一种便于检修的氮化硅烧结炉的制作方法

1.本实用新型具体涉及一种便于检修的氮化硅烧结炉，属于氮化硅烧结炉技术领域。


背景技术：

2.氮化硅粉体的制备通常采用硅粉氮化法，其基本原理是硅粉和氮气、氨气等含氮气体在烧结炉内在高温下进行反应生成氮化硅，其操作的工艺流程主要包括：向烧结炉中装填硅粉，抽真空，向烧结炉中通入含氮反应气体，逐步加热升温到1300摄氏度左右，保温一定时间发生氮化反应，降温冷却即得氮化硅板块，然后粉碎至一定粒度即得到氮化硅粉体。由于反应原料为粉体，且反应过程需要频繁的抽真空和通气、排气，烧结炉内部存在较频繁的气体流动，炉内充满着粉尘，粉尘弥散严重，而烧结炉的加热依靠的硅钼棒电阻丝等，电阻丝有一定的使用寿命，因此需要对烧结炉内部进行定期维护检修、清扫粉尘、更换电阻丝等。现有的烧结炉结构中，炉膛和炉壳固定连接在一起，每次检修清扫都需要人钻进去，非常不便于操作，检修工作效率低下。


技术实现要素：

3.针对现有技术存在的问题，本实用新型提供一种便于检修的氮化硅烧结炉，目的在于解决现有烧结炉检修不方便的问题。
4.本实用新型的技术方案为：一种便于检修的氮化硅烧结炉，包括炉壳，在炉壳的一端设置有炉门，在所述炉壳底部设置有内导轨，在内导轨上放置有炉芯，在炉芯的一端设置有炉芯门，在炉芯底部固定连接有滚轮，所述滚轮可沿着内导轨移动；在炉壳上靠近炉门的一端设置有进气管和接线箱，在炉芯内设置有布气管，布气管的进气端靠近炉芯门，所述进气管与布气管通过气体接头可拆卸连接；在所述炉芯上设置有多套加热模块，加热模块与炉芯为可拆卸连接，在加热模块内设置有硅钼棒，所述硅钼棒与接线箱通过接线柱可拆卸连接。
5.进一步的，所述炉壳为双层结构，在炉壳的底部设置有进水管，在炉壳的顶部设置有出水管，所述进水管和出水管均与双层结构的内部空间连通。
6.进一步的，所述炉芯的结构从外向内依次为外壳、保温层、耐火砖。
7.进一步的，所述烧结炉还包括检修车，在所述检修车的底部设置有车轮，在所述检修车的上部设置有外导轨，所述外导轨和内导轨的高度和宽度相同。
8.进一步的，在所述检修车的前端底部还设置有立柱，在所述外导轨的末端还设置有挡块。
9.有益效果：本实用新型所述的氮化硅烧结炉，采用炉壳和炉芯双层结构，炉芯通过滚轮与内导轨接触，可沿着内导轨滑动，方便炉芯进出炉壳；同时炉壳上的进气管与炉芯上的布气管通过气体接头可拆卸连接，炉壳上的接线箱与炉芯上的加热模块通过接线柱可拆卸连接，方便炉芯与炉壳之间的气体和电的连接或断开；检修时，打开炉门使检修车的外导
轨对准炉壳的内导轨，断开炉芯与炉壳的连接，即可容易将炉芯拉出，方便对烧结炉进行清扫及维护。
附图说明
10.图1为烧结炉的组成结构示意图。
11.图2为图1的右视图。
12.图3为烧结炉检修状态示意图。
[0013] 图中标记：0地平面， 1炉壳，2炉芯，3检修车，10底座，11内导轨，12进水管，13出水管，14接线箱，15炉门，16进气管，17气体接头，21炉膛，22炉芯门，23滚轮，24布气管， 141接线柱，142加热模块，143硅钼棒，144热电偶，31车轮，32外导轨，33挡块，34立柱。
具体实施方式
[0014]
下面结合附图，对本实用新型的实施进行清楚完整的说明。
[0015]
如图1所示，一种便于检修的氮化硅烧结炉，包括炉壳1，所述炉壳1通过两个底座10固定在地平面0上。所述炉壳为双层结构，在炉壳的底部设置有进水管12，在炉壳的顶部设置有出水管13，所述进水管和出水管均与双层结构的内部空间连通，在双层架构内通入冷却水可以对炉壳进行降温冷却。在炉壳内设置有炉芯2，所述炉芯的结构从外向内依次为外壳、保温层、耐火砖，炉芯内为炉膛21，可以放置待烧结的原料。在炉芯的右端设置有炉芯门22，在炉壳1的右端设置有炉门15，炉芯门及炉门均可以打开或关闭。在所述炉壳内底部设置有内导轨11，在炉芯2底部固定连接有滚轮23，炉芯通过滚轮放置在内导轨上，所述滚轮23可沿着内导轨11左右移动，从而将炉芯移出或移进炉壳。
[0016]
如图1
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2所示，在炉壳1上靠近炉门的一端设置有进气管16和接线箱16，在炉芯内设置有布气管24，布气管的进气端靠近炉芯门，所述进气管16与布气管24通过气体接头17可拆卸连接，利用进气管可以向炉膛内通入含氮反应气体；在所述炉芯上设置有多套加热模块142，加热模块142嵌入卡接在炉芯壁上，与炉芯为可拆卸连接，在加热模块内设置有加热元件硅钼棒143，所述硅钼棒与接线箱通过接线柱141可拆卸连接；同时在炉芯上还设置有多个热电偶144，用以检测炉膛内的温度，所述热电偶与接线箱之间也通过接线柱相互连接。当需要把炉芯拉出炉膛检修时，可以拆下气体接头及接线柱，从而断开炉芯与炉壳之间的气体和电连接。由于气体接头及接线柱都比较靠近炉门口，因此操作起来也比较方便。
[0017]
如图3所示，所述烧结炉还包括检修车3，在所述检修车3的底部设置有车轮31方便检修车的移动，在所述检修车3的上部设置有外导轨32，所述外导轨32和炉壳内的内导轨12的高度和宽度均相同，从而保证内导轨和外导轨可以无缝对接。在检修车的前端底部还设置有立柱34，该立柱的作用是在炉芯刚接触上到检修车时放置检修车后端翘起，在所述外导轨的末端还设置有挡块33，防止炉芯从检修车的末端掉下来。
[0018]
当氮化硅烧结炉需要检修时，首先打开炉门，打开炉芯门，将检修车移动到炉门前，使内导轨和外导轨相互对准，并固定检修车；接着拆下气体接头，断开炉壳上的进气管与炉芯上的布气管之间的气体连接通道；在拆下硅钼棒及热电偶与接线箱之间的接线柱，断开炉芯与炉壳之间的电连接；然后将炉芯沿着内导轨向外拉，并使炉芯完全进入到检修车的外导轨上，即可使炉芯完全脱离炉壳；最后即可对炉壳内进行清扫及检查，对炉芯上的
加热模块进行更换及维修等，由于检修空间比较大，因此检修效率大幅提高。当检修完毕后，即可反方向将炉芯推入炉壳内部，进行电气连接和气管连接，然后向炉膛内加入待烧结的硅粉物料，关闭炉芯门和炉门，抽真空排气，通入含氮反应气体，打开加热系统进行加热，同时通入冷却水对炉壳进行降温，按照设定的工艺参数控制炉膛内的温度、压力、时间等参数，最后即可生成最终产物氮化硅。
[0019]
以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，本实用新型的保护范围并不仅局限于上述实施例，凡属于本实用新型思路下的技术方案均属于本实用新型的保护范围。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理前提下的若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。


技术特征：
1.一种便于检修的氮化硅烧结炉，包括炉壳，在炉壳的一端设置有炉门，其特征在于：在所述炉壳底部设置有内导轨，在内导轨上放置有炉芯，在炉芯的一端设置有炉芯门，在炉芯底部固定连接有滚轮，所述滚轮可沿着内导轨移动；在炉壳上靠近炉门的一端设置有进气管和接线箱，在炉芯内设置有布气管，布气管的进气端靠近炉芯门，所述进气管与布气管通过气体接头可拆卸连接；在所述炉芯上设置有多套加热模块，加热模块与炉芯为可拆卸连接，在加热模块内设置有硅钼棒，所述硅钼棒与接线箱通过接线柱可拆卸连接。2.根据权利要求1所述的一种便于检修的氮化硅烧结炉，其特征在于：所述炉壳为双层结构，在炉壳的底部设置有进水管，在炉壳的顶部设置有出水管，所述进水管和出水管均与双层结构的内部空间连通。3.根据权利要求1所述的一种便于检修的氮化硅烧结炉，其特征在于：所述炉芯的结构从外向内依次为外壳、保温层、耐火砖。4.根据权利要求1所述的一种便于检修的氮化硅烧结炉，其特征在于：所述烧结炉还包括检修车，在所述检修车的底部设置有车轮，在所述检修车的上部设置有外导轨，所述外导轨和内导轨的高度和宽度相同。5.根据权利要求4所述的一种便于检修的氮化硅烧结炉，其特征在于：在所述检修车的前端底部还设置有立柱，在所述外导轨的末端还设置有挡块。

技术总结
一种便于检修的氮化硅烧结炉，包括炉壳，在炉壳的一端设置有炉门，在所述炉壳底部设置有内轨道，在内轨道上放置有炉芯，在炉芯的一端设置有炉芯门，在炉芯底部固定连接有滚轮，所述滚轮可沿着内轨道移动；在炉壳上靠近炉门的一端设置有进气管和接线箱，在炉芯内设置有布气管，布气管的进气端靠近炉芯门，所述进气管与布气管通过气体接头可拆卸连接；在所述炉芯上设置有多套加热模块，加热模块与炉芯为可拆卸连接，在加热模块内设置有硅钼棒，所述硅钼棒与接线箱通过接线柱可拆卸连接。本专利可方便对烧结炉进行检修维护。方便对烧结炉进行检修维护。方便对烧结炉进行检修维护。


技术研发人员：夏静豪 王运宝
受保护的技术使用者：安阳亨利高科实业有限公司
技术研发日：2021.06.02
技术公布日：2021/11/21