一种晶圆机台报警方法及报警系统与流程

1.本发明涉及晶圆加工技术领域，尤指一种晶圆机台报警方法及报警系统。


背景技术：

2.晶圆指制造半导体晶体管或集成电路的衬底(也叫基片)，由于是晶体材料，其形状为圆形，所以称为晶圆，衬底材料有硅、锗、gaas、inp、gan等，其中硅最为常用，如果没有特别指明晶体材料，通常指硅晶圆，在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能的集成电路产品。
3.在加工晶圆时，通常在晶圆机台进行，当晶圆机台在加工的过程中出现故障时，通常会向系统进行报警，并通过显示屏显示报警信息。但是。现有的警报信息通常是以文本为主进行显示，很难确定复杂设备中的具体故障位置，且当多个故障同时存在时，很难进行区分。


技术实现要素：

4.本发明的目的是提供一种晶圆机台报警方法及报警系统，通过区域图像和详细图像显示报警信息，能够更直观的显示故障位置，有利于对故障进行处理。
5.本发明提供的技术方案如下：
6.本发明提供一种晶圆机台报警方法，包括步骤：
7.对晶圆机台内的各个报警单位进行第一编号，并将所述第一编号及对应的所述报警单位的第一图像信息存储至数据库；
8.将晶圆机台划分为为若干个区域，并对各个区域内的所述报警单位进行第二编号，将所述第二编号及对应的所述区域的第二图像信息存储至所述数据库；
9.警报发生时，通过发生警报的所述报警单位的所述第二编号从所述数据库中搜索并显示对应的所述第二图像信息；
10.通过发生警报的所述报警单位的所述第一编号从所述数据库中搜索并显示对应的所述第一图像信息。
11.通过对晶圆机台内的每个报警单位进行第一编号，并对各个区域内的报警单位进行第二编号，使得每个报警单位均有两个编号，一个对应单个报警单位的第一图像信息，另一个对应其所在区域的的第二图像信息，当警报发生时，首先根据发生警报的报警单位的第二编号从数据库中读取代表区域图像的第二图像信息，若需要更详细的情报，则根据发生警报的报警单位的第一编号从数据库中读取代表单个报警单位的第一图像信息，从而能够使故障位置的显示更精准，且更直观，有利于对故障进行处理。
12.进一步地，在所述警报发生时，通过发生警报的所述报警单位的所述第二编号从所述数据库中搜索并显示对应的所述第二图像信息的具体步骤为：
13.判断警报是否发生；
14.若判断为是，则通过所述数据库确定发生警报的所述报警单位的所述第二编号；
15.通过报警屏幕显示发生警报的所述报警单位对应的所述区域的所述第二图像信息。
16.通过在数据库中搜索、显示图像信息之前，进行警报判断，能够避免出现警报误发、误收的现象。
17.进一步地，在所述通过发生警报的所述报警单位的所述第一编号从所述数据库中搜索并显示对应的所述第一图像信息前，还包括步骤：
18.判断是否显示详细信息；
19.若判断为是，则通过发生警报的所述报警单位的所述第一编号从所述数据库中搜索并显示对应的所述第一图像信息；若判断为否，则结束显示。
20.通过在显示详细信息之前进行确认，能够给用户提供更多选择，且有利于确定发生警报的区域。
21.进一步地，在所述通过发生警报的所述报警单位的所述第一编号从所述数据库中搜索并显示对应的所述第一图像信息的具体步骤为：
22.从所述数据库中读取发生警报的所述报警单位的所述第一编号对应的所述第一图像信息；
23.打开详细信息屏幕，显示发生警报的所述报警单位的所述第一图像信息。
24.进一步地，所述数据库中存储有与所述第一图像信息和所述第二图像信息对应的文本信息；
25.在显示所述第一图像信息或所述第二图像信息时，同步显示对应的所述文本信息。
26.通过在数据库中存储与第一图像信息和第二图像信息对应的文本信息，使得在显示图像信息时，能够同步显示文本信息，有利于用户更好的掌握警报详情。
27.本发明还提供一种晶圆机台报警系统，基于上述的晶圆机台报警方法，包括：
28.数据库；
29.第一编号存储模块，用于对晶圆机台内的各个报警单位进行第一编号，并将所述第一编号及对应的所述报警单位的第一图像信息存储至所述数据库；
30.第二编号存储模块，用于将晶圆机台划分为为若干个区域，并对各个区域内的所述报警单位进行第二编号，并将所述第二编号及对应的所述区域的第二图像信息存储至所述数据库；
31.第一警报显示模块，用于在警报发生时，通过发生警报的所述报警单位的所述第二编号从所述数据库中搜索并显示对应的所述第二图像信息；
32.第二警报显示模块，用于通过发生警报的所述报警单位的所述第一编号从所述数据库中搜索并显示对应的所述第一图像信息。
33.进一步地，还包括：
34.第一判断模块，用于判断警报是否发生，若判断为是，则通过发生警报的所述报警单位的所述第二编号从所述数据库中搜索并显示对应的所述第二图像信息。
35.进一步地，还包括：
36.第二判断模块，用于判断是否显示详细信息，若判断为是，则通过发生警报的所述报警单位的所述第一编号从所述数据库中搜索并显示对应的所述第一图像信息。
37.进一步地，还包括：
38.读取模块，用于从所述数据库中读取发生警报的所述报警单位的对应的所述第一图像信息或所述第二图像信息。
39.进一步地，还包括：
40.文本显示模块，用于在显示所述第一图像信息或所述第二图像信息时，同步显示对应的所述文本信息。
41.根据本发明提供的一种晶圆机台报警方法及报警系统，通过对晶圆机台内的每个报警单位进行第一编号，并对各个区域内的报警单位进行第二编号，使得每个报警单位均有两个编号，一个对应单个报警单位的第一图像信息，另一个对应其所在区域的的第二图像信息，当警报发生时，首先根据发生警报的报警单位的第二编号从数据库中读取代表区域图像的第二图像信息，若需要更详细的情报，则根据发生警报的报警单位的第一编号从数据库中读取代表单个报警单位的第一图像信息，从而能够使故障位置的显示更精准，且更直观，有利于对故障进行处理。
附图说明
42.下面将以明确易懂的方式，结合附图说明优选实施方式，对本方案的上述特性、技术特征、优点及其实现方式予以进一步说明。
43.图1是本发明实施例的整体流程示意图；
44.图2是本发明实施例的流程示意图；
45.图3是本发明实施例的结构示意图。
46.图中标号：1-数据库；2-第一编号存储模块；3-第二编号存储单模块；4-第一警报显示模块；5-第二警报显示模块。
具体实施方式
47.为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对照附图说明本发明的具体实施方式。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图，并获得其他的实施方式。
48.为使图面简洁，各图中只示意性地表示出了与本发明相关的部分，它们并不代表其作为产品的实际结构。另外，以使图面简洁便于理解，在有些图中具有相同结构或功能的部件，仅示意性地绘示了其中的一个，或仅标出了其中的一个。在本文中，“一个”不仅表示“仅此一个”，也可以表示“多于一个”的情形。
49.实施例1
50.本发明的一个实施例，如图1所示，本发明提供一种晶圆机台报警方法，包括步骤：
51.s1、对晶圆机台内的各个报警单位进行第一编号，并将第一编号及对应的报警单位的第一图像信息存储至数据库。
52.s2、将晶圆机台划分为为若干个区域，并对各个区域内的报警单位进行第二编号，将第二编号及对应的区域的第二图像信息存储至数据库。
53.s3、警报发生时，通过发生警报的报警单位的第二编号从数据库中搜索并显示对
应的第二图像信息。
54.s4、通过发生警报的报警单位的第一编号从数据库中搜索并显示对应的第一图像信息。
55.进一步地，数据库中还存储有与第一图像信息和第二图像信息对应的文本信息；在显示第一图像信息或第二图像信息时，同步显示对应的文本信息。
56.通过在数据库中存储与第一图像信息和第二图像信息对应的文本信息，使得在显示图像信息时，能够同步显示文本信息，有利于用户更好的掌握警报详情。
57.通过对晶圆机台内的每个报警单位进行第一编号，并对各个区域内的报警单位进行第二编号，使得每个报警单位均有两个编号，一个对应单个报警单位的第一图像信息，另一个对应其所在区域的的第二图像信息，当警报发生时，首先根据发生警报的报警单位的第二编号从数据库中读取代表区域图像的第二图像信息，若需要更详细的情报，则根据发生警报的报警单位的第一编号从数据库中读取代表单个报警单位的第一图像信息，从而能够使故障位置的显示更精准，且更直观，有利于对故障进行处理。
58.实施例2
59.本发明的一个实施例，如图2所示，在实施例1的基础上，在警报发生时，通过发生警报的报警单位的第二编号从数据库中搜索并显示对应的第二图像信息的具体步骤为：
60.判断警报是否发生；若判断为是，则通过数据库确定发生警报的报警单位的第二编号；通过报警屏幕显示发生警报的报警单位对应的区域的第二图像信息。
61.通过在数据库中搜索、显示图像信息之前，进行警报判断，能够避免出现警报误发、误收的现象。
62.优选的，在通过发生警报的报警单位的第一编号从数据库中搜索并显示对应的第一图像信息前，还包括步骤：
63.判断是否显示详细信息；若判断为是，则通过发生警报的报警单位的第一编号从数据库中搜索并显示对应的第一图像信息；若判断为否，则结束显示。
64.通过在显示详细信息之前进行确认，能够给用户提供更多选择，且有利于确定发生警报的区域。
65.进一步优选的，在通过发生警报的报警单位的第一编号从数据库中搜索并显示对应的第一图像信息的具体步骤为：
66.从数据库中读取发生警报的报警单位的第一编号对应的第一图像信息；打开详细信息屏幕，显示发生警报的报警单位的第一图像信息。
67.实施例3
68.本发明的一个实施例，如图3所示，在实施例1或2的基础上，本发明还提供一种晶圆机台报警系统，包括数据库1、第一编号存储模块2、第二编号存储模块3、第一警报显示模块4以及第二警报显示模块5。
69.第一编号存储模块2用于对晶圆机台内的各个报警单位进行第一编号，并将第一编号及对应的报警单位的第一图像信息存储至数据库1。
70.第二编号存储模块3用于将晶圆机台划分为为若干个区域，并对各个区域内的报警单位进行第二编号，并将第二编号及对应的区域的第二图像信息存储至数据库1。
71.第一警报显示模块4用于在警报发生时，通过发生警报的报警单位的第二编号从
数据库1中搜索并显示对应的第二图像信息。
72.第二警报显示模块5用于通过发生警报的报警单位的第一编号从数据库1中搜索并显示对应的第一图像信息。
73.通过第一编号存储模块2对晶圆机台内的每个报警单位进行第一编号，并通过第二编号存储模块3对各个区域内的报警单位进行第二编号，使得每个报警单位均有两个编号，一个对应单个报警单位的第一图像信息，另一个对应其所在区域的的第二图像信息，当警报发生时，首先通过第一警报显示模块4对发生警报的报警单位的第二编号从数据库中读取代表区域图像的第二图像信息，若需要更详细的情报，则通过第二警报显示模块5对发生警报的报警单位的第一编号从数据库中读取代表单个报警单位的第一图像信息，从而能够使故障位置的显示更精准，且更直观，有利于对故障进行处理。
74.实施例4
75.本发明的一个实施例，如图3所示，在实施例3的基础上，晶圆机台报警系统还包括第一判断模块，用于判断警报是否发生，若判断为是，则通过发生警报的报警单位的第二编号从数据库1中搜索并显示对应的第二图像信息。
76.优选的，晶圆机台报警系统还包括第二判断模块，用于判断是否显示详细信息，若判断为是，则通过发生警报的报警单位的第一编号从数据库1中搜索并显示对应的第一图像信息。
77.进一步优选的，晶圆机台报警系统还包括读取模块和文本显示模块。读取模块用于从数据库中读取发生警报的报警单位的对应的第一图像信息或第二图像信息；文本显示模块用于在显示第一图像信息或第二图像信息时，同步显示对应的文本信息，有利于用户更好的掌握警报详情。
78.应当说明的是，上述实施例均可根据需要自由组合。以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。