一种高抗震悬丝摆式加速度计的制作方法

技术特征：
1.一种高抗震悬丝摆式加速度计，其特征在于：包括安装座(1)、外罩(10)、电路组件(2)、接线座(3)、电涡流传感器组件(4)、悬丝摆组件(5)、涡流片(7)、用于形成固定磁场的永磁体组件，所述外罩(10)与所述安装座(1)相固定密封连接，以在内部形成容置其他元件的密闭空间，所述电涡流传感器组件(4)包括与所述电路组件(2)电性连接的电涡流线圈(44)，所述悬丝摆组件(5)包括摆框架(51)、两个弹性支承悬丝(53)，所述摆框架(51)上缠有线圈绕组(52)，所述线圈绕组(52)与所述电路组件(2)电性连接，以构成力矩平衡电信号回路，所述摆框架(51)的一个侧边位于所述永磁体组件的固定磁场内，所述涡流片(7)固定于所述摆框架(51)一个侧边上，并与所述电涡流传感器组件(4)的位置相适配，所述摆框架(51)对应于所述支承悬丝(53)所在位置的侧边的上、下方分别设有上限位螺钉(87)、下限位螺钉(11)，以对所述支承悬丝(53)进行限位，防止过震；所述电路组件(2)加电后，所述电涡流线圈(44)内持续产生高频电流，在电涡流效应作用下，所述涡流片(7)表面形成电涡流，同时所述线圈绕组(52)在所述固定磁场内受到磁力作用，使所述悬丝摆组件(5)悬空处于平衡位置，在所述高抗震悬丝摆式加速度计受到加速度时，在被测加速度的作用下，所述悬丝摆组件(5)产生惯性力矩，相对于所述永磁体组件偏离平衡位置，使所述涡流片(7)相对于所述电涡流传感器组件(4)产生位移，引起所述电涡流线圈(44)差动电感的变化，反馈到所述电路组件(2)的伺服电路转变为电信号，再经过所述力矩平衡电信号回路的电流反馈，在所述固定磁场的作用下，激励所述悬丝摆组件(5)并带动所述涡流片(7)始终处于平衡位置，反馈的电流信号同时作为输出，用于表征输入加速度的大小。2.根据权利要求1所述的高抗震悬丝摆式加速度计，其特征在于：位于所述固定磁场内的所述摆框架(51)的侧边的下方还设有摆限位螺钉(97)，以对所述摆框架(51)进行限位，防止所述涡流片(7)过震与所述电涡流传感器组件(4)触碰。3.根据权利要求1或2所述的高抗震悬丝摆式加速度计，其特征在于：所述安装座(1)上设有底板(6)，所述永磁体组件包括两个相对设置且磁性相反的磁极(81、82)，两个所述磁极(81、82)与所述底板(6)相固定连接，所述摆框架(51)的一个侧边位于两个所述磁极(81、82)之间的空隙内；所述底板(6)上还设有第一摆支柱(63)、第二摆支柱(64)、电涡流传感器支柱(65)，所述电涡流传感器组件(4)与所述电涡流传感器支柱(65)相固定连接，一个悬丝摆调节轴(66)横向穿过所述第二摆支柱(64)且可做轴向转动，所述线圈绕组(52)的两个端头分别与位于所述摆框架(51)上的两个接线盘(56、57)相连接并导电，所述摆框架(51)的一个侧边上固定接有两个密封套管(54)，所述密封套管(54)内填充阻尼油(55)，两个所述弹性支承悬丝(53)各自分别穿过一个所述密封套管(54)并悬浮于所述阻尼油(55)内，两个所述弹性支承悬丝(53)位于两个所述密封套管(54)的同一轴线上，两个所述弹性支承悬丝(53)的外端分别与所述第一摆支柱(63)、所述悬丝摆调节轴(66)相连接并导电，通过所述第一摆支柱(63)、所述第二摆支柱(64)，使得所述线圈绕组(52)与所述电路组件(2)电性连接，构成所述力矩平衡电信号回路，并使得所述摆框架(51)悬置。4.根据权利要求3所述的高抗震悬丝摆式加速度计，其特征在于：所述电涡流传感器组件(4)还包括电涡流传感器骨架(41)，所述电涡流传感器骨架(41)的一端通过电涡流传感器安装螺钉(40)与所述电涡流传感器支柱(65)相固定连接，所述电涡流传感器骨架(41)的另一端分开为上下两个支臂(42、43)，所述电涡流线圈(44)设有两个，两个所述电涡流线圈(44)分别位于两个所述支臂(42、43)的内侧相对设置，两个所述支臂(42、43)之间为感应空
间(48)，所述涡流片(7)伸入到所述感应空间(48)内，两个所述支臂(42、43)的端部分别设有引线端子(45)用于与所述电路组件(2)电性连接，在两个所述电涡流线圈(44)内产生高频电流。5.根据权利要求3所述的高抗震悬丝摆式加速度计，其特征在于：所述高抗震悬丝摆式加速度计还包括磁场调整螺钉(98)，所述磁场调整螺钉(98)的前端伸出到两个所述磁极(81、82)之间的空隙处，通过伸出长短对所述线圈绕组(52)所处的磁场大小进行调整。6.根据权利要求3所述的高抗震悬丝摆式加速度计，其特征在于：所述底板(6)上设有两个相对的磁极安装立板(61、62)，两个所述磁极(81、82)分别靠合固定于两个所述磁极安装立板(61、62)上；两个所述磁极(81、82)中的至少一个设有磁温补偿合金(85)。7.根据权利要求3所述的高抗震悬丝摆式加速度计，其特征在于：所述第一摆支柱(63)、所述第二摆支柱(64)、所述电涡流传感器支柱(65)分别位于所述底板(6)上的安装孔内且固定；所述密封套管(54)是玻璃管；所述弹性支承悬丝(53)采用铂银合金制成。8.根据权利要求3所述的高抗震悬丝摆式加速度计，其特征在于：所述底板(6)上设有立座(60)，所述接线座(3)固定连接于所述立座(60)上；所述底板(6)上于所述立座(60)对向设有支撑立柱(68)，一顶板(8)通过连接螺钉(88)分别与所述立座(60)、所述支撑立柱(68)相固定连接；所述电路组件(2)设置于所述顶板(8)上，通过绑绳(20)连接固定。9.根据权利要求8所述的高抗震悬丝摆式加速度计，其特征在于：两个限位螺套(86)穿过并固定于所述顶板(8)上，两个所述限位螺套(86)的位置与两个所述密封套管(54)的位置对应，两个所述上限位螺钉(87)与两个所述限位螺套(86)通过螺纹相适配连接，并从两个所述限位螺套(86)中向下伸出；两个所述下限位螺钉(11)分别穿过所述安装座(1)、所述底板(6)后向上伸出，并与两个所述密封套管(54)的位置对应，所述下限位螺钉(11)与所述底板(6)通过螺纹相适配连接；所述安装座(1)上用于所述下限位螺钉(11)穿过的安装孔通过封堵(31)密封。10.根据权利要求1所述的高抗震悬丝摆式加速度计，其特征在于：所述电路组件(2)包括检波电路、放大电路、校正电路、正弦波振荡器，所述检波电路用于将所述涡流片(7)的位移转换为便于测量的电信号，所述放大电路用于将所述电涡流传感器组件(4)的敏感加速度的微弱信号加以放大，并提供放大倍数，所述校正电路用于为所述悬丝摆组件(5)的再平衡提供反馈电流，以获得再平衡力矩，以及提供必要的校正网络，使所述高抗震悬丝摆式加速度计正常工作，并且满足静态和动态性能指标，所述正弦波振荡器用于提供所述电涡流传感器组件(4)的正弦波高频振荡信号。

技术总结
本实用新型公开了一种高抗震悬丝摆式加速度计，包括电路组件、设有电涡流线圈的电涡流传感器组件、悬丝摆组件、涡流片、永磁体组件，悬丝摆组件包括摆框架、弹性支承悬丝，摆框架上有线圈绕组，摆框架一侧边位于永磁体组件的磁场内，涡流片固定于摆框架上与电涡流传感器组件适配，摆框架对应于支承悬丝的侧边上下方设有上、下限位螺钉，对支承悬丝进行限位，防止过震；加电后电涡流线圈内产生高频电流，涡流片表面形成电涡流，线圈绕组在磁场内受磁力作用，悬丝摆组件悬空平衡，受到加速度时，悬丝摆组件产生惯性力矩偏离平衡位置，涡流片产生位移，引起电涡流线圈差动电感变化并转变为电信号，经力矩平衡电信号回路电流反馈，激励涡流片处于平衡位置，反馈的电流信号作为输出，表征加速度大小。表征加速度大小。表征加速度大小。


技术研发人员：王英
受保护的技术使用者：陕西领航传感技术有限公司
技术研发日：2021.06.30
技术公布日：2021/11/17