载体摆动机构和处理设备的制作方法

1.本实用新型的实施例涉及半导体处理设备技术领域，具体而言，涉及一种载体摆动机构和一种处理设备。


背景技术：

2.相关技术中，晶圆在常规清洗过程中以及在清洗后均是静态的，晶圆的有些部位容易形成死区，不能完全清洗或干燥。


技术实现要素：

3.为了解决上述技术问题至少之一，本实用新型的实施例的一个目的在于提供一种载体摆动机构。
4.本实用新型的实施例的另一个目的在于提供一种具有上述载体摆动机构的处理设备。
5.为实现上述目的，本实用新型第一方面的实施例提供了一种载体摆动机构，包括：摆动平台，摆动平台的底部设有摆动轴；动力组件；传动组件，传动组件的两端分别连接动力组件和摆动平台，动力组件用于通过传动组件带动摆动平台绕摆动轴摆动。
6.根据本实用新型提供的载体摆动机构的实施例，动力组件能够通过传动组件驱动摆动平台摆动，即摆动平台能够相对处理槽进行摆动，所述处理槽可以是添加有溶液的清洗槽，或者是对经过清洗处理过的待处理件进行烘干的烘干槽，放置在摆动平台上的待处理件可以按要求做往复的倾斜角度变化，使待处理件在处理槽内能够按预设方向倾斜，从而达到动态处理的目的，这种方式可以在很大程度上消除清洗或者干燥死区，提升清洗或烘干效果及清洗或烘干效率。
7.具体而言，载体摆动机构包括摆动平台、动力组件和传动组件，通常情况下，摆动平台设于处理设备的处理槽内，所述处理槽可以是添加有溶液的清洗槽，或者是对经过清洗处理过的待处理件进行烘干的烘干槽，摆动平台通过传动组件与处理设备的其它部件相连，比如：动力组件等。进一步地，摆动平台的底部设有摆动轴，摆动平台可绕摆动轴进行摆动，放置在摆动平台上的待处理件可以按要求做往复的倾斜角度变化，使待处理件在处理槽内能够按预设方向倾斜，从而达到动态清洗后者烘干的目的，这种方式可以在很大程度上消除清洗或干燥死区，提升清洗或者干燥效果及清洗或干燥效率。
8.进一步地，传动组件的两端分别连接动力组件和摆动平台，具体地，传动组件可以包括传动杆，传动杆的一端与摆动平台转动连接，传动杆的另一端与动力组件相连，动力组件能够通过传动组件驱动摆动平台绕摆动轴进行摆动。
9.本技术限定的技术方案中，待处理件可以是半导体件，比如晶圆等。晶圆在常规清洗过程中或者是烘干过程中均是静态的，晶圆的有些部位容易形成死区，不能完全清洗或干燥。而本技术限定的技术方案中，放置在摆动平台上的晶圆可以按要求做往复的倾斜角度变化，使晶圆能够按预设方向倾斜，从而达到动态清洗或干燥的目的，这种方式可以在很
大程度上消除清洗或干燥死区，提升清洗或烘干效果及清洗或烘干效率。另外，载体摆动机构还具有结构简单、运行平稳、需要日常维护的频次较低的优点。
10.另外，本实用新型提供的上述技术方案还可以具有如下附加技术特征：
11.在上述技术方案中，传动组件包括：传动杆，传动杆的两端分别连接动力组件和摆动平台；球头杆，球头杆的一端形成有球头部，球头杆远离球头部的一端与传动杆靠近摆动平台的一端相连；配合部，设于摆动平台上，配合部设有球窝，球头部与球窝配合。
12.在该技术方案中，传动组件包括传动杆、球头杆和配合部。具体地，传动杆的一端与摆动平台转动连接，传动杆的另一端与动力组件相连，动力组件能够通过传动组件驱动摆动平台绕摆动轴进行摆动。
13.进一步地，球头杆的一端形成有球头部，球头部为球体状。球头杆远离球头部的一端与传动杆靠近摆动平台的一端相连，可以理解为，传动杆通过球头杆与摆动平台相连。值得说明的是，球头杆的轴线与传动杆的轴线平行或重合。
14.进一步地，配合部设于摆动平台上，且配合部上设有球窝，球头部与球窝相互配合，且球头部能够相对球窝转动，从而球头杆与摆动平台实现转动连接。
15.在上述技术方案中，传动组件还包括：第一滑动组件，第一滑动组件用于与壳组件连接；滑动板，滑动板与传动杆相连，并与第一滑动组件相适配，滑动板可相对第一滑动组件滑动。
16.在该技术方案中，传动组件还包括第一滑动组件和滑动板。具体地，第一滑动组件与壳组件相连，滑动板与传动杆相连且与第一滑动组件相适配，滑动板能够相对第一滑动组件进行滑动。
17.进一步地，第一滑动组件包括连接板和两个滑动导轨。连接板截面与两个滑动导轨截面组成c型结构，滑动板处于c型结构中，且滑动板能够沿c型结构的长度方向进行滑动。
18.在上述技术方案中，动力组件还包括：驱动部，驱动部连接于传动组件远离摆动平台的一端，用于驱动传动组件带动摆动平台摆动。
19.在该技术方案中，动力组件还包括驱动部。具体地，驱动部与传动组件远离摆动平台的一端相连，驱动部能够驱动传动组件从而带动摆动平台进行摆动。
20.值得说明的是，此处的驱动部可以是气缸、液压缸或者其它形式的动力件。
21.在上述技术方案中，动力组件还包括：第二滑动组件，连接于传动组件；驱动部包括第一驱动部和第二驱动部，第一驱动部用于带动传动组件沿第一方向运动；第二驱动部用于带动传动组件沿第二方向运动。
22.在该技术方案中，动力组件还包括第二滑动组件。第二滑动组件与传动组件相连。具体地，第二滑动组件包括导轨滑块结构以及连接部，导轨滑块结构包括第一部和第二部；动力组件还包括与传动组件远离摆动平台一端相连的限位部，限位部与传动组件固定连接，导轨滑块结构与连接部连接，连接部与限位部连接，限位部运动，进而带动传动组件运动，同时，第一部与第二部可发生相对位置变化。
23.进一步地，驱动部具体包括第一驱动部和第二驱动部。具体地，第一驱动部能够带动传动组件沿第一方向运动，第二驱动部能够带动传动组件沿第二方向运动。具体地，驱动部带动限位部运动，限位部带动传动组件运动，即第一驱动部带动限位部进而带动传动组
件沿第一方向运动，第二驱动部能够带动限位部进而带动传动组件沿第二方向运动。
24.值得说明的是，当传动组件中的传动杆竖直方向设置时，第一方向为竖直向上，第二方向为竖直向下，即第一方向与第二方向相反。换言之，第一驱动部与第二驱动部互为倒装，即安装方向相反。
25.第一驱动部和第二驱动部均可以是气缸。两个气缸还可以增大行程，一种方式是改变两个气缸的相对位置，可以对两个气缸的整体行程进行调节，进而能够调控摆动平台的摆动幅度；另一种方式是更换两个气缸的规格，采用行程更大的气缸，以能够调控网板组件118的摆动幅度。
26.采用双气缸相互配合的方式间接带动网板组件的摆动，相比与常规的电机方式驱动，具有置容空间小、操作便捷的优点，所述动力组件设置在处理设备，处理设备包括多个区域，各区域空间受限制，为在有限空间内实现烘干槽内晶圆的摆动，采用双气缸相互配合的方式一方面可以实现烘干槽内晶圆的摆动，另一方面合理利用了设备空间。此外，采用双气缸驱动的方式可以更容易控制网板组件的平衡点，即当两个气缸均处于不运动状态时，网板处于平衡状态。处于平衡状态时，便于人工或搬运装置(例如机械手)的取放，特别是机械化控制时，摆动平台处于平衡状态，即水平状态，放置晶圆的晶圆盒处于水平状态，便于搬运装置同步准确的抓取晶圆盒或放置晶圆盒。若采用单个气缸间接驱动网板组件的摆动，实现3个位置的切换，则当需要摆动平台处于水平状态时，由于气缸时采用的是将压缩空气的压力转换为机械能的原理，不能准确实现水平状态的控制，进而影响网板上晶圆的取放。
27.在上述技术方案中，还包括：至少一个摆动支撑部，摆动支撑部设有摆动槽，摆动轴与摆动槽相互配合。
28.在该技术方案中，载体摆动机构还包括至少一个摆动支撑部。摆动支撑部的数量为至少一个，即摆动支撑部可以是一个、两个或者多个，根据实际需求进行灵活设置。
29.进一步地，摆动支撑部设有摆动槽，摆动轴与摆动槽相互配合。具体地，摆动轴的截面形状与摆动槽的截面形状相适配，摆动轴可相对摆动支撑部摆动，进而实现摆动平台相对摆动支撑部进行摆动。
30.在上述技术方案中，还包括：位置检测组件，包括：磁性开关，设于动力组件上；原点位检测组件，设于动力组件上。
31.在该技术方案中，载体摆动机构还包括位置检测组件。具体地，位置检测组件包括磁性开关和原点位检测组件。动力组件包括驱动部，驱动部可以是气缸，磁性开关设于气缸上，用于检测气缸的位置。
32.进一步地，原点位检测组件包括检测片和检测元件。具体地，检测元件设于阻隔板或者与阻隔板相连的支撑块上，检测片设于与驱动部相连的连接部上，原点位检测组件用于检测气缸不运动时的状态，气缸不运动时摆动平台应该处于水平状态。通过设置位置检测组件，载体摆动机构能够实现自动化摆动。
33.本实用新型第二方面的实施例提供了一种处理设备，包括：壳组件；上述任一实施例中的载体摆动机构，所述载体摆动机构与所述壳组件相连。
34.根据本实用新型的处理设备的实施例，处理设备包括壳组件和与壳组件相连的载体摆动机构。具体地，载体摆动机构中动力组件的一部分与壳组件相连，且载体摆动机构中
的阻隔板与壳组件相连。另外，载体摆动机构中摆动组件设于处理槽内，摆动组件中的摆动平台可相对处理槽摆动，进而能够实现对待处理件的动态清洗或干燥。
35.进一步地，处理设备中的壳组件主要起到支撑以及连接载体的作用。壳组件可以由耐腐蚀的金属板连接而成。
36.在上述技术方案中，壳组件内分为第一区域和第二区域，载体摆动机构中的摆动组件设于第一区域，载体摆动机构中的动力组件设于第二区域。
37.在该技术方案中，通过将壳组件内划分为两个区域，即第一区域和第二区域，有利于将工作区域以及装配区域分隔开，提高处理设备的整体结构的紧凑性。
38.进一步地，第一区域为工作区域，第二区域为装配区域，将载体摆动机构中的摆动组件设置在第一区域，载体摆动机构中的动力组件设置在第二区域，由于载体摆动机构中的阻隔板与壳组件相连，从而阻隔板将壳组件内分隔为第一区域和第二区域，有利于提高各区域内的整洁性。
39.在上述技术方案中，还包括：处理槽，设于壳组件的底部，载体摆动机构中的摆动平台设于处理槽内。
40.在该技术方案中，处理设备还包括设于壳组件的底部的处理槽。载体摆动机构中的摆动平台设于处理槽内，待处理件放置在摆动平台上，工作过程中摆动平台可相对处理槽进行摆动，进而可以实现对待处理件的动态清洗或干燥，提高清洗或干燥效果以及清洗或干燥效率。
41.其中，由于处理设备包括上述第一方面中的任一载体摆动机构，故而具有上述任一实施例的有益效果，在此不再赘述。
42.本实用新型的实施例的附加方面和优点将在下面的描述部分中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。
附图说明
43.图1示出了根据本实用新型的一个实施例的载体摆动机构的结构示意图；
44.图2示出了根据本实用新型的另一个实施例的载体摆动机构的结构示意图；
45.图3示出了根据本实用新型的另一个实施例的载体摆动机构的结构示意图；
46.图4示出了根据本实用新型的一个实施例的传动杆与限位部的连接结构示意图；
47.图5示出了根据本实用新型的一个实施例的传动组件的结构示意图；
48.图6示出了根据本实用新型的另一个实施例的载体摆动机构的结构示意图；
49.图7示出了根据本实用新型的另一个实施例的载体摆动机构的结构示意图；
50.图8示出了根据本实用新型的一个实施例的处理设备的结构示意图。
51.其中，图1至图8中附图标记与部件名称之间的对应关系为：
52.100：载体摆动机构；110：摆动组件；111：摆动支撑部；1111：摆动槽；112：摆动平台；1121：摆动轴；1122：支撑座；113：载体；1131：晶圆盒；1132：待处理件；120：传动组件；121：传动杆；1211：安装孔；122：球头杆；1221：球头部；123：配合部；1231：球窝；1232：上球碗；1233：下球碗；1234：球碗固定罩；124：滑动导轨；125：垫板；1251：第二升降活动口；126：连接板；127：滑动板；128：第一滑动组件；130：动力组件；131：限位部；132：阻隔板；1321：第一升降活动口；133：支撑块；134：第一连接部；135：第二连接部；136：转接板；137：驱动部；
1371：第一驱动部；1372：第二驱动部；138：第二滑动组件；1391：底板；1392：连接块；140：位置检测组件；141：磁性开关；142：原点位检测组件；1421：检测元件；1422：检测片；150：盖板；160：导轨滑块结构；161：第一部；162：第二部；200：处理设备；210：壳组件；220：第一区域；230：第二区域；240：处理槽。
具体实施方式
53.为了能够更清楚地理解本实用新型的实施例的上述目的、特征和优点，下面结合附图和具体实施方式对本实用新型的实施例进行进一步的详细描述。需要说明的是，在不冲突的情况下，本技术的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
54.在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本技术，但是，本实用新型的实施例还可以采用其他不同于在此描述的其他方式来实施，因此，本技术的保护范围并不限于下面公开的具体实施例的限制。
55.下面参照图1至图8描述根据本实用新型一些实施例提供的载体摆动机构100和处理设备200。
56.实施例一
57.如图1所示，本实用新型的一个实施例提供的载体摆动机构100，包括摆动平台112、动力组件130和传动组件120，通常情况下，摆动平台112设于处理设备200的处理槽240内，摆动平台112通过传动组件120与处理设备200的其它部件相连，比如：动力组件130等。进一步地，摆动平台112的底部设有摆动轴1121，摆动平台112可绕摆动轴1121进行摆动，放置在摆动平台112上的待处理件1132可以按要求做往复的倾斜角度变化，使待处理件1132在处理槽240内能够按预设方向倾斜，从而达到动态清洗或干燥的目的，这种方式可以在很大程度上消除清洗或干燥死区，提升清洗或干燥效果及清洗或干燥效率。
58.进一步地，传动组件120的两端分别连接动力组件130和摆动平台112，具体地，传动组件120可以包括传动杆121，传动杆121的一端与摆动平台112转动连接，传动杆121的另一端与动力组件130相连，动力组件130能够通过传动组件120驱动摆动平台112绕摆动轴1121进行摆动。
59.实施例二
60.如图1所示，本实用新型的一个实施例提供的载体摆动机构100，包括摆动组件110、动力组件130和传动组件120，通常情况下，摆动组件110设于处理设备200的处理槽240内，摆动组件110通过传动组件120与处理设备200的其它部件相连，比如：动力组件130等。进一步地，摆动组件110包括摆动平台112，摆动平台112的底部设有摆动轴1121，摆动平台112可绕摆动轴1121进行摆动，放置在摆动平台112上的待处理件1132可以按要求做往复的倾斜角度变化，使待处理件1132在处理槽240内能够按预设方向倾斜，从而达到动态清洗或干燥的目的，这种方式可以在很大程度上消除清洗或干燥死区，提升清洗或干燥效果及清洗或干燥效率。
61.进一步地，传动组件120的两端分别连接动力组件130和摆动平台112，具体地，传动组件120可以包括传动杆121，传动杆121的一端与摆动平台112转动连接，传动杆121的另一端与动力组件130相连，动力组件130能够通过传动组件120驱动摆动平台112绕摆动轴1121进行摆动。
62.实施例三
63.如图1所示，本实用新型的一个实施例提供的载体摆动机构100，包括摆动组件110和传动组件120，通常情况下，摆动组件110设于处理设备200的处理槽240内，摆动组件110通过传动组件120与处理设备200的其它部件相连，比如：动力组件130等。进一步地，摆动组件110包括摆动支撑部111和摆动平台112。具体地，摆动支撑部111上设有摆动槽1111，摆动平台112远离设置支撑座1122上的一面上设有摆动轴1121，摆动轴1121与摆动槽1111相互配合。摆动支撑部111与摆动平台112均设置在处理槽240内，待处理件1132放置在摆动平台112上，摆动支撑部111可以与处理槽240的槽底相连，即摆动支撑部111与处理槽240相对固定，摆动平台112可相对摆动支撑部111摆动，换言之，摆动平台112能够相对处理槽240进行摆动，放置在摆动平台112上的待处理件1132可以按要求做往复的倾斜角度变化，使待处理件1132在处理槽240内能够按预设方向倾斜，从而达到动态清洗或干燥的目的，这种方式可以在很大程度上消除清洗或干燥死区，提升清洗或干燥效果及清洗或干燥效率。
64.值得说明的是，摆动支撑部111与处理槽240可以是一体式结构，相对于后加工的方式而言，力学性能好，连接强度更高，且有利于减少零部件的数量，进而可以减少安装工序，提高安装效率。摆动支撑部111的材质以及表面处理可以与处理槽240相同。另外，摆动轴1121可以由耐高温、润滑性高的铁氟龙材料制作而成，摆动轴1121与摆动支撑部111的摆动槽1111相互配合，且摆动轴1121能够相对摆动支撑部111进行摆动。根据处理槽240的结构需求，摆动轴1121可以装配在摆动平台112的各个位置。进一步地，摆动平台112的材质以及表面处理可以与处理槽240相同。
65.进一步地，传动组件120包括传动杆121。具体地，传动杆121的一端与摆动平台112转动连接，传动杆121的另一端与动力组件130相连。换言之，动力组件130为提供动力的部件，且动力组件130与摆动组件110通过传动组件120实现传动连接，动力组件130能够通过传动组件120中的传动杆121驱动摆动平台112相对处理槽240进行摆动，进而可以实现对待处理件1132的动态清洗或处理。值得说明的是，传动杆121与摆动平台112可以通过能自由活动的万向连接组件实现转动连接。
66.进一步地，传动杆121的轴线方向始终与摆动槽1111的长度方向垂直且不相交。具体地，传动杆121的轴线方向与摆动槽1111的长度方向不相交，可以理解为，传动杆121仅是起到传递动力的作用，传动杆121不会影响到摆动平台112的正常摆动。另外，传动杆121的轴线方向始终与摆动槽1111的长度方向垂直，可以理解为，传动杆121的轴线与摆动槽1111的中心线垂直，在载体摆动机构100工作时，传动杆121仅可以沿轴向运动，即动力组件130驱动传动杆121沿轴向运动，进而可以带动摆动平台112进行往复摆动。值得说明的是，传动杆121可以竖直设置，工作过程中传动杆121仅在竖直方向上进行升降。当然，传动杆121根据实际需求还可以是其它设置方式，比如：水平设置等。
67.本技术限定的技术方案中，待处理件1132可以是半导体件，比如晶圆等。晶圆在常规清洗过程中以及在清洗后(烘干阶段)均是静态的，晶圆的有些部位容易形成死区，不能完全清洗或干燥。而本技术限定的技术方案中，放置在摆动平台112上的晶圆可以按要求做往复的倾斜角度变化，使晶圆能够按预设方向倾斜，从而达到动态清洗或处理的目的，这种方式可以在很大程度上消除清洗或干燥死区，提升清洗或干燥效果及清洗或处理效率。另外，载体摆动机构100还具有结构简单、运行平稳、需要日常维护的频次较低的优点。
68.在另一个实施例中，摆动支撑部111的数量为至少一个，即摆动支撑部111可以是一个、两个或者多个，根据实际需求进行灵活设置。
69.实施例四
70.如图1所示，摆动组件110还包括至少一个载体113。具体地，载体113包括晶圆盒1131和待处理件1132。晶圆盒1131设于摆动平台112上，晶圆盒1131放置在摆动平台112，晶圆盒进一步地，摆动平台112上设有多个支撑座1122，支撑座1122用于对晶圆盒1131进行承载和限位。晶圆盒晶圆盒晶圆盒
71.进一步地，待处理件1132设于晶圆盒1131内。具体地，在摆动平台112往复摆动的过程中，能够进一步消除晶圆盒内的待处理件1132上的清洗或干燥死区，有利于提高清洗或干燥效果及清洗或干燥效率。
72.值得说明的是，支撑座1122可以由防腐、洁净的材料制作而成，比如：pvdf、htpvc等。另外，载体113的数量为至少一个，即载体113可以是一个、两个或者多个。通过在摆动平台112上放置多个载体113，可同时清洗或干燥多个待处理件1132，有利于提高清洗或干燥效率。
73.实施例五
74.如图1和图5所示，传动组件120还包括球头杆122和配合部123。具体地，球头杆122的一端形成有球头部1221，球头部1221为球体状。球头杆122远离球头部1221的一端与传动杆121靠近摆动平台112的一端相连，可以理解为，传动杆121通过球头杆122与摆动平台112相连。值得说明的是，球头杆122的轴线与传动杆121的轴线平行或重合。
75.进一步地，配合部123设于摆动平台112上，且配合部123上设有球窝1231，球头部1221与球窝1231相互配合，且球头部1221能够相对球窝1231转动，从而球头杆122与摆动平台112实现转动连接。
76.在另一个实施例中，配合部123包括上球碗1232、下球碗1233以及球碗固定罩1234。具体地，上球碗1232与下球碗1233相抵，且两个球碗之间形成球窝1231，球头部1221设于球窝1231内，球头部1221可相对球窝1231转动。进一步地，球碗固定罩1234设于摆动平台112上。具体地，球碗固定罩1234位于摆动平台112远离摆动轴1121的一侧。两个球碗设于球碗固定罩1234内部。
77.在另一个实施例中，如图1和图3所示，传动组件120还包括第一滑动组件128和滑动板127。具体地，第一滑动组件128用于与壳组件210相连，滑动板127与传动杆121相连且与第一滑动组件128相适配，滑动板127能够相对第一滑动组件128进行滑动。
78.进一步地，第一滑动组件128包括连接板126和两个滑动导轨124。连接板126截面与两个滑动导轨124截面组成c型结构，滑动板127处于c型结构中，且滑动板127能够沿c型结构的长度方向进行滑动。通过将滑动板127在c型结构中滑动，c型结构可以起到导向的作用，使滑动板127的运动过程更加平稳顺畅，进而能够提高传动组件120在运动过程中的平稳性。
79.实施例六
80.如图5所示，球头杆122远离球头部1221的一端与传动杆121螺纹连接。通过将球头杆122远离球头部1221的一端与传动杆121螺纹连接，从而球头杆122与传动杆121形成组合杆，且转动球头杆122或传动杆121，组合杆的整体长度可以增长或缩短，进而可以对摆动平
台112的初始水平位置进行调节。具体地，传动杆121靠近摆动平台112的一端设有安装孔1211，且安装孔1211的内壁设有内螺纹，球头杆122远离球头部1221的一端设有外螺纹，球头杆122的端部螺纹连接在安装孔1211内。
81.进一步地，球头杆122的轴线与传动杆121的轴线重合，有利于减少占用空间，使载体摆动机构100的结构更加紧凑。
82.实施例七
83.如图1至图3所示，载体摆动机构100还包括与壳组件210相连的动力组件130。壳组件210为处理设备200的一部分，动力组件130设于壳组件210上，壳组件210对动力组件130主要起到支撑的作用。
84.进一步地，如图2和图3所示，动力组件130包括驱动部137。具体地，驱动部137与传动组件120远离摆动平台112的一端相连，驱动部137能够驱动传动组件120从而带动摆动平台112进行摆动。
85.值得说明的是，此处的驱动部137可以是气缸、液压缸或者其它形式的动力件。
86.在另一个实施例中，如图2所示，动力组件130还包括第二滑动组件138。第二滑动组件138与传动组件120相连。具体地，第二滑动组件138包括导轨滑块结构160以及第一连接部134。动力组件130还包括与传动组件120远离摆动平台112一端相连的限位部131，第一连接部134与限位部131远离传动组件120的一端相连。限位部131与驱动部137相连，驱动部137驱动限位部131运动，进而带动传动组件120运动，进而实现摆动平台112的摆动。
87.第一连接部134与限位部131的连接，第一连接部134对限位部131起支撑作用，第一连接部134辅助于限位部131的摆动。
88.进一步地，载体摆动机构100还包括阻隔板132，阻隔板132与壳组件210相连，壳组件210为处理设备200中的一部分。导轨滑块结构160包括第一部161和第二部162，具体地，第一部161为滑轨，第二部162为滑块，第一部161可通过支撑块133设置在阻隔板132上，第二部162通过第一连接部134连接于限位部131，限位部131运动，第一部161与第二部162也可发生相对位置变化，也可理解为限位部131能够与阻隔板132发生相对位置变化。
89.进一步地，驱动部137具体包括第一驱动部1371和第二驱动部1372。具体地，第一驱动部1371能够带动传动组件120沿第一方向运动，第二驱动部1372能够带动传动组件120沿第二方向运动。具体地，驱动部137带动限位部131运动，限位部131带动传动组件120运动，即第一驱动部1371带动限位部131进而带动传动组件120沿第一方向运动，第二驱动部1372能够带动限位部131进而带动传动组件120沿第二方向运动。值得说明的是，当传动组件120中的传动杆121竖直方向设置时，第一方向为竖直向上，第二方向为竖直向下，即第一方向与第二方向相反。换言之，第一驱动部1371与第二驱动部1372互为倒装，即安装方向相反。
90.在另一个实施例中，动力组件130中驱动部137中的第一驱动部1371和第二驱动部1372可以理解为两个气缸，两个气缸互为反装。具体地，气缸包括缸体和伸缩杆，伸缩杆的一端设于缸体内，伸缩杆的另一端处于缸体外侧。当气缸的数量为两个时，两个气缸中的伸缩杆的运动方向相反。气缸中的伸缩杆与传动杆121远离摆动平台112的一端相连，进而气缸能够驱动传动杆121沿轴向方向运动。
91.值得说明的是，通过控制气缸的伸缩杆或者选择不同型号的气缸来调整传动杆
121的运动范围，进而可以对摆动平台112的摆动角度进行调节。本技术中的载体摆动机构100，通用性高，可以按实际生产需要，调节摆动平台112摆动倾斜角度的变化，以满足不同场合的需求。
92.在另一个实施例中，如图1和图2所示，载体摆动机构100包括往复运动机构(即动力组件130)。具体地，往复运动机构(即动力组件130)包括阻隔板132和底板1391，阻隔板132与底板1391垂直连接，底板1391上设置有第二连接部135。进一步地，往复运动机构(即动力组件130)还包括：第二滑动组件138和驱动部137。具体地，第二滑动组件138包括第一部161、第二部162以及第一连接部134。驱动部137包括第一驱动部1371和第二驱动部1372，第二连接部135的两个侧面分别与第一驱动部1371以及连接块1392相连，第二驱动部1372设置在底板1391上，第一驱动部1371可以为第一气缸，第二驱动部1372可以为第二气缸，气缸包括伸缩杆，第一气缸和第二气缸互为反装，换言之，第二气缸伸缩杆连接连接块1392，当第二气缸的伸缩杆运动时，带动连接块1392进行同步运动，进而带动第一驱动部1371同步运动；第一气缸的伸缩杆固定连接限位部131，优选地，设置转接板136，即第一气缸的伸缩杆固定连接转接板136，转接板136再与限位部131连接，可依据实际气缸的伸缩距离来确定转接板136的高度大小；当第一气缸的伸缩杆运动时，限位部131随之同步运动，或当第一驱动部1371不运动时，第二气缸的伸缩杆运动，同样能带动限位部131同步运动，因为第二气缸的伸缩杆固定连接于连接块1392，连接块1392固定连接在第二连接部135上，第一驱动部1371固定设置在第二连接部135上，第一驱动部1371固定连接限位部131，进而实现同步运动。通过设置两个伸缩方向相反的气缸，能够对传动组件120中传动杆121的运动方向进行精确控制，进而传动杆121能够带动摆动平台112进行摆动。另外，两个气缸还可以增大行程，改变两个气缸的相对位置，可以对两个气缸的整体行程进行调节，进而能够调控摆动平台112的摆动幅度。
93.实施例八
94.如图1、图3、图6和图7所示，动力组件130还包括限位部131和阻隔板132。具体地，阻隔板132与处理设备200中的壳组件210相连。值得说明的是，阻隔板132与壳组件210可以通过焊接的方式相对固定，方便加工；或者，阻隔板132与壳组件210为可拆卸连接，方便安装与拆卸；又或者是，阻隔板132与壳组件210为一体式结构，相对于后加工的方式而言，力学性能好，连接强度更高，且有利于减少零部件的数量，进而可以减少安装工序，提高安装效率。
95.进一步地，阻隔板132上设有第一升降活动口1321，限位部131与传动杆121远离摆动平台112的一端相连，且限位部131穿设于第一升降活动口1321。在传动杆121沿轴向运动的过程中，传动杆121能够随着限位部131的运动进行升降，限位部131可相对第一升降活动口1321进行升降。通过限位部131与第一升降活动口1321的配合使用，能够对传动杆121沿轴向的活动范围进行限制，确保传动杆121可以在合理的范围内活动。
96.在另一个实施例中，如图1、图2、图3、图4、图6和图7所示，载体摆动机构100还包括盖板150，盖板150与限位部131相连，且盖板150与传动杆121相连，可以理解为，限位部131与传动杆121通过盖板150相连。
97.具体地，盖板150与限位部131螺栓连接，盖板150与传动杆121螺栓连接。限位部131与传动杆121通过盖板150实现可拆卸连接，方便安装与拆卸，有利于工作人员进行维护
及更换。
98.实施例九
99.如图6和图7所示，传动组件120还包括垫板125和两个滑动导轨124。具体地，垫板125与处理设备200中的壳组件210相连。垫板125上设有第二升降活动口1251，第二升降活动口1251与第一升降活动口1321相对设置，且限位部131穿设于第二升降活动口1251。换言之，限位部131同时穿设于两个升降活动口。
100.进一步地，两个滑动导轨124设于垫板125上，且两个滑动导轨124位于第二升降活动口1251的两侧。滑动导轨124与垫板125之间可以为一体式结构，相对于后加工的方式而言，力学性能好，连接强度更高，且有利于减少零部件的数量。进一步地，滑动导轨124的长度方向与传动杆121的轴线方向一致，限位部131能够滑动导轨124配合，限位部131可沿滑动导轨124的长度方向滑动。通过限位部131与滑动导轨124的配合使用，能够确保传动杆121沿轴向运动，且运动过程更加平稳顺畅。
101.在另一个实施例中，第一滑动组件128包括连接板126和滑动板127。连接板126设于两个滑动导轨124之间，且连接板126与垫板125相连，连接板126、垫板125均开设有方形口，方形口的高度决定限位部131的上下活动高度，此外，阻隔板132上的第一升降活动口1321的高度应大于或等于方形口的高度，连接板126截面与两个滑动导轨124截面形成c型结构。滑动板127设于c型结构内，滑动板127开设有安装口，其大小应与限位部131相适配，滑动板127与限位部131相连，滑动板127可随着限位部131一起运动，滑动板127起到阻隔作用，当限位部131运动时，滑动板127随之运动，在半导体处理整机设备中，可实现摆动组件和动力组件的工作区域分离，保持工作区域的洁净度。
102.值得说明的是，滑动导轨124可以由耐腐蚀、耐磨、自润滑的ptfe材料制成。
103.实施例十
104.如图2和图3所示，载体摆动机构100还包括位置检测组件140。具体地，位置检测组件140包括磁性开关141和原点位检测组件142。动力组件130包括驱动部137，驱动部137包括第一驱动部1371和第二驱动部1372，驱动部137可以是气缸，可以理解为第一驱动部1371为第一气缸，第二驱动部1372为第二气缸，磁性开关141设于气缸上，用于检测气缸的位置。
105.进一步地，原点位检测组件142包括检测元件1421和检测片1422。具体地，检测元件1421设于阻隔板132或者与阻隔板132相连的支撑块133上，检测片1422设于与驱动部137相连的连接部上，原点位检测组件142用于检测气缸不运动时的状态，气缸不运动时摆动平台112处于水平状态，即为原点位状态。通过设置位置检测组件140，载体摆动机构100能够实现自动化摆动。
106.具体地，动力组件130包括两个气缸，通过两个气缸的配合使用，使传动杆121进行升降，进而带动摆动平台112进行摆动。
107.摆动平台112保持水平状态时，即为原点位状态，两个气缸均无动作。
108.原点位状态下，若将摆动平台112摆动向上时，具体操作为：第二气缸不动作，第一气缸的伸缩杆伸出，带动传动组件120进而带动摆动平台112向上抬升，到预设位置后，根据工艺参数设置，状态保持或反向动作复位至原点位状态；
109.原点位状态下，若将摆动平台112摆动向下时，具体操作为：第一气缸不动作，第二气缸的伸缩杆伸出，带动传动组件120进而带动摆动平台112向下降落，到预设位置后，根据
工艺参数设置，状态保持或反向动作复位至原点位状态；
110.原点位状态为基础状态，其他两个动作(摆动平台112摆动向上或向下运动)都在此基础上完成，例如：从摆动向下到摆动向上时，必须要经过原点位状态。在原点位状态下，磁性开关141检测气缸的伸缩杆的位置，并与原点位检测组件142检测结果互相判断：
111.判断无异常，即原点位检测组件142中的光电开关能检测到感应片，同时磁性开关141可以检测各自气缸伸缩杆的位置，载体摆动机构进入下一步动作；
112.判断异常，即原点位检测组件142中的光电开关不能检测到感应片，或者磁性开关141不能检测各自气缸伸缩杆位置时，报警，且载体摆动机构100停机，等待异常处理完后复位。
113.与自动化配合时，在原点位状态下：若判断无异常，机构进入下一步动作，自动化机械手过来抓取晶圆盒；若判断异常，报警，载体摆动机构100停机，需要人工排除异常并确认复位后，自动化机械手过来抓取晶圆盒。
114.实施例十一
115.如图8所示，本实用新型的一个实施例提供的处理设备200，包括壳组件210和上述任一实施例中的载体摆动机构100，载体摆动机构100与壳组件210相连。具体地，载体摆动机构100中动力组件130的一部分与壳组件210相连，且载体摆动机构100中的阻隔板132与壳组件210相连。另外，载体摆动机构100中摆动组件110设于处理槽240内，处理槽240可以是清洗槽或者是烘干槽，处理槽240为清洗槽时，清洗槽可放置清洗液，对待处理件进行清洗，处理槽240为烘干槽时，烘干槽内设置烘干装置，对待处理件进行烘干。
116.摆动组件110中的摆动平台112可相对处理槽240摆动，进而能够实现对待处理件1132的动态清洗或烘干。
117.进一步地，处理设备200中的壳组件210主要起到支撑以及连接载体113的作用。壳组件210可以由耐腐蚀的金属板连接而成。
118.在另一个实施例中，壳组件210内分为第一区域220和第二区域230。通过将壳组件210内划分为两个区域，即第一区域220和第二区域230，有利于将工作区域以及装配区域分隔开，提高处理设备200的整体结构的紧凑性。
119.进一步地，第一区域220为工作区域，第二区域230为装配区域，将载体摆动机构100中的摆动组件110设置在第一区域220，载体摆动机构100中的动力组件130设置在第二区域230，由于载体摆动机构100中的阻隔板132与壳组件210相连，从而阻隔板132将壳组件210内分隔为第一区域220和第二区域230，有利于提高各区域内的整洁性。
120.在另一个实施例中，处理设备200还包括设于壳组件210的底部的处理槽240。载体摆动机构100中的摆动平台112设于处理槽240内，待处理件1132放置在摆动平台112上，工作过程中摆动平台112可相对处理槽240进行摆动，进而可以实现对待处理件1132的动态清洗或烘干，提高清洗或烘干效果以及清洗或烘干效率。
121.根据本实用新型的载体摆动机构和处理设备的实施例，动力组件能够通过传动组件驱动摆动平台摆动，即摆动平台能够相对处理槽进行摆动，放置在摆动平台上的待处理件可以按要求做往复的倾斜角度变化，使待处理件在处理槽内能够按预设方向倾斜，从而达到动态清洗的目的，这种方式可以在很大程度上消除清洗干燥死区，提升清洗效果及清洗效率。
122.在本实用新型中，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述的目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性；术语“多个”则指两个或两个以上，除非另有明确的限定。术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语均应做广义理解，例如，“连接”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；“相连”可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
123.本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或单元必须具有特定的方向、以特定的方位构造和操作，因此，不能理解为对本实用新型的限制。
124.在本说明书的描述中，术语“一个实施例”、“一些实施例”、“具体实施例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或实例。而且，描述的具体特征、结构、材料或特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
125.以上仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。