一种全自对准的槽栅绝缘栅双极晶体管及其制备方法与流程

技术特征：
1.一种全自对准的槽栅绝缘栅双极晶体管及其制备方法，包括衬垫层(1)，其特征在于：所述衬垫层(1)的上表面设有p 层(2)，所述p 层(2)的上表面设有漏区(3)，所述漏区(3)的上表面两侧开设有漏注入区(4)，所述漏注入区(4)的顶部设有源区(5)，两个所述源区(5)的中部设有栅极绝缘层(6)，所述栅极绝缘层(6)的顶部设有多晶硅栅层(7)，所述多晶硅栅层(7)的边缘处设有绝缘侧壁(8)。2.根据权利要求1所述的一种全自对准的槽栅绝缘栅双极晶体管及其制备方法，其特征在于：所述衬垫层(1)的底部焊接有散热层(22)，所述散热层(22)的底部设有绝缘底板(9)，所述绝缘底板(9)的四角处开设有插孔，所述插孔的内部固定安装有绝缘套(10)，所述绝缘套(10)的内部螺纹贯穿有固定栓(11)，所述绝缘底板(9)的边缘处固定安装有散热片(12)，所述散热片(12)的一侧开设有弧形槽，所述弧形槽的内部固定安装有散热导管(13)，所述散热导管(13)的外表面固定安装有延伸片(14)，所述散热导管(13)和延伸片(14)的内部设有散热液。3.根据权利要求2所述的一种全自对准的槽栅绝缘栅双极晶体管及其制备方法，其特征在于：所述绝缘底板(9)的底部卡接有固定板(15)，所述固定板(15)的底部固定安装有卡盒(16)，所述卡盒(15)的上表面卡接有盒盖(17)，所述盒盖(17)的边缘处开设有凹槽，所述凹槽的内部插接有限位组件(18)。4.根据权利要求3所述的一种全自对准的槽栅绝缘栅双极晶体管及其制备方法，其特征在于：所述限位组件(18)包括复位弹簧(1801)，所述复位弹簧(1801)的一端固定安装有卡块(1802)。5.根据权利要求4所述的一种全自对准的槽栅绝缘栅双极晶体管及其制备方法，其特征在于：所述卡盒(15)的边缘处开设有与卡块(1802)相适配的插槽，所述插槽的内部卡接有按压块(19)，所述按压块(19)的外表面刻设防滑纹。6.根据权利要求3所述的一种全自对准的槽栅绝缘栅双极晶体管及其制备方法，其特征在于：所述盒盖(17)的上表面嵌设有透明亚克力板(20)。7.根据权利要求2所述的一种全自对准的槽栅绝缘栅双极晶体管及其制备方法，其特征在于：所述散热片(12)顶部固定安装有绝缘板(21)。8.根据权利要求1所述的一种全自对准的槽栅绝缘栅双极晶体管及其制备方法，其特征在于：所述栅极绝缘层(6)为热氧化工艺形成的二氧化硅层，所述绝缘侧壁(8)的宽度为0.1
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1um，高度为0.7
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2um之间。9.根据权利要求1
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8所述的一种全自对准的槽栅绝缘栅双极晶体管及其制备方法，其特征在于：所述散热层(22)包括第一铜层(2201)，所述第一铜层(2201)的底部设有陶瓷层(2202)，所述陶瓷层(2202)的底部设有第二铜层(2203)。

技术总结
本发明涉及晶体管技术领域，且公开了一种全自对准的槽栅绝缘栅双极晶体管及其制备方法，包括衬垫层，所述衬垫层的上表面设有P 层，所述P 层的上表面设有漏区，所述漏区的上表面两侧开设有漏注入区，所述漏注入区的顶部设有源区。该一种全自对准的槽栅绝缘栅双极晶体管及其制备方法，通过散热层的多层设置，能够充分吸收使用过过程中所产生的热量，通过散热片的设置，散热片能够有效的吸附第一铜层、陶瓷层和第二铜层所排出的热量，晶体管工作时，热量能够通过散热片被吸附出，从而有效的降低其温度，通过散热导管和延伸片的设置，进一步的提高了散热效果，使得晶体管工作时发热损耗降低，延长了使用寿命。延长了使用寿命。延长了使用寿命。


技术研发人员：陈利 陈彬
受保护的技术使用者：厦门芯一代集成电路有限公司
技术研发日：2021.08.19
技术公布日：2021/11/23