一种激光腔外倍频系统的制作方法

技术特征：
1.一种激光腔外倍频系统，其特征在于，包括：沿光路传输方向依次设置的二倍频晶体(1)、匹配透镜(2)、第一波片(3)、二向色片(4)、第二波片(5)、偏振分束器(6)及四倍频晶体(8)，以及用于收集所述偏振分束器(6)反射的垃圾光束的四倍频垃圾光收集器(9)；其中：所述二倍频晶体(1)输出的激光光束进入所述匹配透镜(2)，所述匹配透镜(2)对入射的激光光束的光斑大小和发散角大小进行整型，整形后的激光光束再入射进入所述第一波片(3)，所述第一波片(3)对入射的激光光束的匹配相位进行调整，经相位调整后的激光光束由所述二向色片(4)滤去基频光后入射进入所述第二波片(5)，所述第二波片(5)对入射的激光光束的匹配相位进行调整后透射所述偏振分束器(6)并入射进入所述四倍频晶体(8)，所述四倍频晶体(8)输出部分的激光光束，并对部分的垃圾光束进行反射再经所述偏振分束器(6)反射后由并经所述四倍频垃圾光收集器(9)收集。2.根据权利要求1所述的激光腔外倍频系统，其特征在于，所述二向色片(4)的材质为紫外石英或氟化钙材质。3.根据权利要求1所述的激光腔外倍频系统，其特征在于，所述偏振分束器(6)面向所述四倍频晶体(8)的表面镀有s光高反射率及p光高透过率的膜系。4.根据权利要求3所述的激光腔外倍频系统，其特征在于，所述s光高反射率的波长包括但不限于266nm，所述p光高透过率的波长包括但不限于532nm。5.根据权利要求1所述的激光腔外倍频系统，其特征在于，所述四倍频垃圾光收集器(9)的材质为镀金或镍的铝材。6.根据权利要求1所述的激光腔外倍频系统，其特征在于，还包括设置于所述偏振分束器(6)及四倍频晶体(8)之间的窗口片(7)。

技术总结
本实用新型提供的激光腔外倍频系统，包括沿光路传输方向依次设置的二倍频晶体(1)、匹配透镜(2)、第一波片(3)、二向色片(4)、第二波片(5)、偏振分束器(6)及四倍频晶体(8)，以及用于收集所述偏振分束器(6)反射的垃圾光束的四倍频垃圾光收集器(9)，上述激光腔外倍频系统稳定性得到了大幅度地改善，实现了减少污染物，控制了移除的新增污染物，提升了整机寿命，清除了不共轴反射光的输出，提高了紫外激光的光束质量，降低了器件的损伤等优点。降低了器件的损伤等优点。降低了器件的损伤等优点。


技术研发人员：杨军红 扈金富 印晓丽
受保护的技术使用者：广东粤港澳大湾区硬科技创新研究院
技术研发日：2021.04.25
技术公布日：2021/11/16