意图。
18.图4是本实用新型导插件的结构示意图。
19.图中标号说明:1、顶齿组件;11、顶齿;111、放置腔;12、连接销;2、导插件;21、第一抵接部;211、第一抵接面;22、第二抵接部;221、第二抵接面;3、支撑组件;31、顶齿安装件;32、连接件;33、支撑件。
具体实施方式
20.下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。
21.所述实施例的示例在附图中示出,其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的,旨在用于解释本实用新型,而不能理解为对本实用新型的限制。
22.参照图1至图4所示,本实用新型实施例提供一种通用型石英舟治具,包括顶齿组件1和支撑组件3。
23.支撑组件3包括顶齿安装件31和支撑件33,支撑件33上设置有顶齿安装件31,支撑件33用于支撑顶齿安装件31,支撑件33还可以安装在移动装置,如此通过移动装置带动顶齿安装件31移动。
24.顶齿安装件31上设置有插腔,顶齿组件1插入到顶齿安装件31内。
25.顶齿组件1包括多组顶齿11,顶齿组件1为多组顶齿11的固设组合体。顶齿组件1还包括连接销12。例如每组顶齿11的一端对齐,多组顶齿11之间穿插有连接销12,通过连接销12以将多组顶齿11组装成整体,即多组顶齿11的固设组合体,也就是顶齿组件1,然后将顶齿组件1整体装配在顶齿安装件31的插腔内。
26.支撑组件3包括连接件32,顶齿安装件31的至少一侧设置有连接件32,优选的,连接件32为连接板,通过连接板将顶齿组件1上的连接销12锁固。
27.还包括导插件2,每个顶齿11上设置有用于承托硅片的放置腔111,每个放置腔111内设置有导插件2,导插件2被配置为能够兼容硅片直插和硅片斜插。
28.导插件2包括第一抵接部21和第二抵接部22,第一抵接部21的一端连接第二抵接部22,第二抵接部22与第一抵接部21的夹角为钝角。具体的,第二抵接部22与第一抵接部21的夹角为120
°‑
150
°
。优选的,第二抵接部22与第一抵接部21的夹角为135
°
,其中第一抵接部21水平设置于放置腔111内,如此第二抵接部22呈倾斜设置于放置腔111内。
29.进一步地,第一抵接部21具有用于硅片直插时抵接硅片的第一抵接面211,第二抵接部22具有用于硅片斜插时抵接硅片的第二抵接面221。如此通过导插件2的第一抵接面211和第二抵接面221能够兼容硅片直插和硅片斜插,当需要满足硅片直插的要求时,只要将硅片竖直插入顶齿11的放置腔111内,使得硅片抵接导插件2的第一抵接面211即可。同样的,当需要满足硅片斜插的要求时,只要将硅片倾斜插入顶齿11的放置腔111内,使得硅片抵接导插件2的第二抵接面221即可。
30.导插件2为软质材料或硬质材料的导插件2,其中软质材料能够对硅片起到一定的
保护作用,硬质材料能够对硅片起到一定的支撑作用,两者选择其一即可。
31.本实用新型在顶齿11的放置腔111内设置导插件2,导插件2被配置为能够兼容硅片直插和硅片斜插,解决了现有技术装载硅片的装置无法兼容硅片直插和硅片斜插的缺点,通用性高,方便实用。
32.以上所述实施例仅是为充分说明本实用新型而所举的较佳的实施例,本实用新型的保护范围不限于此。本技术领域的技术人员在本实用新型基础上所作的等同替代或变换,均在本实用新型的保护范围之内。本实用新型的保护范围以权利要求书为准。


技术特征:
1.一种通用型石英舟治具,其特征在于:包括顶齿组件,所述顶齿组件包括多组顶齿,所述顶齿组件为多组顶齿的固设组合体,每个所述顶齿上设置有用于承托硅片的放置腔;还包括导插件,每个所述放置腔内设置有导插件,所述导插件被配置为能够兼容硅片直插和硅片斜插。2.如权利要求1所述的通用型石英舟治具,其特征在于:所述导插件包括第一抵接部和第二抵接部,所述第一抵接部的一端连接第二抵接部,所述第二抵接部与所述第一抵接部的夹角为钝角。3.如权利要求2所述的通用型石英舟治具,其特征在于:所述第二抵接部与所述第一抵接部的夹角为120
°‑
150
°
。4.如权利要求2所述的通用型石英舟治具,其特征在于:所述第一抵接部水平设置于放置腔内。5.如权利要求2所述的通用型石英舟治具,其特征在于:所述第一抵接部具有用于硅片直插时抵接硅片的第一抵接面,所述第二抵接部具有用于硅片斜插时抵接硅片的第二抵接面。6.如权利要求1所述的通用型石英舟治具,其特征在于:所述导插件为软质材料或硬质材料的导插件。7.如权利要求1所述的通用型石英舟治具,其特征在于:顶齿组件包括连接销,多组顶齿通过连接销组装成顶齿组件。8.如权利要求7所述的通用型石英舟治具,其特征在于:还包括支撑组件,所述支撑组件包括顶齿安装件,所述顶齿安装件上设置有插腔,所述顶齿组件插入到顶齿安装件内。9.如权利要求8所述的通用型石英舟治具,其特征在于:支撑组件包括连接件,在所述顶齿安装件的至少一侧设置有连接件,所述连接销锁固在连接件上。10.如权利要求8所述的通用型石英舟治具,其特征在于:所述支撑组件包括支撑件,所述支撑件上设置有顶齿安装件。

技术总结
本实用新型公开了一种通用型石英舟治具,包括顶齿组件,顶齿组件包括多组顶齿,顶齿组件为多组顶齿的固设组合体,每个顶齿上设置有用于承托硅片的放置腔;还包括导插件,每个放置腔内设置有导插件,导插件被配置为能够兼容硅片直插和硅片斜插。本实用新型在顶齿的放置腔内设置导插件,导插件被配置为能够兼容硅片直插和硅片斜插,解决了现有技术装载硅片的装置无法兼容硅片直插和硅片斜插的缺点,通用性高,方便实用。方便实用。方便实用。


技术研发人员:吴廷斌 张学强 张建伟 罗银兵 邓大桥
受保护的技术使用者:罗博特科智能科技股份有限公司
技术研发日:2021.01.19
技术公布日:2021/11/24
再多了解一些

本文用于企业家、创业者技术爱好者查询,结果仅供参考。

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