射频滤波器及其制备方法与流程

技术特征：
1.一种射频滤波器，其特征在于，包括：基体、密封外墙、多个支撑电极、以及空腔外壳；其中，所述多个支撑电极凸设于所述基体表面，所述密封外墙凸设于所述基体表面，且环绕所述多个支撑电极设置；所述空腔外壳位于所述密封外墙和所述多个支撑电极上；所述基体、所述密封外墙和所述空腔外壳形成空腔；所述空腔外壳的材质为介质和/或金属。2.根据权利要求1所述的射频滤波器，其特征在于，所述空腔外壳上开设有释放孔，且所述释放孔上设有释放孔密封层；所述基体、所述密封外墙、所述空腔外壳和所述释放孔密封层形成封闭的所述空腔，所述多个支撑电极位于所述空腔内。3.根据权利要求2所述的射频滤波器，其特征在于，所述空腔外壳上还设有支撑电极开口，所述支撑电极开口与所述支撑电极相对设置，所述空腔外壳通过所述支撑电极开口和所述释放孔分成不连续的多个部分。4.根据权利要求3所述的射频滤波器，其特征在于，还包括空腔外壳钝化层，形成于所述空腔外壳上、所述支撑电极开口内以及所述释放孔密封层上，且暴露部分所述支撑电极。5.根据权利要求4所述的射频滤波器，其特征在于，还包括再布线引线电极，位于所述支撑电极开口处、且在所述空腔外壳钝化层之上，并与所述支撑电极接触。6.根据权利要求5所述的射频滤波器，其特征在于，所述空腔外壳的材质为金属，所述射频滤波器还包括空腔外壳绝缘层，所述空腔外壳绝缘层位于所述密封外墙、所述多个支撑电极与所述空腔外壳之间，且所述空腔外壳完全覆盖所述空腔外壳绝缘层。7.根据权利要求6所述的射频滤波器，其特征在于，所述支撑电极与所述密封外墙的材料为金属；所述释放孔密封层的材料为胶、介质或金属；所述空腔外壳绝缘层的材料是氮化硅、碳化硅或氮化铝。8.一种射频滤波器的制备方法，其特征在于，包括：在基体上形成密封外墙和支撑电极；在形成有密封外墙和支撑电极的基体上沉积牺牲层，并曝露所述密封外墙和所述支撑电极；利用介质材料或金属材料在所述牺牲层表面形成空腔外壳；在所述空腔外壳上形成支撑电极开口和释放孔；通过所述释放孔腐蚀牺牲层，形成空腔。9.根据权利要求8所述的射频滤波器的制备方法，其特征在于，还包括：在所述释放孔上形成释放孔密封层，以将所述释放孔封闭；在所述空腔外壳上、所述支撑电极开口内以及所述释放孔密封层上形成空腔外壳钝化层，且暴露部分所述支撑电极；在所述支撑电极开口处、且在所述空腔外壳钝化层上形成再布线引线电极，所述再布线引线电极与所述支撑电极接触。10.根据权利要求9所述的射频滤波器的制备方法，其特征在于，还包括：在所述再布线引线电极上形成再布线引线电极钝化层；在所述再布线引线电极钝化层上形成再布线引线电极开口，以暴露所述再布线引线电
极；在所述再布线引线电极开口处形成倒装电极。

技术总结
本发明提供了一种射频滤波器及其制备方法；其中，所述射频滤波器包括：基体、密封外墙、多个支撑电极、以及空腔外壳；其中，所述多个支撑电极凸设于所述基体表面，所述密封外墙凸设于所述基体表面，且环绕所述多个支撑电极设置；所述空腔外壳位于所述密封外墙和所述多个支撑电极上；所述基体、所述密封外墙和所述空腔外壳形成空腔；所述空腔外壳的材质为介质和/或金属。本发明利用介质或者金属材料形成空腔外壳封装结构，极大的减少了膜类材料的固化溢出的物质对敏感射频滤波器性能的影响。化溢出的物质对敏感射频滤波器性能的影响。化溢出的物质对敏感射频滤波器性能的影响。


技术研发人员：蒋将 李平 王伟 李林武 胡念楚 贾斌
受保护的技术使用者：开元通信技术（厦门）有限公司
技术研发日：2020.04.27
技术公布日：2021/11/14