光致抗蚀剂组合物及其固化物的制作方法

技术特征：
1.光致抗蚀剂组合物，其特征在于：是包含下述成分(a)～(c)而构成的光致抗蚀剂组合物，(a) 含羧基树脂；(b) 光聚合性单体；以及(c) 热固化性成分，其中，在平面基板上涂布上述光致抗蚀剂组合物使固化后的膜厚为2μm
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0.5μm，在75℃、30分钟的预烘后，在大气环境下以1,000mj/cm2的曝光量曝光包含波长375nm的紫外线1，使上述光致抗蚀剂组合物固化，然后通过在30℃下使用1wt%的na2co3水溶液进行180秒的显影处理而形成固化被膜1，将其表面的算术平均粗糙度ra设为ra1，进一步在氧环境下以25.2j/cm2的曝光量对上述固化被膜1曝光包含波长185nm和254nm的紫外线2而形成固化被膜2，将其表面的算术平均粗糙度ra设为ra2，在这种情况下满足下述式：ra2/ra1≤4.5
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‑1。2.权利要求1所述的光致抗蚀剂组合物，其中，上述(b)光聚合性单体为选自(甲基)丙烯酸酯类的至少一种。3.权利要求1或2所述的光致抗蚀剂组合物，其中，上述(a)含羧基树脂具有50～200mgkoh/g的酸值。4.权利要求1～3中任一项所述的光致抗蚀剂组合物，其中，上述(a)含羧基树脂具有5,000～100,000的重均分子量。5.固化物，其特征在于：该固化物是使权利要求1～4中任一项所述的光致抗蚀剂组合物固化而得到的。

技术总结
本发明提供光致抗蚀剂组合物，该光致抗蚀剂组合物即使利用弱碱性显影液也可进行显影，可得到高分辨率的微细图案化，并且剥离性也优异。光致抗蚀剂组合物，其特征在于：包含(A)含羧基树脂、(B)光聚合性单体和(C)热固化性成分而构成，其中，在平面基板上涂布上述光致抗蚀剂组合物使固化后的膜厚为2μm


技术研发人员：柴田大介 荒井康昭 佐藤和也 韦潇竹
受保护的技术使用者：太阳油墨制造株式会社
技术研发日：2020.03.27
技术公布日：2021/11/14