1.本实用新型属于一种自动调整探针卡水平度的探针台装置
背景技术：
2.在实现本实用新型的过程中，发明人发现现有技术至少存在以下问题：
3.在半导体显示行业，尤其硅基oled行业，自动探针台测试光电参数是非常重要的一步；在传统的探针台上，更换探针卡之后需要调整探针卡水平度，使得探针可以较为平整的扎到电极上，以防水平度较差导致无法点亮芯片；如果水平度较差的情况下会导致最先接触到电极的探针受到较大压力导致探针变形甚至损坏；其次，在更换探针卡过程中，人工调节水平度精度较低，且时间较长。
技术实现要素：
4.本实用新型所要解决的技术问题是提供一种使得针尖的水平度较好，能够正常且快速的调整针尖水平度，且可以使针尖受力均匀，提升探针卡的寿命的自动调整探针卡水平度的探针台装置
5.为了解决上述技术问题，本实用新型所采用的技术方案是：一种自动调整探针卡水平度的探针台装置，具有：
6.机台；
7.补偿机构，所述机台的外周均匀设有一系列的补偿机构；
8.探针卡，与所述补偿机构连接；
9.所述补偿机构具有：
10.步进电机，安装在所述机台上；所述步进电机的转轴上设有外螺纹；
11.补偿台，与所述探针卡固定连接；所述补偿台内设有螺纹孔，所述进电机的转轴与所述螺纹孔配合。
12.所述机台的外周设有凹槽，所述步进电机安装在所述凹槽的槽底内，所述补偿台滑动安装在所述凹槽内。
13.所述机台为圆形，圆形机台的外周均匀设有四组补偿机构。
14.所述补偿台与所述探针卡通过螺钉固定连接。
15.上述技术方案中的一个技术方案具有如下优点或有益效果，使得针尖的水平度较好，能够正常且快速的调整针尖水平度，且可以使针尖受力均匀，提升探针卡的寿命。
附图说明
16.图1为本实用新型实施例中提供的自动调整探针卡水平度的探针台装置的结构示意图；
17.图2为图1的自动调整探针卡水平度的探针台装置的工作原理图；
18.上述图中的标记均为：101、机台，102、探针卡，103、补偿机构，1031、步进电机，
1032、补偿台，1033、螺纹孔。
具体实施方式
19.为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本实用新型实施方式作进一步地详细描述。
20.参见图1
‑
2，一种自动调整探针卡水平度的探针台装置，具有：
21.机台；
22.补偿机构，机台的外周均匀设有一系列的补偿机构；
23.探针卡，与补偿机构连接；
24.补偿机构具有：步进电机，安装在机台上；步进电机的转轴上设有外螺纹；补偿台，与探针卡固定连接；补偿台内设有螺纹孔，进电机的转轴与螺纹孔配合。
25.机台的外周设有凹槽，步进电机安装在凹槽的槽底内，补偿台滑动安装在凹槽内。机台为圆形，圆形机台的外周均匀设有四组补偿机构。补偿台与探针卡通过螺钉固定连接。
26.探针卡放置在机台101上面，机台101平整度要求
±
5um，机台材料为绝缘材料例如陶瓷，聚甲基丙烯酸甲酯或带有绝缘涂料的碳素钢。
27.探针卡102为配合探针台定制，其下表面平整度为
±
5um。
28.补偿台103中有步进电机，步进电机精度为1um，重复精度为0.5um；补偿台的平整度为
±
5um，材料为绝缘材料，如陶瓷，聚甲基丙烯酸甲酯或带有绝缘涂料的碳素钢。
29.补偿机构103应安装在机台101结构内部，并保证补偿台模块与机台结构平整度在
±
5um。
30.补偿机构103包括步进电机1031、补偿台1032、螺纹孔1033，其中探针卡通过螺钉与补偿台结构进行连接。
31.当机台测试到第一根针尖与第二根针尖的位置时会有z轴差异，机台将位置差异告知补偿台结构，此时四个补偿台结构会调整使其水平度正常。
32.采用上述的结构后，在探针台上安装四个带有步进电机的补偿台，通过自动探针台对针尖定位的z轴位置从而告知四个补偿台做出z轴的补偿，从而使得针尖的水平度较好，能够正常且快速的调整针尖水平度，且可以使针尖受力均匀，提升探针卡的寿命。
33.上面结合附图对本实用新型进行了示例性描述，显然本实用新型具体实现并不受上述方式的限制，只要采用了本实用新型的方法构思和技术方案进行的各种非实质性的改进，或未经改进将本实用新型的构思和技术方案直接应用于其它场合的，均在本实用新型的保护范围之内。
技术特征：
1.一种自动调整探针卡水平度的探针台装置，其特征在于，具有：机台；补偿机构，所述机台的外周均匀设有一系列的补偿机构；探针卡，与所述补偿机构连接；所述补偿机构具有：步进电机，安装在所述机台上；所述步进电机的转轴上设有外螺纹；补偿台，与所述探针卡固定连接；所述补偿台内设有螺纹孔，所述进电机的转轴与所述螺纹孔配合。2.如权利要求1所述的自动调整探针卡水平度的探针台装置，其特征在于，所述机台的外周设有凹槽，所述步进电机安装在所述凹槽的槽底内，所述补偿台滑动安装在所述凹槽内。3.如权利要求2所述的自动调整探针卡水平度的探针台装置，其特征在于，所述机台为圆形，圆形机台的外周均匀设有四组补偿机构。4.如权利要求3所述的自动调整探针卡水平度的探针台装置，其特征在于，所述补偿台与所述探针卡通过螺钉固定连接。
技术总结
本实用新型公开了一种自动调整探针卡水平度的探针台装置，具有：机台；补偿机构，机台的外周均匀设有一系列的补偿机构；探针卡，与补偿机构连接；补偿机构具有：步进电机，安装在机台上；步进电机的转轴上设有外螺纹；补偿台，与探针卡固定连接；补偿台内设有螺纹孔，进电机的转轴与螺纹孔配合，使得针尖的水平度较好，能够正常且快速的调整针尖水平度，且可以使针尖受力均匀，提升探针卡的寿命。提升探针卡的寿命。提升探针卡的寿命。
技术研发人员：朱平 刘胜芳 任清江
受保护的技术使用者：安徽熙泰智能科技有限公司
技术研发日：2021.04.07
技术公布日：2021/11/9
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