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一种自动加注冷却液装置的制作方法

2021-11-22 20:54:00 来源:中国专利 TAG:


1.本实用新型涉及半导体产品低温测试装置,具体涉及一种自动加注冷却液装置。


背景技术:

2.在低温测试晶圆时,冷却液存在自然损耗情况。为机台正常运行,需确保冷却液在合理范围内。
3.目前,在测试低温产品前,机台冷却液加注都是通过人工方式,从加注口倒入,作业时,由于机台高度过高,冷却液桶重量大,需要2人以上才能完成冷却液加注,费时费力,且具有一定的生产安全隐患,并且每天需要人工检查冷却液的液位,确保不会因为冷却液的过低而导致机台运行异常。


技术实现要素:

4.本实用新型旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。为此,本实用新型提出一种自动加注冷却液装置。
5.本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:一种自动加注冷却液装置,包括在加注腔内自上向下依次设置的高位监测器、低位监测器和最低允许液位监测器,所述高位监测器、低位监测器和最低允许液位监测器均连接控制电路,所述控制电路连接水泵,所述水泵通过吸水管连接至冷却液桶内,通过出水管连接至加注腔的加注口内。
6.在本实用新型的一个实施例中,所述高位监测器、低位监测器和最低允许液位监测器分别为高水位探头、底水位探头和最低允许液位探头;
7.所述控制电路包括传感器、电源、继电器、三极管、常开触点j1和常开触点j2,所述高水位探头电连接传感器引脚1,所述最低允许液位探头电连接传感器引脚2,所述底水位探头连接常开触点j1后与传感器引脚1连接,所述电源与三极管、继电器串联后电连接在传感器引脚3上,所述三极管还连接到传感器引脚4上,所述常开触点j2串联在水泵上。
8.在本实用新型的一个实施例中,所述加注腔采用透明材料制成。
9.在本实用新型的一个实施例中,所述出水管为软管。
10.本实用新型的有益效果是:本实用新型通过控制电路实现冷却液的自动加注,可靠性高,无需人员操作,适用于不同型号冷却机。当冷却器内冷却液过少,水位低于b点低位监测器时,继电器吸合,水泵电动机开始工作,冷却液加注,加注管水位开始上升。当冷却器内冷却液充足,水位到达a点高位监测器时,继电器断开,水泵电机停止工作,冷却液停止加注。
附图说明
11.图1是本实用新型结构示意图;
12.图2是控制电路图。
具体实施方式
13.下面详细描述本实用新型的实施方式,所述实施方式的示例在附图中示出,其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施方式是示例性的,仅用于解释本实用新型,而不能理解为对本实用新型的限制。
14.在本实用新型的描述中,需要理解的是,术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。此外,术语“第一”、“第二”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此,限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个所述特征。在本实用新型的描述中,“多个”的含义是两个或两个以上,除非另有明确具体的限定。
15.如图1所示一种自动加注冷却液装置,包括在加注腔100内自上向下依次设置的高位监测器a、低位监测器b和最低允许液位监测器c,为了便于实时观察加注腔内的冷却液情况,加注腔100采用透明材料制成;
16.高位监测器a、低位监测器b和最低允许液位监测器c均连接控制电路200,所述高位监测器a、低位监测器b和最低允许液位监测器c分别为高水位探头、底水位探头和最低允许液位探头;
17.控制电路200连接水泵300,水泵300通过吸水管301连接至冷却液桶400内,通过出水管302连接至加注腔100的加注口101内,出水管为软管,柔软性好,便于出水管的移动和安装在加注口内。
18.如图2所示,具体的,控制电路200包括传感器201、电源202、继电器203、三极管204、常开触点j1和常开触点j2,高水位探头电连接传感器引脚1,最低允许液位探头电连接传感器引脚2,底水位探头连接常开触点j1后与传感器引脚1连接,电源与三极管、继电器串联后电连接在传感器引脚3上,所述三极管还连接到传感器引脚4上,所述常开触点j2串联在水泵上。控制原理:当水位下降到低位监测器b点以下时,传感器引脚1,2脚断开,传感器引脚4处于低电平,三极管导通,继电器吸合,常开触点j2导通,水泵开始工作。当水位上升至a点高位监测器时,由于冷却液导电性,传感器引脚1,2串联,创阿奇引脚4脚处于高电平,三极管截至,继电器停止吸合,常开触点j2断开,常闭触点j1闭合复位,水泵停止工作。
19.即本实用新型通过控制电路实现冷却液的自动加注,可靠性高,无需人员操作,适用于不同型号冷却机。当冷却器内冷却液过少,水位低于b点低位监测器时,继电器吸合,水泵电动机开始工作,冷却液加注,加注管水位开始上升。当冷却器内冷却液充足,水位到达a点高位监测器时,继电器断开,水泵电机停止工作,冷却液停止加注。
20.在本说明书的描述中,参考术语“一个实施方式”、“某些实施方式”、“示意性实施方式”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合所述实施方式或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施方式或示例中。在本说明书中,对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施方式或示例。而且,描述的具体特
征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施方式或示例中以合适的方式结合。
21.综上所述,虽然本实用新型已以优选实施例揭露如上,但上述优选实施例并非用以限制本实用新型,本领域的普通技术人员,在不脱离本实用新型的精神和范围内,均可作各种更动与润饰,因此本实用新型的保护范围以权利要求界定的范围为准。


技术特征:
1.一种自动加注冷却液装置,其特征在于,包括在加注腔内自上向下依次设置的高位监测器、低位监测器和最低允许液位监测器,所述高位监测器、低位监测器和最低允许液位监测器均连接控制电路,所述控制电路连接水泵,所述水泵通过吸水管连接至冷却液桶内,通过出水管连接至加注腔的加注口内。2.根据权利要求1所述自动加注冷却液装置,其特征在于,所述高位监测器、低位监测器和最低允许液位监测器分别为高水位探头、底水位探头和最低允许液位探头;所述控制电路包括传感器、电源、继电器、三极管、常开触点j1和常开触点j2,所述高水位探头电连接传感器引脚1,所述最低允许液位探头电连接传感器引脚2,所述底水位探头连接常开触点j1后与传感器引脚1连接,所述电源与三极管、继电器串联后电连接在传感器引脚3上,所述三极管还连接到传感器引脚4上,所述常开触点j2串联在水泵上。3.根据权利要求1所述自动加注冷却液装置,其特征在于,所述加注腔采用透明材料制成。4.根据权利要求3所述自动加注冷却液装置,其特征在于,所述出水管为软管。

技术总结
本实用新型涉及一种自动加注冷却液装置,包括在加注腔内自上向下依次设置的高位监测器、低位监测器和最低允许液位监测器,所述高位监测器、低位监测器和最低允许液位监测器均连接控制电路,所述控制电路连接水泵,所述水泵通过吸水管连接至冷却液桶内,通过出水管连接至加注腔的加注口内。本实用新型通过控制电路实现冷却液的自动加注,可靠性高,无需人员操作,适用于不同型号冷却机。当冷却器内冷却液过少,水位低于B点低位监测器时,继电器吸合,水泵电动机开始工作,冷却液加注,加注管水位开始上升。当冷却器内冷却液充足,水位到达A点高位监测器时,继电器断开,水泵电机停止工作,冷却液停止加注。冷却液停止加注。冷却液停止加注。


技术研发人员:苏广峰 傅佳豪
受保护的技术使用者:安测半导体技术(江苏)有限公司
技术研发日:2021.06.22
技术公布日:2021/11/21
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