一种光罩检测治具的制作方法

1.本实用新型涉及光罩检测技术领域，具体为一种光罩检测治具。


背景技术：

2.光罩：业内又称光掩模版、掩膜版，英文名称 mask 或 photomask)，材质:石英玻璃、金属铬和感光胶，该产品是由石英玻璃作为衬底，在其上面镀上一层金属铬和感光胶，成为一种感光材料，把已设计好的电路图形通过电子激光设备曝光在感光胶上,被曝光的区域会被显影出来，在金属铬上形成电路图形，成为类似曝光后的底片的光掩模版，然后应用于对集成电路进行投影定位，通过集成电路光刻机对所投影的电路进行光蚀刻，其生产加工工序为:曝光，显影，去感光胶，最后应用于光蚀刻。
3.光罩在多次使用后需要进行检测，现有的检测治具结构单一，夹持稳定性差，因此，有必要进行改进。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供一种光罩检测治具，以解决上述背景技术中提出的问题。
5.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种光罩检测治具, 包括安装平台，所述安装平台上端面中心设在凸起光罩放置平台，所述凸起光罩放置平台表面均布若干吸气孔，所述安装平台四周分别安装第一挡块、第二挡块、第三挡块和第四挡块，所述第一挡块和第三挡块内侧分别安装第一顶推组件，所述第二挡块和第四挡块内侧分别安装第二顶推组件。
6.优选的，本申请提供的一种光罩检测治具，其中，所述第一顶推组件和第二顶推组件结构完全一致，包括顶推气缸和顶推块，所述顶推气缸尾端固定于挡块内侧，所述顶推气缸伸缩端与顶推块连接。
7.优选的，本申请提供的一种光罩检测治具，其中，所述顶推块采用l型结构。
8.优选的，本申请提供的一种光罩检测治具，其中，所述顶推块内侧壁包覆硅胶垫。
9.优选的，本申请提供的一种光罩检测治具，其中，所述凸起光罩放置平台表面还包覆耐磨膜。
10.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型结构设计简单，能够有效的固定光罩，提高光罩的检测效率；其中，顶推组件中的顶推块采用l型结构，能够有效的压紧光罩边缘，放置光罩出现移动现象，进一步提高检测精度。
附图说明
11.图1为本实用新型结构示意图；
12.图2为本实用新型凸起放置平台俯视图；
13.图3为本实用新型顶推组件结构示意图；
14.图中：安装平台1、凸起光罩放置平台2、吸气孔3、第一挡块4、第二挡块5、第三挡块6、第四挡块7、第一顶推组件8、第二顶推组件9、顶推气缸10、顶推块11、硅胶垫12、耐磨膜13。
具体实施方式
15.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
16.在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“上”、
ꢀ“
下”、
ꢀ“
内”、
ꢀ“
外”“前端”、
ꢀ“
后端”、
ꢀ“
两端”、
ꢀ“
一端”、
ꢀ“
另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、
ꢀ“
第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
17.在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、
ꢀ“
设置有”、
ꢀ“
连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
18.请参阅图1
‑
3，本实用新型提供一种技术方案：一种光罩检测治具, 包括安装平台1，所述安装平台1上端面中心设在凸起光罩放置平台2，凸起光罩放置平台2表面还包覆耐磨膜13，能够防止光罩取放过程中出现磨损现象；所述凸起光罩放置平台2表面均布若干吸气孔3，所述安装平台1四周分别安装第一挡块4、第二挡块5、第三挡块6和第四挡块7，所述第一挡块4和第三挡块6内侧分别安装第一顶推组件8，所述第二挡块5和第四挡块7内侧分别安装第二顶推组件9。
19.本实用新型中，第一顶推组件8和第二顶推组件9结构完全一致，包括顶推气缸10和顶推块11，所述顶推气缸10尾端固定于挡块内侧，所述顶推气缸10伸缩端与顶推块11连接；顶推块11采用l型结构；顶推块11内侧壁包覆硅胶垫12。
20.工作原理：将待检测光罩放置于凸起光罩放置平台，控制外部负压吸附装置工作，将光罩吸附于凸起光罩放置平台上，之后控制顶推气缸工作，顶推气缸推动顶推块移动，顶推块移动后压紧光罩边缘。
21.综上所述，本实用新型结构设计简单，能够有效的固定光罩，提高光罩的检测效率；其中，顶推组件中的顶推块采用l型结构，能够有效的压紧光罩边缘，放置光罩出现移动现象，进一步提高检测精度。
22.对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制
所涉及的权利要求。


技术特征：
1. 一种光罩检测治具, 包括安装平台（1），其特征在于：所述安装平台（1）上端面中心设在凸起光罩放置平台（2），所述凸起光罩放置平台（2）表面均布若干吸气孔（3），所述安装平台（1）四周分别安装第一挡块（4）、第二挡块（5）、第三挡块（6）和第四挡块（7），所述第一挡块（4）和第三挡块（6）内侧分别安装第一顶推组件（8），所述第二挡块（5）和第四挡块（7）内侧分别安装第二顶推组件（9）。2.根据权利要求1所述的一种光罩检测治具，其特征在于：所述第一顶推组件（8）和第二顶推组件（9）结构完全一致，包括顶推气缸（10）和顶推块（11），所述顶推气缸（10）尾端固定于挡块内侧，所述顶推气缸（10）伸缩端与顶推块（11）连接。3.根据权利要求2所述的一种光罩检测治具，其特征在于：所述顶推块（11）采用l型结构。4.根据权利要求3所述的一种光罩检测治具，其特征在于：所述顶推块（11）内侧壁包覆硅胶垫（12）。5.根据权利要求1所述的一种光罩检测治具，其特征在于：所述凸起光罩放置平台（2）表面还包覆耐磨膜（13）。

技术总结
本实用新型公开了一种光罩检测治具，包括安装平台，安装平台上端面中心设在凸起光罩放置平台，凸起光罩放置平台表面均布若干吸气孔，安装平台四周分别安装第一挡块、第二挡块、第三挡块和第四挡块，第一挡块和第三挡块内侧分别安装第一顶推组件，第二挡块和第四挡块内侧分别安装第二顶推组件，本实用新型结构设计简单，能够有效的固定光罩，提高光罩的检测效率。率。率。


技术研发人员：郑永庆 张衡 陈宏渊
受保护的技术使用者：艾斯尔光电（南通）有限公司
技术研发日：2021.04.15
技术公布日：2021/11/17